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- [实用新型]一种刷片机的刷压微调装置-CN202223068737.6有效
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刘煜昆;郭明灿
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潍坊明哲智能科技有限公司
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2022-11-19
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2023-05-05
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种刷片机的刷压微调装置，包括支撑板、调节机构、安装机构，所述支撑板的右侧面设置有调节机构，所述支撑板的左侧面设置有安装机构。工作人员先将卡槽与刷片机表面的卡块相连接，同时启动两个电动推杆带动固定块进行移动，进一步使插杆远离插孔，此时工作人员再将卡块与卡槽相连接，再启动电动推杆带动插杆插入到插孔的内部，以便将装置安装在刷片机的表面，当需要拆卸装置时，工作人员先启动电动推杆使插杆从插孔的内部分离开，再使卡槽与卡块分离开，以便将装置快速的进行拆卸，从而可以将晶片从刷片机上拆卸或安装，并提高了装置的稳定性，避免当刷压出现故障时，不方便将其从装置中取出的现象产生。
- 一种刷片机微调装置
- [实用新型]一种刷片机用刷头结构-CN202222984863.X有效
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刘煜昆;郭明灿
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潍坊明哲智能科技有限公司
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2022-11-10
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2023-02-17
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B08B1/00
- 本实用新型公开了一种刷片机用刷头结构，涉及刷片机刷头技术领域，包括安装架，所述安装架相对的侧面之间固定连接有四个均布的支撑柱；本实用新型将气缸控制升降改为步进电机、螺纹丝杠控制升降，能够精准的控制刷头下降的位置，可以增加多个可用位置；剔除两个原位到位检测开关，两个输出I/O，降低设备成本；刷头上下速度能得到控制，能够使用工控机控制刷头上下速度，在工艺中可以使用高速和低速；能够根据刷头使用情况来控制刷头下降情况，增加刷头使用寿命，在安装机构的作用下刷头本体能够牢固的与安装座相连接，保证了刷头本体使用时的稳定性，并且更换拆卸时只需要按压推板后将螺纹套筒转动即可，操作简洁，增加了装置的实用性。
- 一种刷片机用刷头结构
- [发明专利]一种水凝胶载片自动上料、贴片装置-CN202110150604.4有效
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郭明灿;王子龙;李凯杰;臧运凤
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山东元旭光电股份有限公司
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2021-02-04
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2021-06-15
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A61M37/00
- 本发明属于微纳米贴片技术领域，提供了一种水凝胶载片自动上料、贴片装置，包括机架，机架的工作台上设有电缸驱动的载片放置架，载片放置架上设有载片定位机构，工作台上沿载片放置架滑动方向依次设有载片料仓和撕膜机构，且载片料仓下方对应设有载片上料机构；工作台上还设有贴片机械臂和料片放置台，料片放置台位于电缸的贴片端一侧，贴片机械臂位于电缸和料片放置台之间，且贴片机械臂的工作轴端部设有用以实现料片取放的取放料机构。本发明能够实现水凝胶载片上料、离型膜撕除以及料片于水凝胶载片上贴合的自动化加工，使得贴片效率及贴片质量大大提高，且在加工过程中不会对料片的卫生造成影响，确保生产的贴片产品满足卫生达标的生产需求。
- 一种凝胶自动装置
- [发明专利]一种晶圆自动下片生产线-CN202110085101.3有效
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郭明灿;王子龙;李凯杰;曹智;高鹏飞
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山东元旭光电股份有限公司
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2021-01-22
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2021-04-20
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H01L21/677
- 本发明属于晶圆下片技术领域，提供了一种晶圆自动下片生产线，包括进料料仓、下片装置和出料料仓；进料料仓和出料料仓均包括料仓架体，料仓架体上滑动安装有第一驱动装置驱动的载具料筐，进料料仓一侧还设有第一载具拨送机构；下片装置包括下片机架，下片机架上设有倍速链输送线、第一载具定位机构、自动下螺丝机构、第二载具定位机构、取放机械臂、盖板放置台、晶圆放置台和载具举升机构，取放机械臂工作轴端部设有取放料机构，倍速链输送线出料端还设有第二载具拨送机构。本发明能够实现载具上料、晶圆下片、载具下料的自动化加工，不但下片效率大大提高，且有效避免了在下片过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆的质量及合格率不受影响。
