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[发明专利]衬底用抛光垫及抛光装置及其抛光工艺-CN202111012634.5在审
发明人：萧尊贺;陈李彪;宋淀垣;谢斌晖 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：一种衬底用抛光垫，其材质为高分子材料，邵氏硬度为70‑75，厚度为2‑3mm，采用所述抛光垫及其抛光装置对衬底进行抛光作业，可降低衬底表面损伤层深度，提高抛光对于平坦度的修复能力，进一步降低衬底抛光后的平坦度数值。
衬底抛光装置及其工艺

[发明专利]一种晶体的生长方法-CN201710830008.4有效
发明人：刘乾坤;齐凡;吴锋波;余剑云;谢斌晖 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2017-09-15 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C30B15/22 文献下载
摘要：一种晶体的生长方法，按顺序依次包括晶结引晶工艺与连续引晶工艺复合模式的设计，两种工艺之间的过渡阶段采用连续引晶工艺，将拉晶结引晶工艺和连续引晶整合在一起，创造一种复合引晶工艺，适应生产的实际需要，而且根据引晶工艺实际使用可以提升单机产能和缩短引晶周期,降低生产成本。
一种晶体生长方法

[发明专利]一种用于制作光电半导体芯片的方法及其所使用的键合晶圆-CN201980004714.0在审
发明人： 谢斌晖;陈铭欣;萧尊贺;郑贤良;宋志棠;刘卫丽 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于制作光电半导体芯片的方法及其所使用的键合晶圆，晶圆材料包括蓝宝石、碳化硅、砷化镓等用于外延（epitaxy）的晶圆。此方法将传统晶圆分成母晶圆、子晶圆，运用适当的键合技术将母晶圆与子晶圆键合后，能耐外延时约1000度的高温与应力产生的翘曲变化；外延后使用非物理破坏方式解开键合。母晶圆可以循环使用，子晶圆与外延层直接用于芯片制程，不需要减薄或少量减薄，解决了大尺寸外延晶圆的原材料与芯片加工成本问题，并得到波长均匀性更好的外延片。
一种用于制作光电半导体芯片方法及其使用键合晶圆

[实用新型]一种透明图案化衬底及LED发光元件-CN201822173490.1有效
发明人：李彬彬;霍曜;李瑞评;谢斌晖;陈铭欣;吴福仁 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：一种透明图案化衬底及LED发光元件，包括一图案化表面，图案化表面包括多个独立的凸起和连续的凹槽，其中多个凸起的至少部分上部由折射率低于蓝宝石的介质构成；非表面侧的多个孔洞，所述多个孔洞中填充有低于蓝宝石折射率的介质。通过多个孔洞与图案化表面凸起非重叠设置，可以提高蓝宝石衬底运用于制作LED芯片时的出光效率。
孔洞图案化表面蓝宝石衬底凸起透明图案折射率出光效率非重叠填充制作

[发明专利]电感耦合等离子体蚀刻设备及方法、蚀刻控制方法及系统-CN201910299689.5在审
发明人：李彬彬;霍曜;吴福仁;李瑞评;谢斌晖;陈铭欣 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种电感耦合等离子体蚀刻设备及蚀刻方法、蚀刻控制方法、控制系统、服务器及存储介质，蚀刻设备包括处理腔室，内部设置有蚀刻区，用于放置需蚀刻的产品；检测装置，设置在处理腔室的上方，对蚀刻中的产品进行图形变化检测，并实时输出检测结果；以及控制系统，接收所述检测结果，并根据检测结果实时修正蚀刻设备的蚀刻参数，直至得到符合标准的所述产品。本发明实现了产品图形数据的实时监测及输出，以及设备运行参数的即时调整，最终获得的产品图形尺寸高度一致，大大提高产品的性能。检测装置及控制系统均可实现自动控制及自动调整，实现了蚀刻过程的自动化调整，由此大大缩短了蚀刻设备调整时间，提高机台的利用率。
蚀刻蚀刻设备检测结果控制系统电感耦合等离子体产品图形处理腔室检测装置设备运行参数机台存储介质高度一致内部设置实时监测实时输出实时修正图形变化蚀刻区服务器自动化输出检测

[发明专利]一种晶片用的清洗剂-CN201910087937.X在审
发明人：周志豪;吴丽琼;陈启福;谢斌晖;陈铭欣 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C11D1/14 文献下载
摘要：一种晶片用的清洗剂，包括固体颗粒、表面活性剂、螯合剂；所述的清洗剂为介于固体状态和流动液体状态的非牛顿流体或固体状态，该清洗剂可以运用于单晶或多晶晶片切割面经研磨后的清洗步骤，该清洗剂的表面清洗效率更高，减少固体颗粒以及研磨磨料中的悬浮剂的残留，提高清洗良率。
清洗剂固体状态研磨种晶清洗磨料表面活性剂非牛顿流体表面清洗多晶晶片流动液体切割面悬浮剂螯合剂单晶良率残留

[实用新型]一种钻石线及线锯-CN201721300804.9有效
发明人：王海呈;宋淀垣;陈晓婷;谢斌晖 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种钻石线，在金属线上固定单晶金刚石钻石颗粒，钻石以电镀的方式固定，钻石颗粒在金属线上以螺纹式的方式分布，同时公开一种线锯，用于晶体切割，组件包含钻石线、线轴、导轮和槽轮，钻石线以螺旋的方式均匀的缠绕在线轴上，钻石线之间保持不打结，绕好钻石线的线轴安装在单线或多线切割机的切割室中，通过导轮的传递将钻石线绕到槽轮上，通过槽轮的运转将钻石线以螺旋的方式排布在槽轮的沟槽里，直至布满每个沟槽，本产品具有切割线速高、切割时间短、切割晶圆弯曲度低、晶圆损伤层低和崩角少，以及断线率低等优点。
钻石槽轮钻石颗粒金属线导轮线锯线轴切割打结本实用新型单晶金刚石多线切割机晶圆弯曲度晶体切割断线率螺纹式切割室切割线损伤层通过槽电镀单线晶圆排布线绕缠绕传递运转

