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[实用新型]一种环形件-CN202120535365.X有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;龚润泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种环形件，所述环形件包括环体和环体外表面的固定件，固定件内部设置有内孔，内孔的中心线与环体上端面的距离小于内孔的中心线与环体下端面的距离，应用于溅射成膜中，使用寿命长，且结构简单，成本低，易于加工，能够提高溅射成膜中薄膜的接触孔覆盖率。
一种环形

[发明专利]一种靶材组件及靶材组件制作方法-CN202111183196.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;王少平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，特别涉及一种靶材组件及靶材组件制作方法。本发明通过对喷砂区位置靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁进行螺纹处理，使得靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁凹凸不平，为后续的反溅射层附着提供粗糙面。虽然靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁积累的反溅射材料较少，但长期积累还是容易产生一定厚度的反溅射层，且因为靠近靶材溅射面边缘一侧，无法在该区域形成熔射层(以避免熔射层材料被溅射)，因此在靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁形成螺纹层，为后续的反溅射层附着提供粗糙面。
一种组件制作方法

[发明专利]一种脆性靶材的焊接方法-CN202110152753.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨慧珍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种脆性靶材的焊接方法，先将脆性靶坯的焊接面与辅助压块的第一平面相接触并进行绑定，所述第一平面与所述溅射面的形状尺寸相同，再将绑定脆性靶坯、背板以及焊料进行加热，利用熔化后的焊料对焊接面进行浸润处理，随后将浸润处理后的绑定脆性靶坯扣合在浸润处理后的背板上，实现焊接面之间的接触，在所述辅助压块的第二表面上放置压块并冷却，将所述辅助压块取下，得到脆性靶材。本发明所述脆性靶材的焊接方法通过将脆性靶坯与辅助压块进行绑定，不仅有效解决了扣合后焊料残存空气而被氧化的问题，使得焊接结合率≥97％，平面度＜1mm，还有效防止了靶坯开裂，满足磁控溅射的使用要求。
一种脆性焊接方法

[实用新型]一种对中装置-CN202221367957.6有效
发明人：万先进;边逸军;王冬冬;李文超 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体的技术领域，公开了一种对中装置。该对中装置包括：底板；吸附块，放置在底板上以用于吸附工件；多个定位件，多个定位件绕吸附块环设在底板上，且定位件与底板滑动连接；转盘，设置在底板下方；多个连接组件，均转动连接在转盘上，每个连接组件远离转盘的一侧与一个定位件转动连接，以带动定位件朝向靠近或远离吸附块的一侧滑动；驱动组件，与转盘连接以驱动转盘带动多个连接组件同步转动。以此通过在多个方向上同时推动工件相对于吸附块移动，只需要一次对中作业即可确保工件与吸附块的中心对齐，从而确保吸附块能够吸附工件，提高工件在加工过程中的稳定性，有利于提高对工件加工质量的控制精度。
一种装置

[发明专利]可减少旋转靶偏心的夹具以及装粉包套的加工方法-CN202111181948.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：本申请公开了可减少旋转靶偏心的夹具以及装粉包套的加工方法，其中，夹具，包括金属本体，所述金属本体的一端具有环状的内包套槽和环状的外包套槽，所述内包套槽和所述外包套槽同心设置且外包套槽位于内包套槽的外侧，所述金属本体还具有贯穿金属本体的投粉口，所述投粉口位于内包套槽和外包套槽之间。本申请通过内包套槽能够定位内包套，通过外包套槽能够定位外包套，通过控制夹具加工公差，一方面可以控制内外包套的相对位置，保证在焊接时内外包套的同心度，另一方面又可以通过夹具的夹持限位作用，控制由于热胀冷缩内外包套相对位置发生变化，能够较好地将装粉后的旋转靶同心度控制在≤0.3mm，将热等静压后的成品率提高至70％以上。
减少旋转偏心夹具以及装粉包套加工方法