- 一种自动下片生产线
- [发明专利]一种自动上片机-CN202010740774.3有效
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赵成浩;李凯杰;郭明灿;王子龙
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-07-29
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2020-12-01
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H01J37/32
- 本发明属于晶圆上片技术领域，提供了一种自动上片机，包括机架，机架一端设有一晶圆料架，晶圆料架上设有第一晶圆定位机构；机架中间设有一上片机械臂，机架上还设有一定位台，定位台上设有若干第二晶圆定位机构；定位台与晶圆料架间设有翻片机构，机架上开设有一摄片孔，机架上安装有与摄片孔对应设置的拍摄机构；上片机械臂的两侧均滑动安装有定位托板，机架的另一端设有载具料筐，定位托板靠近载具料筐的一端安装有插杆；机架上沿定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构和螺丝供料器。本发明能够实现晶圆精准的自动上片，上片效率大大提高，且有效确保晶圆上片过程中晶圆质量及合格率不受影响。
- 一种自动上片
- [发明专利]一种晶圆自动刷片机-CN202010804440.8有效
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郭明灿;李凯杰;赵成浩;王子龙
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-08-12
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2020-12-01
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H01L21/67
- 本发明属于晶圆生产加工技术领域，提供了一种晶圆自动刷片机，包括机架，机架上具有一工作台，工作台上设有一料架，料架上设有若干花篮放置位，料架中间位置设有晶圆定位机构；工作台上还安装有一机械臂，机械臂的执行端安装有晶圆托板；机械臂的两侧分别设有刷片箱，刷片箱一侧开设有晶圆取放口；工作台下方设有第一驱动装置和第二驱动装置驱动的真空管，真空管顶端安装有伯努利吸盘，工作台上设有第三驱动装置和第四驱动装置驱动的上安装板，上安装板位于刷片箱内的一端转动安装有第五驱动装置驱动的海绵刷头。本发明实现了对晶圆的自动刷洗，刷洗效率大大提高，刷洗更干净彻底且不会对晶圆造成二次污染及划伤，确保晶圆质量及合格率不受影响。
- 一种自动刷片机
- [发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202010804243.6有效
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赵成浩;李凯杰;郭明灿;王子龙
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-08-12
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2020-12-01
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H01L21/67
- 本发明属于晶圆生产加工技术领域，提供了一种晶圆清洗装置，包括清洗工作台，清洗工作台上安装有一清洗箱，清洗箱一侧开设有晶圆取放口；清洗工作台下方滑动安装有第一驱动装置驱动的安装架，安装架上转动安装有第二驱动装置驱动的真空管，真空管顶端安装有伯努利吸盘；清洗工作台上还滑动安装有第三驱动装置驱动的下安装板，下安装板上滑动安装有第四驱动装置驱动的上安装板，上安装板的一端延伸至清洗箱内，且转动安装有第五驱动装置驱动的转轴，转轴的底端固定安装有一海绵刷头。本发明实现了对晶圆的自动刷洗，刷洗效率大大提高，刷洗更干净彻底且不会对晶圆造成二次污染及划伤，确保刷洗过程中晶圆质量及合格率不受影响。
- 一种清洗装置
- [发明专利]一种晶圆自动装盘装置-CN202010740781.3有效
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李凯杰;赵成浩;郭明灿;王子龙;曹智
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-07-29
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2020-10-16
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H01J37/32
- 本发明属于晶圆上片技术领域，提供了一种晶圆自动装盘装置，包括工作台，工作台上滑动安装有驱动装置驱动的定位托板，定位托板上表面设有若干定位销，一端底部固定安装有插杆；工作台沿定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构、螺丝供料器和放片机械臂，料盘取盖机构和自动上螺丝机构均位于定位托板的上方，且料盘取盖机构与载具抬升机构对应设置，螺丝供料器与自动上螺丝机构对应设置，放片机械臂末端设有晶圆取放机构；工作台上还开设有摄片孔，工作台的下方固定安装有拍摄机构。本发明不但能够确保晶圆于料盘内精准角度、位置的放置，装盘效率大大提高，且有效避免了在装盘过程中意外划伤晶圆现象的发生。
