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[发明专利]温度补偿型横向激励体声波谐振器-CN202310730690.5在审
发明人：张巧珍;杜如帆;赵祥永;田亚会;李红浪 -专利权人：上海师范大学;国家纳米科学中心
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明涉及压电声波器件领域，公开了一种温度补偿型横向激励体声波谐振器，包括叉指换能器、温度补偿层、压电薄板及支撑衬底，所述支撑衬底为“冂”型，所述支撑衬底底部形成空腔，所述支撑衬底上设置有压电薄板，所述压电薄板上设置有所述温度补偿层，所述压电薄板上表面设置有所述叉指换能器。本发明的有益效果在于，用于温度补偿XBAR(TC‑XBAR)的三明治结构，能够明显改善并提高器件的温度稳定性，并因其性能，可以在兼顾其他性能(高频、高机电耦合系数)的情况下还能获得较好的频率温度系数。
温度补偿横向激励声波谐振器

[实用新型]一种锂电池生产线用自动装钵机-CN202320412515.7有效
发明人：余久久;张继山;赵祥永;聂格霞;刘丽 -专利权人：安徽三联学院
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种锂电池生产线用自动装钵机，包括料箱和匣钵，料箱具有下料口，匣钵设置在下料口的下方，还包括用于稳固匣钵的定位机构，以及与定位机构相连接的摇匀机构，用于摇匀匣钵内的粉料。本实用新型通过定位机构的设置，方便匣钵的稳定放置，再通过摇匀机构带动定位机构进行晃动，从而带动匣钵及其内的粉料同步晃动，使得粉料分摊均匀，方便后续对粉料进行压平作业，避免粉料分摊不均而导致局部中空现象的发生，有助于后续的烧结工作。
一种锂电池生产线自动装钵机

[发明专利]一种铌镍酸钡-铌酸钾铁电薄膜材料及其制备方法与应用-CN202211491383.8在审
发明人：李传青;蔡玉;王飞飞;段志华;赵祥永;王涛;唐艳学;石旺舟 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L31/0445 文献下载
摘要：本发明涉及一种铌镍酸钡‑铌酸钾铁电薄膜材料及其制备方法与应用，该铌镍酸钡‑铌酸钾铁电薄膜材料包括自下而上依次设置的衬底、底电极层、薄膜层和透明顶电极层；所述衬底为无机云母衬底；所述薄膜层为铌镍酸钡‑铌酸钾，化学组成为[KNbO3]0.9[BaNi1/2Nb1/2O3]0.1，制备方法为溶胶凝胶法。与现有技术相比，本发明的制备方法经济环保，制备工艺简单，制备的铌镍酸钡‑铌酸钾铁电薄膜材料为全新柔性全无机薄膜，能实现稳定的光响应输出，有望在光伏器件领域实现应用。
一种铌镍酸钡铌酸钾铁电薄膜材料及其制备方法应用

[发明专利]利用智能剥离法实现高精度控制功能层厚度的空腔制备方法-CN202211127314.9在审
发明人：杨继业;段志华;张金中;赵祥永 -专利权人：浙江鸿业微电子科技有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了利用智能剥离法实现高精度控制功能层厚度的空腔制备方法，为MEMs领域制备空腔体提供一种新的工艺路线，在衬底上用镀膜工艺制备具有特定应力的功能层，再通过光刻技术将需要制备空腔的位置暴露出来，接着智能剥离法(smart cut)通过高能粒子注入能量的控制精准控制功能层内部连接结构被破坏的位置，最后通过退火工艺，使功能层2内部被破坏的位置彻底断裂，断裂的上部分的功能层则由于特定应力的作用向上拱起从而形成所需的空腔，该工艺实现了制备空腔的同时高精度控制向上拱起的功能层的厚度，相比于传统的制备方法，无需额外调整功能层厚度的工艺，工艺简洁高效，且不需要对衬底做预处理，也无需释放孔以及化学反应，工艺更稳定简洁。
利用智能剥离实现高精度控制功能厚度空腔制备方法

