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[发明专利]一种硅片载板输送支撑装置及其工作方法-CN202310728160.7有效
发明人：贾广春;庄正军;邹开峰;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及输送运输技术领域，具体涉及一种硅片载板输送支撑装置及其工作方法。本发明提供了一种硅片载板输送支撑装置，包括：工作台、输送部、盖板、承载部和若干支撑调节件，盖板一端铰接在工作台的一侧；工作台适于对硅片进行镀膜工作；输送部可转动的设置在工作台的两侧，输送部适于驱动承载部水平移动；承载部呈框架结构，承载部适于承载硅片；若干支撑调节件环承载部周向设置，支撑调节件适于调节硅片和承载部的框架之间的间距。在运输承载部时防止硅片发生晃动；而在对硅片进行镀膜时，调节板向上移动与硅片相抵，能够避免绕镀现象；提高了工作效率。
一种硅片输送支撑装置及其工作方法

[发明专利]一种硅片板输送清洗设备及工作方法-CN202310707248.0有效
发明人：贾广春;庄正军;邹开峰;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及输送清洗技术领域，具体涉及一种硅片板输送清洗设备及工作方法。本发明提供了一种硅片板输送清洗设备，包括：清洗部、干燥部和若干调整输送件，干燥部固定在清洗部的一侧，干燥部适于干燥清洗后的硅片板；清洗部的两侧分别开设有两工件槽，硅片板一端插入工件槽内后，清洗部的活动端周向转动，以驱动硅片板在清洗部内水平往复移动；若干调整输送件可转动的等间距设置在清洗部内，且调整输送件与清洗部的活动端联动；其中，调整输送件顺时针转动时，适于顶推位于调整输送件上方的硅片板，使其向上翘起；调整输送件逆时针转动时，调整输送件的活动端向内收缩，以挤压调整输送件内的洗涤液喷射向调整输送件外壁。
一种硅片输送清洗设备工作方法

[实用新型]一种太阳能电池片印刷银浆后自动烘干系统-CN202320218839.7有效
发明人：上官泉元;邹开峰;庄正军;徐冬冬 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种太阳能电池片印刷银浆后自动烘干系统，涉及电池片烘干技术领域，包括：花篮；烘箱，对硅片进行真空烘干；上料输送线和下料输送线，分别用于输送硅片；上料机械手和下料机械手；所述烘箱上开设有便于所述花篮进出的开口并连接有封闭所述开口的盖板；所述烘箱内壁还布置若干红外光灯管；当所述花篮置于所述烘箱内，所述花篮相对所述烘箱内壁的距离为相邻两个红外灯管之间距离的两倍，各个硅片多层间隔均匀地堆叠于所述花篮上，通过所述红外光灯管对各个硅片进行真空烘干，解决现有硅片通过链式传输烘干时间较长且效率较低的问题。
一种太阳能电池印刷银浆后自动烘干系统

[发明专利]一种用于太阳能电池片镀膜和光注入的集成设备和工艺-CN202011544481.4在审
发明人：上官泉元;邹开峰 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于太阳能电池片镀膜和光注入的集成设备和工艺，包括硅片上料机构以将硅片平放在平躺的载板上进行上料并由链式传输机构输送载板进入装载真空腔；载板进入TCO镀膜腔内进行TCO镀膜；载板进入光注入退火腔内进行光注入退火；载板进入卸载真空腔内进行大气回填；采用硅片下料机构将硅片下料；空的载板经载板回转机构回传到上料端。本发明将TCO镀膜及光注入退火两道工序集成在一台设备中，利用平躺式载板以实现链式连续运行，在印刷银线前先完成光注入退火，工序整合度高，降低了设备投入，制程周期缩短，生产效率和产品良率提升，电池制造成本随之降低，解决了现有技术光注入退火工序导致的银线与硅片粘结强度下降的问题。
一种用于太阳能电池镀膜注入集成设备工艺

[发明专利]一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱-CN202010286155.1在审
发明人：上官泉元;庄正军;邹开峰;范恒灵 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱，包括箱体，箱体具有进板门阀一及出板门阀一，以及进气管道和出气管道；箱体内设置有升降承托机构以用于沿垂直方向平行并列设置多排用于载板承托的载板支架；对应每排载板支架的上下两侧均设置有加热板；还具有装载腔；装载腔具有进板门阀二及对应进板门阀一的出板门阀二；装载腔通过真空阀一连通至抽真空设备；箱体的出气管道通过真空阀二连通至装载腔。该发明通过多层硅片平躺式放置加热烘干，且双面同时加热可以确保硅片均匀加热而实现快速干燥；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而不需要大量吹气，有效减少了吹气能耗，且具有高产能、占地少的优点。
一种太阳能电池硅片干燥固化烘箱

