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[发明专利]用于通过位移测量来控制喷射分配的方法和设备-CN202310469487.7在审
发明人： D·布雷卫马克 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B05B1/08 文献下载
摘要：公开了一种用于将粘性介质喷射到基板(23)上的方法。该方法包括将粘性介质提供(110)给喷射器(1)的喷射腔室(5)，操作(120)冲击装置(6、7)以冲击腔室中的一定体积的粘性介质，使得粘性介质通过连接到腔室的喷嘴(4)朝向基板喷射，以及监测(130)冲击期间冲击装置的位移。还公开了一种喷射器和一种包括这种喷射器和控制单元(32)的系统。对位移的监测允许相应地控制冲击装置的操作，从而提供对喷射过程的改进控制。
用于通过位移测量控制喷射分配方法设备

[发明专利]电子元件的电气验证-CN202080008132.2有效
发明人： B.弗姆;O.贝岑 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H05K13/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种元件安装机(1)，该元件安装机(1)包括用于从电子元件源(4)拾取电子元件(3)并将它们放置在工件(5)上的拾取工具(2)、以及用于测量由拾取工具(2)拾取和保持的电子元件(3)的电气特性的验证单元(6)。验证单元(6)包括板(7)、布置在所述板(7)的表面(9)上的多个测试电极(8)、以及在拾取的电子元件(3)与所述测试电极(8)之中的至少两个之间接触时用于测量来自测试电极(8)的输出信号的系统(10)。此外，至少一个测试电极(8)布置在板(7)的柔性部分(11)上，该柔性部分(11)配置为在拾取的电子元件(3)与所述至少两个测试电极(8)之间接合时弯曲。
电子元件电气验证

[发明专利]用于设置相对激光强度的设备和方法-CN202180070282.0在审
发明人： F·伊伦 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G03F1/76 文献下载
摘要：为表示光刻曝光的多个像素设置相应相对激光强度的一种设备、计算机程序、计算机可读介质和方法。该多个像素包括：至少一个边缘像素，位于待曝光的像素区域的边缘处；以及至少一个相邻像素，排列为在朝向该待曝光的像素区域的与边缘垂直的方向上与该至少一个边缘像素相距一个像素。该方法包括将多个像素的每个像素的相对激光强度从先前设置的相应第一相对激光强度成比例地降低到相应第二相对激光强度。将像素的相对激光强度的激光剂量转换从先前设置的第一激光剂量转换成比例地调整到第二激光剂量转换，使得每个像素的相应有效曝光激光剂量通过该相应第二相对激光强度的第二激光剂量转换来实现，该每个像素的相应有效曝光激光剂量等于由该相应第一相对激光强度的第一激光剂量转换产生的每个像素的相应有效曝光激光剂量。将该至少一个边缘像素的边缘像素或该至少一个相邻像素的相邻像素的相应相对激光强度从相应第二相对激光强度增加到相应第三相对激光强度。
用于设置相对激光强度设备方法

[发明专利]用于立体光刻三维打印的设备和方法-CN202180059396.5在审
发明人：埃琳娜·马丁内斯弗雷兹;努里亚·托拉斯安德烈斯;弗朗切斯科·潘帕洛尼;恩斯特·H·K·施特尔泽;G·马滕森;罗伯特·埃克伦德;N·伊斯梅尔 -专利权人：加泰罗尼亚生物工程基础研究所;约翰·沃尔夫冈·歌德-美茵河畔法兰克福大学;巴塞罗那大学;迈康尼股份公司
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于立体光刻三维(3D)打印的设备和方法，包括：a)适于容纳可光聚合聚合物的容器，b)发射波长在360nm和1000nm之间的光束的至少一个激光发生器，c)用于将所述光束调制成作为光矩阵的至少两个光片的调制装置，以及d)用于照射容纳所述可光聚合聚合物的容器中的所述光片的装置；其中所述至少一个激光发生器被布置成使得所述至少两个光片在所述容器内交叉，导致可光聚合聚合物在所述光片的交叉处聚合。
用于立体光刻三维打印设备方法

