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[发明专利]无毛刺镀膜器件制备方法及镀膜贴合结构、器件拾取结构-CN202210231809.X有效
发明人：邢发军;钟屿;郏晓彤 -专利权人：江苏长电科技股份有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及半导体封装技术领域，公开了一种无毛刺镀膜器件制备方法及镀膜贴合结构、器件拾取结构，包括：提供镀膜器件；将镀膜器件的电路板面与胶带的胶层表面进行贴合，得到包括镀膜器件和胶带的镀膜贴合结构，其中，电路板面与胶带的胶层表面贴合时，所述镀膜器件的侧壁外侧的所述胶层表面形成有凹陷处；在镀膜贴合结构上形成镀膜层，分离后得到镀膜层无毛刺的镀膜器件。本发明在胶带表面形成相应的凹陷处，使得在镀膜贴合结构上形成镀膜层后，镀膜器件的侧壁上的镀膜层和凹陷处胶带表面的镀膜层的接触夹角由原来的90°直角变成大于90°小于180°的钝角，在进行分离时沿镀膜层表面纵向拉伸断裂，最终得到断裂截面无毛刺的镀膜器件。
毛刺镀膜器件制备方法贴合结构拾取

[发明专利]器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构-CN202211227418.7在审
发明人：邢发军;郏晓彤 -专利权人：江苏长电科技股份有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请公开了器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构，其中，器件镀膜方法包括：提供载具，将待镀膜器件设置在载具上；提供镀膜轨道和托盘，镀膜轨道具有相互对接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端对接；将载具安装在托盘上，采用物理气相沉积方式进行镀膜，镀膜轨道的第一段坡道和第二段坡道的对接处位于镀膜源下方，镀膜时，托盘带动载具往复移动，在待镀膜器件的正面和侧面形成镀膜层。本申请载具在第一段坡道和第二段坡道往复移动时，器件侧面由竖直变为与竖直成一定角度，接受自上而下沉积的镀膜原子的概率增加，能够有效降低器件侧面和正面之间的镀膜厚度差。
器件镀膜方法轨道以及机构