[发明专利]一种槽式清洗制绒后硅片烘干的方法-CN202010353473.5在审
发明人：上官泉元;庄正军;邹开峰 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种槽式清洗制绒后硅片烘干的方法，包括如下步骤：a.装满硅片的花篮经过慢提拉后放到真空烘箱内，每个真空烘箱内同时容置1～4个花篮同时进行烘干；b.关闭真空烘箱的盖子进行封闭，采用抽真空设备将真空烘箱抽真空；c.通过真空烘箱内的加热设备对硅片及花篮加热；d.烘干后停止抽真空并进行气体回填，即可完成干燥工序。本发明采用抽真空与加热同时进行的方法对花篮及硅片进行干燥，极大加速了烘干速度，烘干效率至少提升一倍；本发明只需要两个烘箱即可满足6000片/小时以上的清洗或制绒设备的产能需求，需要的烘箱数量减少了一半，不仅降低了能耗及设备成本投入，且减少了设备占地空间。
一种清洗制绒后硅片烘干方法

[实用新型]一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备-CN201820141072.1有效
发明人：上官泉元;邹开峰;胡胜尧;庄正军;候岳明;朱广东 -专利权人：常州比太黑硅科技有限公司
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、工艺腔及卸载腔，工艺腔通过泵管路对应设置有工艺泵；装载腔与卸载腔通过泵管路连接至同一台真空泵，通过控制载板进出装载腔和卸载腔的节拍和流程并充分利用真空泵工作间歇时间以实现一个真空泵同时服务于装载腔和卸载腔；且当设备由于故障出现装载腔和卸载腔节拍干涉时，通过程序控制卸载腔优先工作以保证设备工艺顺畅，从而使设备恢复到正常的生产节拍。通过一台真空泵协调控制装载腔及卸载腔，节省一台真空泵的制造费用和硬件控制器件投入，且大大减少装载腔和卸载腔回填气体的消耗，并有效减少设备占地空间及使用方成本。
卸载腔装载腔真空泵传输真空镀膜设备泵管路低能耗工艺腔刻蚀链式节拍设备占地空间本实用新型程序控制设备工艺设备恢复生产节拍协调控制依次设置硬件控制有效减少工艺泵回填载板消耗干涉制造保证服务

[实用新型]一种三甲基铝计量输送装置-CN201820141024.2有效
发明人： 邹开峰;庄正军;谭兴波;候岳明;上官泉元;胡胜尧 -专利权人：常州比太黑硅科技有限公司
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器，放置在承重传感器上的TMA蒸发罐，连接TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；出料管路具有质量流量计，质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；补料管路设置有补料气动阀，且补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。该实用新型通过精确的温度控制使TMA蒸发罐内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制以精确控制TMA的量，控制精度高，过程相对简便，管道不易堵塞，维护比较方便。
补料出料管路蒸发罐计量输送装置承重传感器质量流量计吹气管路三甲基铝补料阀补料口出口端气动阀恒定本实用新型出料气动阀吹气气动阀温度传感器液位传感器管路设置罐内压力并联旁路蒸发堵塞维护

[实用新型]一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备-CN201820100608.5有效
发明人：上官泉元;庄正军;邹开峰;朱海剑 -专利权人：常州比太黑硅科技有限公司
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔；装载腔、工艺腔及卸载腔分别通过泵管路对应设置有装载泵、工艺泵及卸载泵；装载腔和卸载腔分别设置载板顶升机构，装载腔的载板顶升机构用于两块未处理载板的同时进出，卸载腔的载板顶升机构用于两块处理后载板的同时进出，载板在装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔之间由链式辊轮输送。由于采用了载板顶升机构，使得装载腔和卸载腔一次可以进出两块载板，因此大大提高设备的产能并由于减少了回填气体的频率而大大降低了能耗。
载板卸载腔装载腔顶升机构缓冲腔工艺腔链式传输真空镀膜设备刻蚀本实用新型高产依次设置泵管路工艺泵块处理未处理卸载泵回填产能辊轮能耗装载

[发明专利]一种三甲基铝计量输送装置-CN201810075901.5在审
发明人： 邹开峰;庄正军;谭兴波;候岳明;上官泉元;胡胜尧 -专利权人：常州比太黑硅科技有限公司
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器，放置在承重传感器上的TMA蒸发罐，连接TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；出料管路具有质量流量计，质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；补料管路设置有补料气动阀，且补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。该发明通过精确的温度控制使TMA蒸发罐内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制以精确控制TMA的量，控制精度高，过程相对简便，管道不易堵塞，维护比较方便。
补料出料管路蒸发罐计量输送装置承重传感器质量流量计吹气管路三甲基铝补料阀补料口出口端气动阀恒定出料气动阀吹气气动阀温度传感器液位传感器管路设置罐内压力并联旁路蒸发堵塞维护

[发明专利]一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备-CN201810055131.8在审
发明人：上官泉元;庄正军;邹开峰;朱海剑 -专利权人：常州比太黑硅科技有限公司
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔；装载腔、工艺腔及卸载腔分别通过泵管路对应设置有装载泵、工艺泵及卸载泵；装载腔和卸载腔分别设置载板顶升机构，装载腔的载板顶升机构用于两块未处理载板的同时进出，卸载腔的载板顶升机构用于两块处理后载板的同时进出，载板在装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔之间由链式辊轮输送。由于采用了载板顶升机构，使得装载腔和卸载腔一次可以进出两块载板，因此大大提高设备的产能并由于减少了回填气体的频率而大大降低了能耗。
一种产能链式传输真空刻蚀镀膜设备

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