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[发明专利]一种PVD制备半导体装备用抗高温蠕变接地基片的方法-CN201510268660.2有效
发明人：熊天英;吴杰;沈艳芳;崔新宇;金花子;吴敏杰;唐伟东;侯涛;李茂程 -专利权人：沈阳富创精密设备有限公司
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2017-06-16 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备半导体装备用抗高温蠕变接地基片的方法，具体涉及一种PVD制备半导体装备用抗高温蠕变接地基片的方法。本发明的技术方案为，以不锈钢、镍合金或耐热钢材料作为半导体装备用抗高温蠕变接地基片的基体，采用PVD技术在所述基体表面制备无氧化纯铝涂层，制得半导体装备用抗高温蠕变接地基片。本发明一方面利用纯铝的导电性能及其与大规模集成电路工艺的相容性，另一方面利用基体的力学性能解决接地基片抗高温蠕变性不够的问题。
一种 pvd 制备半导体装备高温接地方法

[发明专利]一种汽车用大型覆盖件拉延模具的修复方法-CN201410458839.X在审
发明人： 金花子;吴杰;南泉;于宝海;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： C23C18/36 文献下载
摘要：本发明涉及汽车专用模具的表面修复领域，具体地说是一种汽车用大型覆盖件拉延模具的修复方法，解决现有技术中大型拉延模具磨损面积大、整体尺寸不能满足精度要求时，难以采用喷涂、堆焊和电刷镀等技术修复的问题。利用化学镀技术对汽车大型拉延模具进行整体表面修复和强化，使模具表面形成光滑、无孔隙、厚度均匀、提高模具表面硬度，延长模具使用寿命的镀层，用于汽车大型拉延模具的再修复过程。本发明通过使用本发明研制的镍磷化学镀配方，在拉延模具表面镀覆一层均匀致密的、光滑无孔隙的镍磷镀层，镀层无孔隙、表面光滑且厚度均匀，降低拉延模具基体表面的摩擦系数，增强基体的硬度，可以提高拉延模具的使用寿命。
一种汽车大型覆盖拉延模具修复方法

[实用新型]一种用于飞机蒙皮表面现场修复装置-CN201420106649.7有效
发明人：吴杰;李鸣;金花子;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2014-03-07 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： B64F5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及飞机部件的表面修复领域，具体地说是一种用于飞机蒙皮表面现场修复装置，解决拖底平补法修复飞机蒙皮的工艺复杂，维修难度大的问题。该装置的移动式冷喷涂装置与移动式储气罐相通，移动式储气罐与移动式空气压缩机相通，移动式冷喷涂装置的超音速喷嘴与飞机蒙皮局部表面破损部位相对应，在冷喷涂装置、储气罐和空气压缩机的底部设置行走轮，使整个装置可以移动，因而适合于在现场进行作业。本实用新型可以对飞机蒙皮局部表面破损进行快速修复，并且不破坏飞机蒙皮外表，避免对损伤的部位进行二次切割处理，不需要钻孔和铆接，且蒙皮不能发生变形，能满足飞机空气动力学的要求，设备可以整体移动进行现场施工。
一种用于飞机蒙皮表面现场修复装置

[发明专利]涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法-CN201310200103.8有效
发明人： 金花子;吴杰;南泉;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2013-05-24 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C18/36 文献下载
摘要：本发明涉及洁净的真空系统获得表面防护领域，具体为一种涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法。采用化学镀、氟涂料和真空离子镀（PVD）对涡旋干泵实施防护涂层，对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层，对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层。本发明方法应用于涡旋干泵可以提高真空泵的耐腐蚀性和耐磨性能，在高腐蚀性气体等离子刻蚀、生物制药和科学仪器的真空获得系统中，防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀，提高涡旋干泵的使用寿命。
涡旋真空泵防护涂层制备方法

