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[发明专利]一种基于声表面波振荡器的结冰传感器-CN201811603907.1有效
发明人：王文;尹怡宁;贾雅娜;范淑瑶;梁勇;刘梦伟 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01S15/04 文献下载
摘要：一种基于声表面波振荡器的结冰传感器，包括声表面波器件和振荡电路(11)，还包括封装管壳(6)、透水膜(7)；所述声表面波器件外部采用封装管壳(6)封装；所述透水膜(7)设置于封装管壳(6)开口处；所述声表面波振荡器表面覆盖SiO2保护薄层(2)；所述声表面波器件输出振荡频率变化的电信号至振荡电路(11)，振荡电路(11)检测电信号振荡频率的突变，输出振荡频率来实现结冰预警和监测。具有较高检测灵敏度、良好温度稳定性、可以及时预警结冰，使声表面波技术较为容易实施。
一种基于表面波振荡器结冰传感器

[发明专利]一种用于声表面波气体传感器的差分鉴相电路系统-CN202010642486.4有效
发明人：王文;张玉凤;贾雅娜 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于气体传感器的声表面波差分式鉴相电路系统，包括声表面波气体传感阵列，差分鉴相电路，匹配网络和A/D转换模块；所述的声表面波气体传感阵列由一组沉积气敏材料的延迟线型传感器件和一个参考器件构成；鉴相电路由信号激励源，两个信号分配器和一组与传感器件数目相同的鉴相器构成。信号激励源激励与传感阵列同频电信号，通过信号分配器分配给传感阵列中的传感器件与参考器件，激励沿压电晶体表面传播的声表面波。参考器件信号经由信号分配器与各组传感器件信号通过鉴相器进行相位差分比较，输出信号再由A/D转换模块转换成数字信号。通过鉴相式电路设计大幅降低了器件损耗对系统稳定性的影响，解决了高噪声、预热时间长的难题。
一种用于表面波气体传感器差分鉴相电路系统

[发明专利]一种基于反射延迟线的声表面波结冰传感器及其系统-CN201911075381.9在审
发明人：王文;尹怡宁;贾雅娜;刘梦伟;梁勇;薛蓄峰 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01S15/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于反射延迟线的声表面波结冰传感器及其系统，该传感器包括：压电晶片基片、叉指换能器、第一反射器、储水装置、第二反射器、第三反射器；还包括波导层和与叉指换能器连接的信号传输天线；信号传输天线用于与外部射频读取模块进行信号交互。该系统，包括：前述声表面波结冰传感器和射频读取模块。根据第一反射器、第二反射器和第三反射器形成的反射波，确定储水装置的结冰状态。采用微流控芯片来储存水，并结合宽带低损耗的微带天线与高分辨率的步进调频雷达，实现一种具有高灵敏度、良好的温度稳定性以及快速响应的新型无线无源声表面波结冰传感器。
一种基于反射延迟线表面波结冰传感器及其系统

[发明专利]一种声表面波传感器和设备-CN202010652892.9在审
发明人：王文;梁勇;贾雅娜 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2020-07-08 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种声表面波传感器和设备，涉及气体传感技术领域。其中所述声表面波传感器包括：压电晶体，输入叉指换能器和输出叉指换能器并列设置在压电晶体的第一表面上；SiO2钝化薄层设置在压电晶体的第二表面、输入叉指换能器的第三表面和输出叉指换能器的第三表面上；两个吸声胶设置在SiO2钝化薄层的第四表面上，且两个吸声胶中一个吸声胶设置在输入叉指换能器的背离输出叉指换能器的一端处，两个吸声胶中另一个吸声胶设置在输出叉指换能器的背离输入叉指换能器的一端处；气敏薄膜设置在SiO2钝化薄层的第四表面上，且位于两个吸声胶之间。本申请提供的声表面波传感器，有效实现传感器的低损耗和低温漂，从而有助于传感器稳定性与检测下限的改善。
一种表面波传感器设备

[发明专利]一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器-CN201710560422.8有效
发明人：王文;贾雅娜 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2017-07-11 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括：压电基片(22)、感知延迟线(21)、参考延迟线(23)和SiO2薄膜(212)，所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)平行且同向，设置于压电基片(22)上；所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的结构相同；所述SiO2薄膜(212)沉积于感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的表面上，所述图形化磁致伸缩薄膜设置在所述SiO2薄膜(212)表面上，在所述感知延迟线(21)的传播路径上。本发明电流传感器通过采用一种平行且同向设置的双延迟线型结构，并将磁致伸缩薄膜材料进行图形化以提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。
一种基于图形化磁致伸缩薄膜表面波电流传感器

[发明专利]一种基于反射延迟线的无线无源声表面波电流传感器-CN201811603905.2在审
发明人：王文;孙媛;贾雅娜;范淑瑶;梁勇;刘梦伟 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于反射延迟线的无线无源声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括压电晶体基片(21)、叉指换能器(22)和声表面波反射型延迟线(23)；所述声表面波反射型延迟线(23)包括沿声表面波的传播方向上设置的第一短路栅反射器(231)、第二短路栅反射器(232)、第三短路栅反射器(233)；所述的第一反射器(231)与第二反射器(232)之间设置有磁致伸缩薄膜(24)。本发明具有高精度，高灵敏度，体积小，重量轻，功耗低的优点；具有良好的稳定性，能够快速响应，制作成本低；可实现无线无源测量方式，特别适合于高温高压及无人值守等极端应用环境，极具应用前景。
一种基于反射延迟线无线无源表面波电流传感器

