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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]沉积罩-CN201520833328.1有效
发明人：吕建伟;阙嘉良;王超;吴以伟 -专利权人：旺能光电(吴江)有限公司;新日光能源科技股份有限公司
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种沉积罩，包含底板、第一侧板、第二侧板、第一出气板、第二出气板以及多个支撑件。底板是沿长度方向延伸，并具有第一侧边与第二侧边，第一侧板是从第一侧边处沿第一侧向延展方向延伸至第一侧板侧边，并在与第一侧边相连接处形成第一转接区域；第二侧板是从第二侧边处沿第二侧向延展方向延伸至第二侧板侧边，并在与第二侧边相连接处形成第二转接区域。第一出气板与第二出气板系分别自第一侧板侧边与第二侧板侧边延伸出。多个支撑件系分别设置于第一转接区域与第二转接区域，使底板分别固接连结于第一侧板与第二侧板。
沉积

[发明专利]具有周转齿轮系统的磁性组件及其使用方法-CN201210365147.1有效
发明人： 阙嘉良;刘旭水;白峻荣;陈培侬;汪业杰 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了包括周转齿轮系统的磁性装置。所述周转齿轮系统包括被配置成旋转的中心齿轮；至少一个外围齿轮，连接至中心齿轮并且被配置成相对所于述中心齿轮旋转和平移；以及环绕所述至少一个外围齿轮并且与所述至少一个外围齿轮连接的环。所述磁性装置进一步包括与所述周转齿轮系统连接的磁性组件，所述磁性组件包括与所述至少一个外围齿轮连接的支撑件，所述支撑件的旋转轴与连接所述支撑件的至少一个外围齿轮的旋转轴同轴。本发明还公开了具有周转齿轮系统的磁性组件及其使用方法。
具有周转齿轮系统磁性组件及其使用方法

[实用新型]一种具排气节能构造的真空泵-CN201320071383.2有效
发明人：赖庆峰;郑坤铨;方宏声;阙嘉良 -专利权人：汉钟精机股份有限公司
申请日： 2013-02-07 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种具排气节能构造的真空泵，包括：一机壳，其上具有：一进气部，形成于该机壳上；一排气部，形成于机壳上；及一牙孔，形成于机壳的该高压端附近；一转子组件，设置于机壳内，并具有一高压段及一低压段；一真空产生器，具有：一进气口，可连接于一外部进气源，并且与该外部进气源之间设置有一电磁阀；一真空口，连接于该牙孔，并且与该牙孔间设置有一电磁阀；及一排气口，向外联通于大气端；一马达，连接于转子组件上，并带动其进行转动；及至少一压力计，连接于机壳内部，并可量测其内部压力。本实用新型直接将真空产生器连接固锁于牙孔上，能避免现有技术中真空产生器与排气部之间占有一空间，使排气效果下降的情况。
一种排气节能构造真空泵

[发明专利]具有逆向侵蚀轮廓表面的溅射靶、溅射系统、及其使用方法-CN201210293401.1有效
发明人： 阙嘉良;陈国洲;李仁铎;孟宪梁;林俊维 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-08-16 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种溅射靶，该溅射靶包括平坦垫板和形成在该平坦垫板上方的靶材料，并且包括具有较厚部分和较薄部分的不平坦溅射表面，并且与诸如具有固定磁体装置的磁控溅射工具的溅射装置结合在一起进行配置。将不平坦表面为与由磁体装置生成的磁场结合在一起进行设计，以将较厚溅射靶部分设置在溅射靶侵蚀发生速度高的位置。还提供了一种磁控溅射系统，以及一种方法，该方法用于应用具有不平坦溅射表面的溅射靶的方法，使得使用靶的过程中将溅射靶上的厚度变得更加均匀。本发明还提供了一种具有逆向侵蚀轮廓表面的溅射靶、溅射系统、及其使用方法。
具有逆向侵蚀轮廓表面溅射系统及其使用方法

[发明专利]减少工艺套件上沉积薄膜剥离的方法-CN200910204641.8有效
发明人： 阙嘉良;赵长辉;白峻荣;汪业杰;庄字周;陈家骏 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2009-10-10 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种减少工艺套件上沉积薄膜剥离的方法，包括：提供一包括靶材的工艺腔室，其中该靶材具有一第一热膨胀系数；选择一具有第二热膨胀系数的表面层的工艺套件，其中该第一热膨胀系数与第二热膨胀系数之间的差异比率小于约35％；以及将该工艺套件设置于一工艺腔室中，其中该表面层暴露于该工艺腔室。使用本发明实施例的优点包括：由于工艺薄膜中的应力降低，因此工艺薄膜从工艺套件剥落的情况大幅减少，并且制层薄膜与工艺套件可由于相似的材料而得到更好的粘着性。
减少工艺套件沉积薄膜剥离方法

[发明专利]晶圆传送片-CN200810127632.9有效
发明人：郑翔升;谢子逸;阙嘉良;陈俊仁;纪元兴;黎伟钦 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2008-07-02 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种用于晶圆传送自动控制装置的晶圆传送片，其具有改善结构的一囊袋空间，以在晶圆传送自动控制装置的拾取与传送期间内最小化晶圆的损坏。传送片具有一于传送片后面的斜表面，以允许不准确晶圆在斜面下滑，而又不伤害到晶圆表面。
传送

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