[发明专利]一种等离子刻蚀腔体表面防护涂层的制备方法-CN201310134038.3有效
发明人：吴杰;金花子;沈艳芳;李鸣;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2013-04-16 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C23C4/10 文献下载
摘要：本发明涉及半导体集成电路芯片（晶片）等离子体刻蚀领域，具体为一种等离子刻蚀腔体表面防护涂层的制备方法。采用纯Al粉末和Y2O3-A12O3粉末的混合粉末制备等离子刻蚀腔体表面防护涂层，利用高速气流将Al粉末和Y2O3-A12O3粉末的混合粉末直接喷涂于离子刻蚀腔体表面，通过控制喷涂参数：喷射距离5～50mm、气体压强0.5～5.0MPa、气体温度为260～520℃、气流流量为10～30g/s、粉末粒度为1～50μm，使混合粉末沉积在等离子刻蚀腔体的内表面上，形成均匀分布的防护涂层，该涂层可以在等离子刻蚀腔体中原位钝化。该涂层能减少或阻止腐蚀性气体对腔体的腐蚀和金属离子对半导体晶片的污染，提高等离子体刻蚀晶片生产中反应室腔体材料的使用寿命。
一种等离子刻蚀体表防护涂层制备方法

[发明专利]一种轻质合金表面防护涂层的制备方法-CN201310145567.3有效
发明人：吴杰;吴敏杰;金花子;沈艳芳;李鸣;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明涉及表面涂层防护领域，具体为一种轻质合金表面防护涂层的制备方法。首先，采用纯Al或超纯Al粉末，利用冷喷涂方法在轻质合金表面制备纯铝涂层，作为防护涂层的底层；然后，对纯铝涂层进行表面抛光和阳极氧化，在纯铝涂层表面制备氧化铝薄膜，作为防护涂层的表层。经过阳极氧化处理，纯铝涂层表面能生成性能优异的氧化铝薄膜，其抗腐蚀性能远好于铝合金阳极化后形成的氧化铝薄膜，尤其适合于大规模集成电路设备，使其在强腐蚀和等离子轰击环境下保持超洁净。其中，所述的轻质合金为镁合金、钛合金或铝合金。本发明方法应用于镁合金、钛合金和铝合金可以提高镁合金、钛合金和铝合金的耐腐蚀性能和耐磨性能。
一种合金表面防护涂层制备方法

[实用新型]一种核电站人孔衬垫专用电解抛光装置-CN201220035876.6有效
发明人： 金花子;南泉;吴杰 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2012-02-06 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及AP1000核电站专用部件的表面处理技术，具体的说是一种人孔衬垫专用电解抛光装置，解决人孔衬垫局部进行电解抛光难度较大等问题。该装置设有阴极、环形铜阳极、工装、电解槽，工装紧固在人孔衬垫的非抛光面上，环形铜阳极密封于人孔衬垫的外缘与工装之间，环形铜阳极和人孔衬垫环形连接，阴极、环形铜阳极、工装置于电解槽中，电解时环形铜阳极不与电解液接触。工装选用聚丙烯塑料工装，电解槽选用聚丙烯塑料电解槽，电解槽中配有加热装置、温控装置、溶液搅拌装置。聚丙烯塑料工装对人孔衬垫不需要抛光的表面进行保护，满足清洁度要求，且工件不能发生变形。环形铜阳极使人孔衬垫表面电流密度均匀，使人孔衬垫被抛光表面状态均匀。
一种核电站衬垫专用电解抛光装置

[发明专利]一种制备准晶涂层的温喷涂装置及方法-CN201210043217.1有效
发明人：吴杰;李铁藩;金花子;崔新宇;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C23C4/12 文献下载
摘要：本发明涉及表面涂层的制备领域，具体地说就是一种制备准晶涂层的温喷涂装置及方法。该装置混合室的一侧设置燃料入口、火花塞、氧气入口，混合室的另一侧与中间混合室相通，中间混合室上设有冷却气体进口，中间混合室通过超音速喷嘴与喷管连通，超音速喷嘴的出口和喷管的进口处与准晶粉末进口相通。本发明增加了冷却气体的中间混合室降低火焰温度，使粉末和气体形成气-固双相流。气-固双相流中的固体颗粒喷射到工件表面，发生严重的塑性变形沉积于工件表面，后继的高动能颗粒重复这一过程而形成准晶合金涂层。本发明解决现有技术中存在的准晶相伴随晶体相和涂层气孔率高和存在微裂纹的问题，可以制备多种系列的准晶涂层。
一种制备涂层喷涂装置方法