[发明专利]一种基于单端谐振器的无线无源声表面波电流传感器-CN201911306937.0在审
发明人：王文;孙媛;贾雅娜;张玉凤 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于单端谐振器的无线无源声表面波电流传感器，包括：压电晶体基片、布置于压电晶体基片上的叉指换能器及布置在叉指换能器一侧的第一反射器和布置在叉指换能器另一侧的第二反射器；叉指换能器的电极、第一反射器和第二反射器的栅极为磁致伸缩材料。当外部通电导线引起的电磁场发生变化时，电极和栅极产生ΔE效应和磁致伸缩效应，使电极和栅极的弹性模量和尺寸发生改变，引起声表面波传播速度的变化，改变谐振频率。通过对接收到的声表面波传感器谐振后产生的回波信号进行解调，利用信号的频率信息来评价电流变化，以此实现无线无源的电流传感器。
一种基于谐振器无线无源表面波电流传感器

[发明专利]基于AlN压电薄膜的无线无源声表面波高温应变传感器-CN201910544793.6在审
发明人：王文;范淑瑶;李学玲;贾雅娜;梁勇 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： G01B17/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于AlN压电薄膜的无线无源声表面波高温应变传感器，涉及应变传感器技术领域，采用多层复合结构的单端对谐振器，并通过高温应变传感芯片与温度补偿芯片的频率差分计算，能够消除温度引起的干扰，实现温度补偿，在高温环境下实现无线无源测量；该传感器包括高温应变传感芯片、温度补偿芯片和传感器管座；所述高温应变传感芯片和所述温度补偿芯片设置在所述传感器管座上；所述高温应变传感芯片的SAW传播方向平行于所述传感器管座的长度方向；所述温度补偿芯片的SAW传播方向垂直于所述高温应变传感芯片的SAW传播方向。本发明提供的技术方案适用于高温环境应变传感器应用的过程中。
传感芯片温度补偿芯片应变传感器传播方向传感器管无线无源高温环境声表面波压电薄膜单端对谐振器多层复合结构温度补偿温度引起频率差传感器平行测量垂直应用

[发明专利]一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器-CN201710267466.1有效
发明人：王文;贾雅娜 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2017-04-21 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括：压电基片、设置于压电基片上的第一延迟线及第二延迟线、相移器、放大器、混频器及设置于第二延迟线的叉指换能器之间的磁致伸缩合金薄膜。其中，该声表面波电流传感器还包括覆盖于压电基片表面的SiO₂薄膜。本发明通过采用一种平行同向设置的双延迟线型结构，具有较高的检测灵敏度、良好的温度稳定性及易实施性，有效地解决了目前电流传感器存在的检测灵敏度低、检测精度低、稳定性差及不易实施的问题。
一种基于伸缩效应表面波电流传感器

[实用新型]一种声表面波传感器的封装装置-CN201821204697.4有效
发明人：王文;贾雅娜;薛蓄峰;刘梦伟;梁勇;王毅坚 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种声表面波传感器的封装装置，其装置包括：一个PCB电路板、外接电路和声表面波器件；其中，PCB电路板包含中间层，以及设置有凹槽；外接电路放置在PCB电路板上表面，将声表面波器件放置于凹槽内，所述声表面波器件通过PCB电路板的中间层与外接电路相连接。本实用新型提出的封装装置，可使声表面波传感器一体化和微小型化，有利于声表面波传感器安装和测试。
声表面波传感器封装装置外接电路声表面波器件本实用新型中间层和声表面波微小型化上表面测试一体化

[发明专利]一种声表面波传感器的封装装置-CN201810847540.1在审
发明人：王文;贾雅娜;薛蓄峰;刘梦伟;梁勇;王毅坚 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种声表面波传感器的封装装置，其装置包括：一个PCB电路板、外接电路和声表面波器件；其中，PCB电路板包含中间层，以及设置有凹槽；外接电路放置在PCB电路板上表面，将声表面波器件放置于凹槽内，所述声表面波器件通过PCB电路板的中间层与外接电路相连接。本发明提出的封装装置，可使声表面波传感器一体化和微小型化，有利于声表面波传感器安装和测试。
声表面波传感器封装装置外接电路声表面波器件中间层和声表面波微小型化上表面测试一体化

[发明专利]一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器-CN201810940826.4在审
发明人：王文;贾雅娜;薛蓄峰;刘梦伟;梁勇;王毅坚 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器，包括声表面波器件，微加热器和控制电路；声表面波器件和微加热器共同建立在公有内部结构压电晶体基底上实现物理连接，控制电路通过电连接控制微加热器。声表面波器件包括压电晶体基底、湿敏材料、叉指换能器、第一叉指反射器和第二叉指反射器；湿敏材料位于叉指换能器、第一叉指反射器和第二叉指反射器之间的空白区域。本发明所设计的传感器，可通过微加热器控制声表面波器件的温度，解决了传感器在零下温度情况下由于水凝结成冰的原因而导致无法正常工作的问题，具有全湿度范围测量，大动态范围测量的优点。
微加热器反射器叉指声表面波器件叉指换能器湿度传感器范围测量加热功能控制电路声表面波湿敏材料压电晶体传感器基底表面波器件空白区域物理连接大动态电连接控制声水凝结

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