专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置的制造方法以及制造装置-CN201510593549.0有效
  • 樱井大辅;近藤繁;三宅贵大 - 松下知识产权经营株式会社
  • 2015-09-17 - 2018-02-16 - H01L21/00
  • 本发明提供一种半导体装置的制造方法以及制造装置,能够在光学部件等的安装部件粘贴工序内高精度地确保光学部件与半导体元件等的基板之间的间距,并能够判别粘合不良,防止粘合不良品向后续工序的流出。通过使检测光(6)在安装部件(11)以及接合部件(13)中进行透过照射,从而测定安装部件与基板(12)之间的上下方向的距离,使安装部件与基板(12)接近至规定的距离的状态下,使检测光相对于安装部件沿上下方向并且横向照射安装部件的至少1个角部近旁,利用其反射光的波形,检查粘合状态是否良好。
  • 半导体装置制造方法以及

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