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- [发明专利]半导体元件互连器件及其制造方法-CN96107262.8无效
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金载甲
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现代电子产业株式会社
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1996-03-29
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2000-09-13
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H01L23/52
- 一种制造半导体元件互连器件的方法,该器件连接在半导体衬底上形成的各杂质扩散区,每一杂质扩散区有不同的电导电率。该方法包括,在半导体衬底上形成第1导电类型的阱和第2导电类型的阱,在第2导电类型阱形成不相互接触的第1导电类型杂质扩散区,在第1导电类型阱形成不相互接触的第2导电类型杂质扩散区,在最终结构上面形成绝缘膜,选择地除掉绝缘膜,由此,形成露出第1和第2导电类型的杂质扩散区的接触孔,在最终结构上形成半导体层,在半导体层上面形成硅化物膜,退火最终结构,由此,把第1和第2导电类型杂质扩散区的杂质离子扩散到半导体层中。
- 半导体元件互连器件及其制造方法
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