[发明专利]一种制备金属复合梯度准晶涂层的冷喷涂装置及方法-CN201210043107.5有效
发明人：吴杰;金花子;沈艳芳;李鸣;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： B05B7/14 文献下载
摘要：本发明涉及表面涂层的制备领域，具体为一种制备金属复合梯度准晶涂层的冷喷涂装置及方法。该装置的准晶粉末送粉器和金属或合金粉末送粉器分别通过管路连至气固混合室，形成双通道送粉结构，在所述管路上分别设有准晶粉末加热器和金属或合金粉末加热器，气体加热器通过管路连接气固混合室，在气固混合室的出口处设置超音速喷嘴。气源压缩气体的一分路进入准晶粉末送粉器，一分路进入金属粉末送粉器，一分路进入加热器，气体和粉末通过气固混合室进入超音速喷嘴形成气-固双相流，气-固双相流中的固体颗粒喷射到工件表面，发生严重的塑性变形沉积于工件表面。本发明可以解决涂层脆性和相变等问题，可以制备多种系列的二元或多元合金准晶梯度涂层。
一种制备金属复合梯度涂层喷涂装置方法

[发明专利]一种钛合金高温防护涂层及其制备方法-CN200910010729.6无效
发明人：孔令艳;李铁藩;沈莉;吴杰;金花子;崔新宇;陶杰;梁慎国;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2009-03-18 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： C23C30/00 文献下载
摘要：本发明涉及钛合金高温防护涂层制备技术，具体为一种钛合金高温防护涂层及其制备方法。所述涂层选用纯Ti粉和Al粉按一定比例机械混合，用冷气动力喷涂的方法在温度100～600℃，压力0.8～3.0MPa的条件下，喷涂到钛合金基材上，经过热处理后，制备出主要成分为TiAl3-Al的复合涂层。涂层成分为TiAl3-Al复合涂层，涂层厚度为大于100μm，经热处理后形成TiAl3金属间化合物与剩余Al均匀分布。该涂层成分为TiAl3-Al复合涂层，具有较好的抗高温氧化和环境脆化性能；该制备方法操作简便，成分容易控制，所获涂层孔隙率低，与基材相容性好，结合力强，可很好地解决了钛合金高温氧化问题。
一种钛合金高温防护涂层及其制备方法

[发明专利]一种金属与塑料粉末混合制备涂层的方法及装置-CN200810230248.1有效
发明人：陶永山;金花子;孔令艳;吴杰;梁慎国;崔新宇;陶杰;李铁藩;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2008-12-26 - 公布日： 2010-07-07 - 主分类号： B05D1/12 文献下载
摘要：本发明涉及金属复合涂层的制备技术，具体地说就是一种金属与塑料粉末混合制备涂层的方法及装置。该方法是采用气体动力喷涂技术，使用金属粉末与塑料混合，压缩气体一部分通过送粉器携带粉末在超音速喷嘴的进气口与经过加热器预热的气体混合后通过喷嘴成为气-固双相流，气-固双相流中的固体颗粒喷射到工件表面，发生严重的塑性变形沉积于工件表面，后继的高动能颗粒重复这一过程而形成合金或涂层，该方法简单、成本低、效率高，可以制备复合涂层。该装置设有与进气管相连的高压气源、加热器、送粉器、超音速喷嘴，所述连接高压气源的进气管分别经送粉器和加热器与超音速喷嘴相连接，该装置结构简单、实用。
一种金属塑料粉末混合制备涂层方法装置