[发明专利]控制喷射器的方法和相关系统-CN201980084916.0有效
发明人： P.福斯伯格;G.马坦森 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：公开了一种控制喷射器的方法，其中所述喷射器包括配置为向基板上喷射粘性介质液滴的致动器装置，其中所述液滴构成由多个液滴组成的序列的一部分。所述方法包括获得用于控制致动器装置的操作的控制参数，并使用该控制参数操作致动器装置，以喷射液滴。所获得的控制参数基于以下参数之中的至少一个：所述液滴与序列中的前一个液滴之间的时间长度、所述液滴的目标尺寸与序列中的前一个液滴的尺寸之间的差异、以及所述液滴在序列中的位置。
控制喷射器方法相关系统

[发明专利]用于图案生成的方法和装置-CN202180042135.2在审
发明人： M.格林托夫特;J.斯特纳;R.埃克隆;F.伊伦;P.斯坦斯特罗姆 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-06-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提出了一种用于SLM的具有周期性分量的图案的光栅化方法，该方法包括获得(S10)具有周期性的原始图案。确定(S21)第一图案主周期。获得(S31)成像元件的图像区域和第一间距。以第一光栅缩放因子缩放(S41)原始图案。剪裁(S51)缩放的图案，以包括被图像区域覆盖的在第一方向上呈现周期性的图案项目的第一整数次重复，从而提供适于预期图案生成器的光栅化图案。该光栅化图案与代表第一缩放因子的数据相关联。还公开了一种写入方法，该方法包括获得光栅化图案。将在图案生成器中落在光栅化图案之外的SLM的元件设置为禁用。以光学缩放因子将光栅化图案写入目标表面。
用于图案生成方法装置

[发明专利]用于控制激光束的聚焦的装置和方法-CN202180045822.X在审
发明人： P.斯坦斯特罗姆;A.斯文森;J-O.拉森 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G02F1/33 文献下载
摘要：公开了用于在微扫描期间控制激光束的聚焦的装置、计算机程序、计算机可读介质及方法。将激光束接收至声光偏转器，并向声光偏转器提供声波。该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描。此外，调整声波在微扫描时间内的频率变化率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波在微扫描时间内的调整的频率差，其中所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
用于控制激光束聚焦装置方法

[发明专利]光束位置图像优化-CN202180041558.2在审
发明人： A.斯文松;F.伊伦 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于获得工件图案化装置的补偿图案的方法，该方法包括根据具有多个边缘的校准图案印刷数据使用能够在第二方向上扫描的多个同时操作的曝光光束印刷(S11)校准图案。测量(S12)边缘的位置。计算(S13)实测位置相对于校准图案的偏差。将每个偏差与使用的曝光光束、扫描位置和网格分数位置相关联(S14)。计算(S15)用于在印刷之前调整图案印刷数据的边缘表示以补偿计算的偏差的边缘补偿数据。所述边缘补偿数据取决于使用的曝光光束、扫描位置和网格分数位置。
光束位置图像优化

[发明专利]偏移对准方法和显微光刻印刷装置-CN202180040102.4在审
发明人： A.斯文松 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于显微光刻印刷装置的偏移对准方法，该方法包括放置(S10)对准目标基材。目标图案呈现出相对于原点限定的至少两种不同光反射率的区域。照射(S20)对准目标基材。测量(S30)反射光。通过测量的光产生(S40)目标图案的反射图像。所述照射是根据光的测试图案进行的，该测试图案具有有光照区域和无光照区域。该测试图案是相对于原点限定的。从反射图像中的与目标图案相关的特征确定(S50)实测目标图案原点，并且从反射图像中的与测试图案相关的特征确定实测测试图案原点。从实测目标图案原点与实测测试图案原点计算(S60)实测位置与写入位置之间的偏移。
偏移对准方法显微光刻印刷装置

[发明专利]基于形貌的沉积高度调节-CN202180037018.7在审
发明人： G.马尔滕松;P-E.古斯塔夫松 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H05K1/18 文献下载
摘要：一种用于将部件(100)安装在工件(106)上的方法，所述方法包括获取关于部件的安装表面(102)和其上待安装部件的工件的局部表面(108)中的至少一者的表面形貌的信息。所述方法还包括在安装表面和局部表面中的至少一者上形成多个粘性介质沉积物(110)，其中多个沉积物中的每一者均具有基于所获取的信息的高度(h1、h2、h3)，并且是通过使用非接触式分配独立施加粘性介质(232)的至少一个珠滴(234)而形成的。所述方法还包括将部件放置在基板上，使得多个粘性介质沉积物在部件和工件之间形成连接。
基于形貌沉积高度调节

