“赖睿彬”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]检测半导体设备的静电释放针脚失效的方法及半导体设备-CN202110155890.3有效
发明人： 赖睿彬 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种检测半导体设备的静电释放针脚失效的方法及半导体设备。半导体设备包括晶圆载盘、静电释放引脚、探针和电阻检测器。所述晶圆载盘用于承载晶圆。所述静电释放针脚设置在所述晶圆载盘边缘，静电释放针脚构造为在第一状态和第二状态间运动，在所述第一状态时触碰所述晶圆，在所述第二状态时离开所述晶圆。所述探针设置在所述晶圆载盘边缘，且适于接触处于所述第二状态的静电释放针脚。所述电阻检测器，耦接所述探针和电位参考点，以检测所述静电释放针脚的电阻值。
检测半导体设备静电释放针脚失效方法

[发明专利]半导体结构及其制作方法、存储器系统-CN202211225557.6在审
发明人：汪亚;杜明利;刘藩东;华文宇;胡宽;明帆;朱宏斌;程琦;赖睿彬 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L27/108 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种半导体结构及其制作方法、存储器系统，所述半导体结构包括：半导体层，所述半导体层中设置有沿第一方向延伸的多个有源柱、位于所述有源柱一侧的栅极结构、位于相邻的两个有源柱之间的第一绝缘层、设置在所述有源柱沿所述第一方向上一个端部处的第一电极；所述第一方向为所述半导体层的厚度方向；第二绝缘层，所述第二绝缘层位于所述半导体层上；多个连接结构，每个所述连接结构至少部分位于所述第二绝缘层中；所述连接结构与所述第一电极连接，且所述连接结构在第二方向的宽度大于所述第一电极在所述第二方向的宽度；所述第二方向与所述第一方向垂直。
半导体结构及其制作方法存储器系统

[发明专利]三维存储器的制备方法-CN202111486098.2在审
发明人：李洵;任德营;朱焜;赖睿彬;杜小龙 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L27/1157 文献下载
摘要：本发明实施例提供的三维存储器的制备方法，包括：提供叠层结构和贯穿所述叠层结构的沟道孔，所述叠层结构包括若干交替层叠的第一牺牲层及第二牺牲层；在所述沟道孔侧壁依次形成层叠的停止层、存储器层及沟道层；去除所述第一牺牲层及部分停止层，以形成第一开口，所述第一开口延伸至所述存储器层；在所述第一开口中形成栅极结构；去除所述第二牺牲层、剩余的停止层及部分存储器层，以形成第二开口，所述第二开口延伸至所述沟道层；在所述第二开口中形成绝缘层。
三维存储器制备方法

[实用新型]湿法处理装置及湿法处理设备-CN202121453467.3有效
发明人：祝君龙;赖睿彬;李君;夏余平;杜明利 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种湿法处理装置和湿法处理设备。湿法处理装置包括：喷淋模块和保护模块。喷淋模块，包括输送部和喷嘴，其中所述喷嘴固定设置于所述输送部的一端；以及设置于所述喷淋模块上的保护模块，包括固定部和保护部，所述固定部固定在所述输送部上，所述保护部可运动的设置在所述固定部上，且所述保护部相对于所述固定部运动以使得所述保护模块具有第一状态或第二状态，其中，在所述第一状态，所述保护部包容所述喷嘴，以及在所述第二状态，所述喷嘴裸露于所述保护部之外。
湿法处理装置设备

[发明专利]晶圆清洗装置与晶圆清洗方法-CN202110322842.9在审
发明人：祝君龙;李君;顾立勋;赖睿彬 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本申请提供的晶圆清洗装置与晶圆清洗方法，通过包括至少一个包括机械臂和喷嘴的清洗组件，当晶圆清洗装置清洗晶圆时，第一旋转件固定晶圆并带动晶圆旋转，一个机械臂将喷嘴运动至晶圆背离工作台的一侧，喷嘴朝向晶圆喷出清洗液进行清洗，本申请通过设置具有收容空间的第一遮挡件，除了正在进行清洗工作的喷嘴外，将其余的至少部分喷嘴位于收容空间内，利用第一遮挡件遮挡溅射出的清洗液，防止溅射出的清洗液附着在未进行清洗工作的喷嘴上，在下一次清洗工作开始前保证喷嘴不被溅射出的清洗液所污染，减少交叉污染，从而防止被污染的喷嘴污染不同批次的晶圆，提升晶圆的清洗质量与良品率。
清洗装置方法

[实用新型]一种清洗装置-CN202021655760.3有效
发明人： 赖睿彬 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例公开一种清洗装置，所述装置包括：清洗腔室及位于所述清洗腔室内的一个或多个承载部件和喷嘴；其中，所述承载部件用于承载晶圆；所述喷嘴与所述承载部件相对设置，用于向所述晶圆喷射清洗流体；所述装置还包括设置在所述喷嘴上的防溅罩，所述防溅罩的下缘与所述承载部件之间的距离可调节。
一种清洗装置

1
共 6 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top