[发明专利]一种软金属粉末和硬质颗粒制备复合涂层的方法及装置-CN200810230249.6无效
发明人：陶永山;金花子;孔令艳;吴杰;梁慎国;崔新宇;陶杰;李铁藩;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2008-12-26 - 公布日： 2010-07-07 - 主分类号： C23C4/04 文献下载
摘要：本发明涉及金属复合涂层的制备技术，具体地说就是一种软金属粉末和硬质颗粒制备复合涂层的方法及装置。该方法采用气体动力喷涂技术，使用软金属粉末与硬质颗粒混合，压缩气体一部分通过送粉器携带粉末在超音速喷嘴的进气口与经过加热器预热的气体混合后通过喷嘴成为气-固双相流，气-固双相流中的固体颗粒喷射到工件表面，发生严重的塑性变形沉积于工件表面，后继的高动能颗粒重复这一过程而形成合金，该方法简单、成本低、效率高，可以制备复合涂层。该装置设有与进气管相连的高压气源、加热器、送粉器、超音速喷嘴，所述连接高压气源的进气管分别经送粉器和加热器与超音速喷嘴相连接，该装置结构简单、实用。
一种金属粉末硬质颗粒制备复合涂层方法装置

[发明专利]一种循环利用偏硼酸钠制备硼氢化钠的方法-CN200810012860.1无效
发明人：孔令艳;崔新宇;吴杰;金花子;熊天英 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2008-08-20 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： C01B6/17 文献下载
摘要：本发明涉及碱金属硼氢化物的制备方法，具体地说是一种循环利用偏硼酸钠制备硼氢化钠的方法，解决现有技术硼氢化钠水解制氢后副产物偏硼酸钠的循环利用问题，是一种制备硼氢化钠的新方法。该方法以氢化镁为氢源，以偏硼酸钠为硼源，通过机械化学反应制备硼氢化钠。在氢气气氛中，将镁粉在一定的温度和压力下，氢化制得氢化镁；然后将偏硼酸钠、氢化镁按照一定的比例放入球磨机中，保持一定的氩气或氢气压力、球料比和研磨时间，即可将偏硼酸钠还原成硼氢化钠。该方法具有工艺简便安全、无环境污染等优点。
一种循环利用硼酸制备氢化方法

[发明专利]氨基硼烷规模化制备方法-CN200810011293.8无效
发明人：孔令艳;金花子;吴杰;崔新宇 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2008-05-07 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： C01B35/14 文献下载
摘要：本发明涉及氨基硼烷制备技术，具体为一种氨基硼烷规模化制备方法。采用反应原料硼氢化物、氨源在有机溶剂中直接合成氨基硼烷，将硼氢化物、氨源、有机溶剂按摩尔比1∶1～3∶1.5～3的配比一次加入到反应釜内进行反应；产物经加压过滤、真空蒸发、真空干燥，获得重量纯度90％以上、收率80％以上的氨基硼烷。本发明有机溶剂经纯化后，加到反应釜中，与预先加入反应釜的硼氢化钠、碳酸铵混合，搅拌，释放出氢气收集；将反应料浆送入过滤机，在氮气保护下加压过滤，滤渣用溶剂充分洗涤后，收集为碳酸钠；洗液与滤液混合送入减压蒸发塔，获得氨基硼烷。因此，本发明反应条件温和，容易控制，所需设备简单，可根据实际需要规模放大生产。
氨基规模化制备方法

[发明专利]一种用化学机械力学法制备硼氢化钠的方法-CN200810010478.7无效
发明人：熊天英;李铁藩;吴杰;金花子;孔令艳;崔新宇;吕保军 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2008-02-27 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： C01B6/21 文献下载
摘要：本发明涉及碱金属硼氢化物的制备方法，具体的说是用化学机械力学法制备硼氢化钠的方法，解决现有技术硼氢化钠制备过程中的环境污染、操作条件苛刻等问题。该方法以氢化镁为氢源，以硼砂为硼源，通过机械研磨与化学反应相结合制备硼氢化钠。在氢气气氛中，将镁粉在一定的温度和压力下，进行机械研磨与氢发生氢化反应，制得氢化镁；然后将硼砂、碳酸钠和氢化镁按照一定的比例放入球磨机中，保持一定的氢压、球料比和研磨时间，即可得到硼氢化钠。该方法制备的硼氢化钠纯度达97％以上。采用化学机械力学法制备硼氢化钠，与目前通用的施格莱辛法和拜耳法相比，具有原料成本低、工艺简便安全、无污染等优点。
一种化学机械力学法制氢化方法

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