[发明专利]利用合金熔融技术实现无需释放孔的非化学释放空腔制备方法-CN202211017479.0在审
发明人：杨继业;段志华;张金中;赵祥永 -专利权人：浙江鸿业微电子科技有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了利用合金熔融技术实现无需释放孔的非化学释放空腔制备方法，为MEMs领域制备空腔体提供一种新的工艺路线，利用光刻技术将需要制备的预空腔的位置暴露出来，进行预空腔的刻蚀，刻蚀出的预空腔通过合金镀膜技术进行填充形成合金层，通过调节合金比例来控制合金层的熔点温度，并用化学研磨工艺将预空腔内的合金层磨平，最后利用退火加工工艺，将退火温度设置在高于合金层熔点且低于功能层熔点，使合金层液化，并由于表面张力形成中间低边缘高的形状，液化后的合金层与功能层的连接键断开，功能层受应力的控制向上拱起形成一个空腔体，最后快速冷却，无需释放孔以及无需额外的化学物，只需加热就能完成空腔体的制备，工艺稳定简洁。
利用合金熔融技术实现无需释放化学空腔制备方法

[发明专利]铌铟酸铅-铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料及制备与应用-CN202110981620.8有效
发明人：王飞飞;杨嘉倩;段志华;李传青;赵祥永;王涛;唐艳学;石旺舟 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C30B29/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅铁电薄膜材料及其制备与应用，所述铁电薄膜材料包含自下而上依次设置的衬底、导电缓冲层和薄膜层，所述薄膜层为铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅，化学组成为(1‑x‑y)Pb(In1/2Nb1/2)O3‑yPb(Mg1/3Nb2/3)O3‑xPbTiO3，其中，x＝0.20～0.40，y＝0.18～0.60，所述铁电薄膜材料采用溶胶凝胶方法制备。与现有技术相比，本发明制备的薄膜具有纯钙钛矿结构，且具有优异的铁电、压电和热释电性能，以及高的居里温度，适用于新型的压电、热释电集成器件。
铌铟酸铅铌镁酸铅铅铁薄膜材料制备应用

[发明专利]一种基于弛豫铁电单晶的声表面波谐振器及制备方法-CN202111635090.8在审
发明人： 赵祥永;刘会灵;谢青秀;张巧珍;王飞飞 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于弛豫铁电单晶的声表面波谐振器及制备方法，属于声表面波技术领域。本技术方案声表面波谐振器由叉指电极层和压电基底层依次叠放构成。所述压电基底层的材料为掺杂铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅的弛豫铁电单晶，简称Mn‑PIMNT，0.5mol％Mn‑xPb(In1/2Nb1/2)O3‑(1‑x‑y)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑yPbTiO3。本发明提出的弛豫铁电单晶的声表面波谐振器结构获得的瑞利波具有高的机电耦合系数，高达24％。而且通过旋转欧拉角优化不同极化方向的Mn‑PIMNT弛豫铁电单晶的取向，优选出具有高性能的声表面波，非常适用于大宽带声表面波器件。
一种基于弛豫铁电单晶表面波谐振器制备方法

[发明专利]高频高机电耦合系数的无铅压电单晶复合材料及制备方法-CN202111461560.3在审
发明人： 赵祥永;周迅;岳晴雯;王飞飞;唐艳学;张巧珍 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种高频高机电耦合系数的无铅压电单晶复合材料及制备方法，属于复合材料制备技术领域，其特征在于：由无铅压电材料和非压电相材料组成，无铅压电材料为上半部被均匀切割成网格状晶柱的四棱柱，非压电相材料填充在其网格的切割槽中。本发明克服现有复合材料中铅基压电材料在制备、使用、回收和废弃的过程中所带来的对环境与人体的危害，并提供了相应的制备方法以克服无铅压电单晶易碎易裂，切割小尺寸晶柱易倒塌的问题。
高频机电耦合系数压电复合材料制备方法