[发明专利]一种防着板花纹加工方法-CN202211312533.4在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李炀 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B23D7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种防着板花纹加工方法，将待加工防着板固定后，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹，不仅可以控制刨削的精度为IT9～IT8，刨削后防着板的表面粗糙度为0.4～1.6μm，直线度可达0.02mm/m，还可以加工大尺寸的防着板，节省设备成本，节约单个防着板的加工时间，减小对刀具的损坏，增加防着板的吸附面积，提高防着板的使用寿命。
一种防着花纹加工方法

[发明专利]一种钒钨合金靶材及其制备方法与应用-CN202210319915.3有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;黄慧珍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C22C27/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种钒钨合金靶材及其制备方法与应用，以质量百分含量计，所述钒钨合金靶材的组分包括：钨≥60％，余量为钒；所述制备方法包括以下步骤：(1)按照配方量混合钒粉和钨粉，球磨后得到混合粉末；(2)将步骤(1)所得混合粉末进行烧结温度为1300‑1700℃，压制压力为60‑350T的真空热压烧结处理，得到钒钨合金靶坯；(3)将步骤(2)所得钒钨合金靶坯进行机加工，得到钒钨合金靶材；其中，步骤(2)所述真空热压烧结处理包括顺次进行的第一保温处理、第二保温处理与保温保压处理。所述发明通过优化烧结工艺改善了靶材内部组织结构，提高了靶材的纯度和致密度，进而提升了溅射稳定性和镀膜质量。
一种合金及其制备方法应用

[实用新型]一种清洗装置及晶圆减薄设备-CN202222173008.0有效
发明人：万先进;单保淋;李文超;边逸军 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洗装置及晶圆减薄设备，属于晶圆制造技术领域。清洗装置包括箱体、设于箱体上的第一清洗机构和第二清洗机构，第一清洗机构和第二清洗机构分别位于箱体的第一端和第二端，且二者均能够在箱体上沿第一方向移动；清洗装置还包括：第一罩体，设于箱体的第一端与第一清洗机构之间；第二罩体，设于箱体的第二端与第二清洗机构之间；第三罩体，设于第一清洗机构和第二清洗机构之间。晶圆减薄设备包括上述的清洗装置。本实用新型通过第一罩体、第二罩体和第三罩体的设置对箱体进行充分罩设，避免飞屑或者水雾进入箱体内部，对清洗机构的相关机械电气部件进行保护，保证清洗装置清洗功能的顺利实现。
一种清洗装置晶圆减薄设备

[实用新型]一种夹爪机构及晶圆夹取装置-CN202222175830.0有效
发明人：万先进;李俊;李文超;边逸军 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及夹持设备技术领域，具体公开了一种夹爪机构及晶圆夹取装置。该机构包括驱动模块和两个夹爪主体；驱动模块包括外壳、检测组件、固接于外壳上的导轨和滑设于导轨上的第一滑块，两个夹爪主体中的一个固接于第一滑块，第一滑块能够靠近或远离另一个夹爪主体，第一滑块上固接有遮片组件，当遮片组件处于第一状态时，判断两个夹爪主体松开，当遮片组件处于第二状态时，判断两个夹爪主体夹紧，当遮片组件处于第三状态时，判断两个夹爪主体过夹，检测组件用于检测遮片组件的状态。该机构通过设置遮片组件的方式，判断两个夹爪主体的夹持情况，实现了对夹爪主体是否夹持以及夹持是否到位的检测，提升了夹爪机构的工作效率以及工作稳定性。
一种机构晶圆夹取装置

[发明专利]一种靶材组件焊接前的处理方法-CN202110002835.0有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;叶裕辉;俞冬波 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-01-04 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件焊接前的处理方法，所述处理方法包括：靶材和背板分别依次进行一次浸润、二次浸润和三次浸润；所述二次浸润后靶材和背板冷却至室温；通过分步浸润的方式，C‑SiC靶材与铜背板焊接后，大幅度提高了靶材组件的焊接结合率；本发明提供的靶材组件焊接前的处理方法，操作简单，且节约成本。
一种组件焊接处理方法

