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[实用新型]基板清洗刷-CN202223028707.2有效
发明人： 郝岩松;张伟业;郑云龙;赵旭;郭生洋 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基板清洗刷，属于半导体加工技术领域。本实用新型提供了一种基板清洗刷，清洗刷为旋转体，清洗刷沿其轴向按顺序设有的第一清洗面、第二清洗面和第三清洗面；第一清洗面和第三清洗面为锥面或弧面。本申请的基板清洗刷通过将清洗刷设置为旋转体，便于在清洗刷对基板进行清洗时带动清洗刷进行转动，通过将第一清洗面和第三清洗面设置为锥面或弧面，能够调整清洗刷上清洗液或水流的流入流出基板的流向，使得清洗液或者水流以非垂直于基板的顶面或底面的方向流入流出，能够促使基板上的污染物跟随清洗液或者水流进行流动，清洗效果更高，解决现有技术中清洗效果不佳的问题。
基板清洗刷

[实用新型]一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台-CN202120630051.8有效
发明人： 郝岩松;孙凤;李强;徐方超;金俊杰;张晓友;张明;佟玲 -专利权人：沈阳工业大学
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G12B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台，包括定平台，所述定平台上周向设置有三个复桥组合杠杆，所述复桥组合杠杆上通过双轴柔性铰链安装有动平台，所述复桥组合杠杆设有复桥位移放大机构，且复桥位移放大机构内设有压电陶瓷驱动器。平台整体采用三个完全一样的复桥组合杠杆式位移放大机构呈等边三角形并联而成，平台总体尺寸较小并且具有更大的承载力。复桥组合杠杆式位移放大机构，相比于传统的位移放大机构具有更大的刚度和放大比。采用新型双轴柔性铰链代替传统球铰链，使位移放大机构与球铰链可以一体化加工，减少了装配间隙误差。具有大行程、运动分辨率高、无需润滑、不产生热量和噪音的优点。
一种并联组合杠杆行程自由度精密定位平台

[发明专利]一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台-CN202110332625.8在审
发明人：孙凤;郝岩松;李强;徐方超;金俊杰;张晓友;张明;佟玲 -专利权人：沈阳工业大学
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G12B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台，包括定平台，所述定平台上周向设置有三个复桥组合杠杆，所述复桥组合杠杆上通过双轴柔性铰链安装有动平台，所述复桥组合杠杆设有复桥位移放大机构，且复桥位移放大机构内设有压电陶瓷驱动器。平台整体采用三个完全一样的复桥组合杠杆式位移放大机构呈等边三角形并联而成，平台总体尺寸较小并且具有更大的承载力。复桥组合杠杆式位移放大机构，相比于传统的位移放大机构具有更大的刚度和放大比。采用新型双轴柔性铰链代替传统球铰链，使位移放大机构与球铰链可以一体化加工，减少了装配间隙误差。具有大行程、运动分辨率高、无需润滑、不产生热量和噪音的优点。
一种并联组合杠杆行程自由度精密定位平台

[发明专利]一种牵引电机及其转子轴承免解体拆装结构-CN201911114005.6在审
发明人：汤黎明;申政;唐子谋;刘勇;龚天明;成熹;李广;杨敏;夏红勇;赵粲;王璠;谭作;郝岩松;李子君 -专利权人：中车株洲电机有限公司
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H02K5/16 文献下载
摘要：本发明公开一种转子轴承免解体拆装结构，包括设置于壳体内的转子转轴和套设于所述转子转轴上的转子轴承，还包括可拆卸地套设于所述转子轴承外圈上的轴承座、设置于所述壳体的轴向两端的端盖、套设于所述转子转轴上并紧贴在转子铁芯的两端端面上的压圈，以及可拆卸地连接于所述端盖与所述压圈之间、用于使所述压圈压紧所述转子铁芯端面以夹紧固定所述转子转轴的拉紧杆。本发明所公开的转子轴承免解体拆装结构，通过拉紧杆的拉紧作用，可通过压圈限制转子转轴的轴向和周向运动自由度，能够在实现免解体拆装转子轴承的基础上，提高拆装效率，同时避免在拆装作业过程中造成转子移位。本发明还公开一种牵引电机，其有益效果如上所述。
转子转轴转子轴承压圈拆装结构解体可拆卸拉紧杆端盖转子铁芯端面转子轴承外圈转子拆装效率拆装作业夹紧固定两端端面牵引电机周向运动轴向两端转子铁芯地连接轴承座移位拆装壳体拉紧压紧轴向紧贴体内

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