[发明专利]基于弛豫铁电单晶薄膜的压电微机械超声换能器及其制备-CN202010306292.7有效
发明人： 赵祥永;陈明珠;张巧珍;王飞飞;程玮;唐艳学;王涛 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明基于弛豫铁电单晶薄膜的压电微机械超声换能器及其制备，涉及超声换能器技术领域。该压电微机械超声换能器由顶部电极层1，压电薄膜层2，底部电极层3，粘附层4以、衬底5以及底部空腔6组成。其中，所述顶部电极层1和底部电极层3均为铂(Pt)；所述压电薄膜层2为弛豫铁电单晶薄膜；所述粘附层4为二氧化钛(TiO2)；所述衬底5为硅晶片(SOI)。压电微机械超声换能器的制备方法，包括步骤：A.在衬底5上制备粘附层4；......至G.采用深反应离子刻蚀法对衬底5进行背面刻蚀。本发明压电微机械超声换能器的弛豫铁电单晶薄膜及器件结构对提高器件性能起到重要作用，在医学成像、指纹识别等超声成像领域具有重要应用价值。
基于弛豫铁电单晶薄膜压电微机超声换能器及其制备

[发明专利]一种高居里点硅衬底铁电薄膜材料及其制备与应用-CN202110295109.2在审
发明人：王飞飞;王佳盛;黎梓浩;赵祥永;王涛;唐艳学;段志华;石旺舟 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种高居里点硅衬底铁电薄膜材料及其制备与应用，所述铁电薄膜材料包括Pt/Ti/SiO2/Si衬底以及自内向外依次沉积在衬底表面的导电缓冲层和薄膜层，所述导电缓冲层为镧锶钴氧，薄膜层为锰掺杂铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅(简写为Mn‑PIN‑PMN‑PT)，化学组成为zMn‑(1‑x‑y)Pb(In1/2Nb1/2)O3‑yPb(Mg1/3Nb2/3)O3‑xPbTiO3，其中，x＝0.20～0.40，y＝0.20～0.50，z＝0.003～0.01。与现有技术相比，本发明制备的薄膜具有优良的铁电、压电、热释电性能，适用于新型的压电、热释电集成器件。
一种居里衬底薄膜材料及其制备应用

[发明专利]一种SAW-BAW混合谐振器-CN202110184341.9在审
发明人：张巧珍;刘会灵;赵祥永;陈正林 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种SAW‑BAW混合谐振器，包括依次排列的第一电极层、第一压电薄膜层、第二压电薄膜层、第二电极层以及衬底层；第一电极层与第一压电薄膜层在衬底层上的正投影重合，第二压电薄膜层与第二电极层在衬底层上的正投影重合；第一电极层与第一压电薄膜层组成的整体周期性且等间隔的布置在第二压电薄膜层上；第二压电薄膜层的压电耦合常数比第一压电薄膜层的更低且其声阻抗比第一压电薄膜层的更高。本发明的SAW‑BAW混合谐振器，利用西沙瓦波模式，可以兼具高频、高K2和高Q值等优良特性；不仅能有效抑制瑞利波和体波引起的杂波响应，且结构简单、降低了器件的制作难度和生产成本，极具应用前景。
一种 saw baw 混合谐振器

[发明专利]一种稀土掺杂铌酸盐单晶上转换发光材料及其制备方法-CN201910320298.7有效
发明人： 赵祥永;薛赛东;罗豪甦;邓昊;王飞飞;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明一种稀土掺杂铌酸盐单晶上转换发光材料及其制备方法，涉及上转换发光材料技术领域，包括步骤：A按照摩尔比配制理论组分为yEr‑KxNa1‑xNbO3的多晶料；B按照摩尔比配制晶体生长起始用料；C将晶体生长起始用料放入生长坩埚中，在温度1000～1400℃下用顶部籽晶生长法生长Er‑KNN单晶；D对Er‑KNN单晶进行退火；E测试制品的上转换发光性能。本发明可以生长大尺寸Er‑KNN单晶。特别，制品在温度400～600℃真空退火之后上转换发光特性消失，在温度700～800℃氧气退火后制品上转换发光强度增强近20倍。因此，Er‑KNN单晶为氧气传感器、光波导等领域提供坚实的技术物质基础。
一种稀土掺杂铌酸盐单晶上转换发光材料及其制备方法