[发明专利]具有柔性喷嘴的喷射装置-CN202180008540.2在审
发明人： G.马滕森;A.内里朱斯 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：一种配置成喷射一个或更多个粘性介质液滴的装置，该装置可以包括壳体和柔性喷嘴，该壳体具有至少部分地限定配置成容纳粘性介质的喷射室的内表面。所述柔性喷嘴可以包括在内表面上的入口孔与外表面上的出口孔之间延伸的柔性导管。所述装置可以导致喷射室中的粘性介质的内部压力增大，以迫使一个或更多个粘性介质液滴通过柔性导管并通过出口孔。所述柔性喷嘴可以包含柔性材料。所述柔性喷嘴可以响应于喷射室中的粘性介质的内部压力的增大而变形，从而使柔性导管的横截面面积扩张。
具有柔性喷嘴喷射装置

[发明专利]具有供应导管致动器的喷射装置-CN202180008380.1在审
发明人： G.马滕森 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：一种配置成喷射一个或更多个粘性介质液滴的装置，包括：至少部分地限定喷射室的壳体；向喷射室中供应粘性介质的供应导管；喷嘴；配置成迫使一个或更多个粘性介质液滴通过喷嘴的导管喷射为一个或更多个液滴的冲击装置；以及供应导管致动器，该供应导管致动器配置成基于独立于冲击装置穿过供应导管的至少一部分的移动而调节供应导管所述部分对从喷射室流过供应导管的粘性介质的流体动力学阻力，以调节供应导管所述部分的横截面过流面积。
具有供应导管致动器喷射装置

[发明专利]用于元件安装机的安装工具-CN202080080754.6在审
发明人： R.阿克塞尔森 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种安装工具端头(1)，该安装工具端头(1)被布置成可释放地安装到元件安装机(60)的安装工具(20)上，所述安装工具(20)围绕竖直旋转轴线(V)可旋转地布置在所述元件安装机(60)中。安装工具端头(1)包括位于第一端(3a)处的端头部分(2)，该端头部分(2)用于与元件安装机(60)中的待安装的元件(10)接合；用于将所述安装工具端头(1)安装到所述安装工具(20)上的接合装置(4)。此外，接合装置(4)布置在与所述第一端(3a)相对的第二端(3b)处，并且还被配置成使得在安装工具端头(1)安装到所述安装工具(20)时所述端头部分(2)相对于所述旋转轴线(V)在水平方向上偏离中心。本发明还提供了一种安装工具(20)、一种安装头(40)、一种元件安装机(60)、以及一种用于在元件安装机中同时拾取布置在相邻元件带(11)中的至少两个元件(10)的方法。
用于元件装机安装工具

[发明专利]用于导引元件带的带导引器-CN202080075039.3在审
发明人： J.伯格斯特龙;P.森德斯特伦 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于将元件带(2)从带卷轴(3)导引至元件安装机(100)的拾取位置(4)的带导引器(1)。所述带导引器(1)包括支撑结构(6)，该支撑结构(6)用于将元件带(2)从带导引器(1)的上游端部(7)导引至带导引器(1)的下游端部(8)。所述带导引器(1)还包括钩部(9)，该钩部(9)布置在下游端部(8)处，并且被配置成在带导引器(1)和带卷轴(3)被从所述元件安装机(100)移除时夹住所述带卷轴(3)的凸缘(3a)。本发明还提供了一种包括带导引器、带卷轴和元件带的装置(20)以及一种元件安装机(100)。
用于导引元件

[发明专利]用于使用冲击装置喷射粘性介质的方法和设备-CN201780064407.2有效
发明人： J.伯格斯特罗姆 -专利权人： 迈康尼股份公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H05K3/12 文献下载
摘要：公开了一种用于将粘性介质喷射到基板(23)上的喷射器(1)。该喷射器包括适合于容纳粘性介质的喷射室(2)、相通地连接至喷射室的喷嘴(3)、以及适合于冲击喷射室内的一定体积的粘性介质从而使粘性介质通过喷嘴朝基板喷射的冲击装置(4)。所述喷射器还可包括旋转机构(5)，该旋转机构(5)适合于使冲击装置围绕冲击装置的长度轴线旋转，从而在待喷射的粘性介质中引起剪切。还公开了一种相应的系统和方法。
用于使用冲击装置喷射粘性介质方法设备

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