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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]EUV光掩模的制作方法-CN202211481930.4在审
发明人： 谢玮哲;朱家庆;陈亚伦;苏煜中;王子奕;郑雅如;连大成;李信昌;张庆裕 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G03F1/24 文献下载
摘要：本文涉及EUV光掩模的制作方法。在一种制造反射型掩模的方法中，在掩模坯上方形成粘合层。掩模坯包括衬底、布置在衬底上方的反射多层、布置在反射多层上方的覆盖层、布置在覆盖层上方的吸收剂层和布置在吸收剂层上方的硬掩模层。在粘合层上方形成光致抗蚀剂图案，图案化粘合层，图案化硬掩模层，并且使用图案化的硬掩模层作为刻蚀掩模来图案化吸收剂层。光致抗蚀剂层对粘合层的粘附性高于对硬掩模层的粘附性。
euv 光掩模制作方法

[发明专利]反射型罩幕及其制造方法-CN202210010786.X在审
发明人： 谢玮哲;吕啟纶;林秉勳;朱福盛;连大成;李信昌 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-06 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G03F1/52 文献下载
摘要：一种反射型罩幕及其制造方法，反射型罩幕包括基板、设置于基板上方的下反射多层、设置于下反射多层上方的中间层、设置于中间层上方的上反射多层、设置于上反射多层上方的覆盖层、及设置于形成于上反射层中且在中间层上方的沟槽中的吸收层。中间层包括除了铬、钌、硅、硅化合物及碳以外的金属。
反射型罩幕及其制造方法

[发明专利]EUV光掩模及其制造方法-CN202110137144.1在审
发明人：蔡虹驿;谢玮哲;连大成;李信昌;林秉勋;郑浩平;陈明威;蔡思屏 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： G03F1/22 文献下载
摘要：本公开涉及EUV光掩模及其制造方法。一种反射掩模包括：衬底、设置在衬底上的反射多层、设置在反射多层上的帽盖层、以及设置在帽盖层上的吸收体层。该吸收体层包括由Cr基材料、Ir基材料、Pt基材料或Co基材料中的一者或多者制成的基础材料，并且还包含选自由Si、B、Ge、Al、As、Sb、Te、Se和Bi组成的组的一种或多种附加元素。
euv 光掩模及其制造方法

[发明专利]光罩的形成方法-CN202110225684.5在审
发明人： 谢玮哲;王子奕;林秉勳;连大成;李信昌;李环陵 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：本公开提供了一种光罩的形成方法。此方法包括提供设置在吸收体顶部上的硬遮罩层、覆盖层和设置在基材上的多层。此方法包括在硬遮罩层上方形成中间层，在中间层上方形成光阻层，图案化光阻层，透过图案化的光阻层蚀刻中间层，透过图案化的中间层蚀刻硬遮罩层，然后，透过图案化的硬遮罩层蚀刻吸收体。在部分实施例中，透过图案化的中间层蚀刻硬遮罩层包括干式蚀刻制程，此干式蚀刻制程具有对硬遮罩层的第一去除速率和对中间层的第二去除速率，并且对硬遮罩层的第一去除速率与对中间层的第二去除速率的比例大于5。
形成方法

[发明专利]传输数据的方法与基地台-CN201710127886.X在审
发明人：许效豪;谢玮哲;陈奕璋 -专利权人：和硕联合科技股份有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H04W76/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种传输数据的方法与基地台，传输数据的方法应用于支持多用户多重输入多重输出功能的基地台。该方法包括接收各电子装置的支持功能数据和传输数据要求；根据支持功能数据，判断各个电子装置是否支持多用户多重输入多重输出功能；区分多个电子装置为支持多用户多重输入多重输出功能的第一组和不支持多用户多重输入多重输出功能的第二组；根据传输数据要求，分别分配第一传输时段及第二传输时段予第一组及第二组；利用多用户多重输入多重输出功能，在第一传输时段内传输第一组所需数据；在第二传输时段内传输第二组所需数据。本发明的技术方案可以达到较佳的传输效率。
传输数据方法基地

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