[发明专利]一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底-CN202011285632.9在审
发明人：张巧珍;刘会灵;赵祥永 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底，利用水平剪切型漏声表面波，其包括依次排列的叉指换能器、压电薄膜层、至少一层布拉格反射层以及衬底层；布拉格反射层是由低声阻抗层覆盖在高声阻抗层上形成的，压电薄膜层为掺钪氮化铝薄膜，掺钪氮化铝薄膜的欧拉角设置为(0°±5°、θ、ψ)时，θ和ψ分别满足以下条件：50°≤θ≤90°，40°≤ψ≤80°。本发明的异质层状压电基底，能够抑制能量向衬底的泄露，将能量集中在有效压电层内，提高压电转换效率；利用旋转欧拉角优化压电薄膜取向，能够调节声场分布，得到具有优良声表面波性能的漏声表面波，特别适用于高频、宽带声表面波器件，极具应用前景。
一种适用于高频宽带表面波器件层状压电基底

[发明专利]一种压电振子及其制备方法和应用-CN201510901715.9有效
发明人：邓吉;罗豪甦;赵祥永;岳晴雯;邓昊;王升;李晓兵;王西安 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种压电振子及其制备方法和应用，一种压电振子包括由三维网状聚合物和由所述三维网状聚合物区隔的周期性排列的多个压电小晶柱复合形成的复合压电片，所述压电小晶柱占所述复合压电片的体积比为0.2～0.8，所述小晶柱的高宽比为（2～6）：1，所述压电小晶柱的化学组成为锰掺杂的铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅。本发明利用二次切割的方法，对Mn掺杂PIN‑PMN‑PT加工，由于第一次切割环氧的三维联通对基体的固定，二次切割的成功率非常高，能够获得特定的频率和纯的振动模式，更有利于高频的1‑3压电复合材料的制备。这对工业无损探伤和医学超声成像，都具备非常好的应用前景。
一种压电及其制备方法应用

[发明专利]一种三元系弛豫铁电薄膜材料及其制备方法和应用-CN202010242269.6在审
发明人：王飞飞;黎梓浩;王宇纯;赵祥永;王涛;唐艳学;段志华;石旺舟 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： C04B35/499 文献下载
摘要：本发明涉及一种三元系弛豫铁电薄膜材料及其制备和应用，材料的化学组成为(1‑x‑y)Pb(In1/2Nb1/2)O3‑yPb(Mg1/3Nb2/3)O3‑xPbTiO3‑zMn，其中x＝0.20～0.40，y＝0.18～0.60，z＝0.003～0.03，包括以下步骤：(a)将MnO2、In2O3、Nb2O5、MgO、PbO和TiO2混合，后依次进行球磨、烘干、过筛、预烧、造粒、压片和烧结，得到Mn‑PIN‑PMN‑PT陶瓷靶材；(b)将SrTiO3单晶依次置于丙酮、乙醇和去离子水中进行超声洗涤，后干燥，得到衬底；(c)以激光溅射的方式，将SrRuO3陶瓷靶在衬底上进行沉积处理，后进行退火处理，得到底电极；(d)以激光溅射的方式，将Mn‑PIN‑PMN‑PT陶瓷靶材在底电极有上进行沉积处理，后进行退火处理，得到薄膜材料。与现有技术相比，本发明的薄膜具有纯钙钛矿结构，且具有优异的铁电和压电性能，以及较高的居里温度和三方‑四方相变温度。
一种三元系弛豫铁电薄膜材料及其制备方法应用

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