[发明专利]一种高纯银蒸发料的制备方法-CN202110130054.X有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;汪焱斌;慕二龙 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B21C25/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯银蒸发料的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将高纯银锭和挤压模具经预热后进行挤压作业，得到直径为8‑10mm的中间料；(2)将中间料进行拉拔处理，得到直径为3‑6mm的所述高纯银蒸发料。本发明提供的制备方法，通过采用将挤压作业和拉拔处理相结合，并控制挤压作业产品的直径，以保证拉拔时具有特定的进料直径，并控制最终高纯银蒸发料产品的直径实现了高性能银蒸发料的制备，使得其作为银蒸发料镀膜时具有致密度高，组织均匀分布的特性。
一种高纯蒸发制备方法

[实用新型]一种晶圆真空吸盘及晶圆清洁装置-CN202221776919.6有效
发明人：万先进;梁志远;沈凌寒;李文超;边逸军 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆真空吸盘及晶圆清洁装置。该吸盘用于定位晶圆，包括吸盘底座和用于承载晶圆的承载板；吸盘底座贯通有用于连通抽气设备的通风孔，吸盘底座的顶端开设有底盘槽，通风孔连通于底盘槽槽底的中部，底盘槽的槽底凸设有多个与通风孔同轴的环形凸起，环形凸起开设有连通环形凸起内侧和外侧的连通沟孔；承载板安装于底盘槽内，设有多个贯通承载板的上板面和下板面的透气孔。该吸盘根据环形凸起和连通沟孔的设计，形成了晶圆真空吸盘内部的气体回路，再借助吸盘底座和承载板的配合，实现了对晶圆的真空吸附。真空吸附的设计也避免了晶圆清洁不彻底的情况，同时还能够兼容不同厚度的晶圆。
一种真空吸盘清洁装置

[发明专利]一种钽靶材焊接面的处理方法-CN202011256638.3有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钽靶材焊接面的处理方法，钽靶材焊接面由从外到内的第一圆环、第二圆环和圆面组成；所述处理方法包括：对所述第一圆环进行熔射处理，对所述第二圆环进行喷砂处理，对所述圆面依次进行喷砂处理和熔射处理。本发明提供的处理方法，通过采用对不同的焊接区域采用不同的处理方法，使得到的钽靶材和背板焊接的焊接结合率高达98.5％以上，同时也改善了焊接后焊接面的应力分布，使的应力分布更加均匀。
一种钽靶材焊接处理方法

[发明专利]一种靶材组件及其制备方法和用途-CN202110757242.5有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材组件及其制备方法和用途，所述靶材组件包括靶材主体、中间层以及通过所述中间层与所述靶材主体相连的靶材背板；所述靶材主体包括溅射面，与所述溅射面通过第一倒角相连的主体侧面，与所述主体侧面通过第二倒角相连的主体喷砂面以及与所述溅射面相对的焊接面；所述焊接面上设置有螺纹；所述靶材背板与所述中间层相连一面为正面；所述靶材背板的正面上设置有与所述靶材背板同圆心的凹槽；所述凹槽的底部设置有螺纹；所述中间层设置于所述凹槽内；靶材组件通过优化整体结构，提高了靶材主体与靶材背板之间的焊接结合律以及焊接结合强度，减少了焊接过程中钛铝合金靶材开裂的情况，有利于工业化生产。
一种组件及其制备方法用途

[发明专利]一种针对电解镍板的物理清洗方法-CN202210969541.X在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;黄东长;姚明月 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B24C1/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种针对电解镍板的物理清洗方法，将待清洗电解镍板依次进行喷砂、水冲洗与干燥，得到清洗后电解镍板，所述物理清洗方法不仅可以有效去除待清洗电解镍板上的氧化皮与油污，还可以避免酸洗方式产生的废酸与废气，具有方便快捷、操作简单、环保安全等优点，便于推广使用。
一种针对电解物理清洗方法