- 一种自动装置
- [发明专利]一种晶圆自动分选机-CN202010666370.4有效
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李凯杰;赵成浩;郭明灿;臧运凤
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-07-13
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2020-10-16
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H01L21/67
- 本发明属于晶圆生产设备技术领域，提供了一种晶圆自动分选机，包括机架，还包括料架、晶圆取放装置及控制器；料架分为待分选区和分选完成区，且分别设有与花篮放置位对应设置的花篮定位机构；晶圆取放装置包括安装架，安装架上沿X轴方向滑动安装有第一驱动装置驱动的安装板，安装板上设有由第二驱动装置驱动、且沿Z轴方向滑动的安装座，安装座上沿Y轴方向滑动安装有第三驱动装置驱动的托板，托板末端具有一晶圆托放部；控制器分别与花篮定位机构、第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置相连。本发明相较传统的人工晶圆分选，不但分选效率大大提高，有效避免了分选错误，且不会对晶圆造成划伤，能够对分选晶圆的衬底号进行排序放置。
- 一种自动分选
- [实用新型]一种晶圆自动上片用料仓-CN202021524479.6有效
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郭明灿;李凯杰;赵成浩;王子龙
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-07-29
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2020-10-16
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H01L21/673
- 本实用新型属于晶圆上片技术领域，提供了一种晶圆自动上片用料仓，包括安装板，安装板上滑动安装有驱动装置驱动的料筐，料筐两内侧均设有若干载具托板，对应设置的两载具托板间形成用以放置上片载具的放置位，料筐的一端还固定安装有若干与载具托板对应设置的挡块；上片载具包括托盘和卡装于托盘内的料盘，托盘上设有若干用以实现料盘定位的定位销以及用以实现料盘固定的夹持机构，托盘上还开设有起盘孔，上片载具通过托盘滑动安装于对应设置的两载具托板之间。本实用新型能够实现自动上片设备的载具供给，相较传统的人工于自动上片设备内取放料盘的方式，不但实现了人工劳动力的有效替代，且为晶圆高效、有序的自动上片提供了可靠保障。
- 一种自动上片用料
- [实用新型]一种晶圆自动检测线-CN202021357668.9有效
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赵成浩;李凯杰;王子龙;郭明灿
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-07-13
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2020-09-18
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H01L21/67
- 本实用新型属于晶圆生产技术领域，提供了一种晶圆自动检测线，包括料架、原子力显微镜、共聚焦显微镜、机械臂以及控制器，原子力显微镜设有两台，两原子力显微镜、共聚焦显微镜和料架均围绕机械臂，且于机械臂的运动半径内设置；料架的花篮放置架上设有若干花篮放置位，花篮放置架上分别设有与花篮放置位对应设置的花篮定位机构；机械臂的连接手腕固定安装有固定座，固定座上固定安装有晶圆托板，晶圆托板的末端具有一晶圆托放部，晶圆托放部的上表面开设有吸片孔。本实用新型相较传统的人工取放晶圆进行检测的检测方式，不但检测效率大大提高，且在检测过程中不会对晶圆造成划伤，确保了晶圆质量不受影响。
- 一种自动检测
- [实用新型]一种晶圆分选用料片取放装置-CN202021357670.6有效
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李凯杰;赵成浩;郭明灿;臧运凤
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山东元旭光电股份有限公司
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2020-07-13
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2020-08-14
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H01L21/67
- 本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，提供了一种晶圆分选用料片取放装置，包括安装架，安装架上沿X轴方向滑动安装有第一驱动装置驱动的安装板，安装板上设有由第二驱动装置驱动、且沿Z轴方向滑动的安装座，安装座上沿Y轴方向滑动安装有第三驱动装置驱动的托板，托板末端具有一晶圆托放部，晶圆托放部的上表面开设有吸片孔，托板内部开设有与吸片孔相连通的气道。本实用新型相较传统的人工进行晶圆分选的分选方式，不但分选效率大大提高，降低了分选成本，有效避免了分选错误的发生，且不会对晶圆造成划伤，确保了晶圆质量不受影响，在实现晶圆归类分选的同时，能够对分选晶圆的衬底号进行排序放置，方便实用。
- 一种分选用料片取放装置
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