专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基极的结构及其制造方法-CN02142153.6有效
  • 郑俊一;李资良;陈佳麟 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2002-08-22 - 2004-02-25 - H01L21/28
  • 一种基极的结构及其制造方法。本发明的基极的结构至少包括多晶硅缓冲层或氮化硅缓冲层。而本发明的基极的制造方法至少包括:形成多晶硅缓冲层或氮化硅缓冲层覆盖基材上的纯氧化层;接着,进行氮化制程,藉以使多晶硅缓冲层或氮化硅缓冲层中具有氮离子;以及进行氧化制程,藉以将多晶硅缓冲层或氮化硅缓冲层中的部分氮离子趋入纯氧化层中等步骤。运用本发明的基极的结构及其制造方法,可避免基极介电层表面的结构由于进行等离子体氮化制程而遭受破坏,且可提高载子迁移率与驱动电流。
  • 基极结构及其制造方法

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