[实用新型]双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统-CN201721824645.2有效
发明人：李论;胡中伟;黄辉;徐西鹏;陈铭欣;谢斌晖 -专利权人：华侨大学
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统，包括主轴、磨盘、声发射传感器、信号放大器和控制器；磨盘设在主轴；声发射传感器嵌入设置在磨盘并与工件相对应；声发射传感器与信号放大器电信号连接，信号放大器与控制器电信号连接；控制器与主轴电信号连接；通过声发射传感器实时采集工件加工过程中工件破碎的音频信号并传输至信号放大器，通过信号放大器将工件破碎的音频信号放大处理并传输至控制器，通过控制器接收工件破碎的音频信号并报警及控制主轴停机，从而实现了对晶片等硬脆性工件破碎的在线检测、报警与停机控制，有效避免了工件破碎导致的爆盘现象，大大提高了加工效率和产品良率，降低了生产成本。
破碎信号放大器控制器声发射传感器电信号连接磨盘在线控制系统行星磨削研磨加工音频信号报警工件加工过程音频信号放大本实用新型产品良率加工效率嵌入设置实时采集在线检测主轴停机传输硬脆性晶片停机生产成本

[发明专利]双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统-CN201711406713.8在审
发明人：胡中伟;黄辉;徐西鹏;陈铭欣;谢斌晖;李论 -专利权人：华侨大学
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统，包括主轴、磨盘、至少一个声发射传感器、信号放大器和控制器；磨盘设在主轴；声发射传感器设在磨盘上且与工件相对应；声发射传感器与信号放大器电信号连接，信号放大器与控制器电信号连接；控制器与主轴电信号连接；通过声发射传感器实时采集工件加工过程中工件破碎的音频信号并传输至信号放大器，通过信号放大器将工件破碎的音频信号放大处理并传输至控制器，通过控制器接收工件破碎的音频信号并报警及控制主轴停机，从而实现了对晶片等硬脆性工件破碎的在线检测、报警与停机控制，有效避免了工件破碎导致的爆盘现象，大大提高了加工效率和产品良率，降低了生产成本。
破碎信号放大器控制器声发射传感器电信号连接磨盘在线控制系统行星磨削研磨加工音频信号报警工件加工过程音频信号放大产品良率加工效率实时采集在线检测主轴停机传输硬脆性晶片停机生产成本

[发明专利]蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工方法-CN201610572926.7有效
发明人：方从富;徐西鹏;胡中伟;陈瑜;谢斌晖;陈铭欣 -专利权人：华侨大学;福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-07-20 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工方法，它通过对双面研磨后的晶片进行第一次腐蚀‑粗抛‑第二次腐蚀‑精抛复合加工，即先通过强酸腐蚀以在较短时间去除双面研磨所产生的损伤层，接着通过粗抛较短时间，以在晶片表面重新产生一层较小的损伤层，再次通过强酸腐蚀后，以使晶片表面已较为光滑，最后只需通过较短时间的精抛即可获得符合要求的超光滑、无损伤的晶片表面，能够快速获得超光滑无损伤的晶片表面，大大提高了蓝宝石晶片抛光效率，可在提高加工速率的前提下降低生产成本，同时提高产品优良率。
蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工方法

[发明专利]蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床-CN201610573206.2有效
发明人：方从富;徐西鹏;胡中伟;赵欢;谢斌晖;陈铭欣 -专利权人：华侨大学;福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-07-20 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，包括机台、立式旋转臂、主轴系统、电机、载物盘和负压机构；该机台顶面设有周向间隔布置的装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位；该立式旋转臂上部固设有悬臂，该主轴系统能相对悬臂上下活动，该电机和载物盘都装接在主轴系统上且电机传动连接载物盘以能带动载物盘转动；该载物盘上设有吸孔，该负压机构接通吸孔；该立式旋转臂设于该周向的轴线处且能绕该轴线转动，通过立式旋转臂转动能将载物盘分别移至装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位进行相应的加工。它具有如下优点可对蓝宝石晶片进行上料、腐蚀、抛光和下料复合加工，能够快速获得超光滑无损伤的晶片表面，大大提高了蓝宝石晶片加工效率。
蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床

[发明专利]一种蓝宝石抛光废液的回收方法-CN201610441479.1有效
发明人： 谢斌晖;林武庆;赖柏帆;陈凤英 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本发明公开了蓝宝石抛光废液的回收方法，废液中包含抛光铜盘的铜屑和抛光液中的钻石，结合震动筛分选、化学分离法与电镀法等方法对废液进行回收，提取废液中的铜和钻石，有利于降低生产成本。
一种蓝宝石抛光废液回收方法

[实用新型]一种自动化LED蓝宝石冷却衬底-CN201620966657.8有效
发明人：陈铭欣;林木榕;谢斌晖;林永春 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： H01L33/64 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动化LED蓝宝石冷却衬底，包括透明树脂封装、支架、LED芯片和工作主体，所述透明树脂封装下端安装有引线架，所述透明树脂封装内部外侧安装有气体层，所述透明树脂封装中心安装有LED芯片，所述LED芯片包括工作主体、电极、结层和蓝宝石垫层，所述蓝宝石垫层上端安装有结层，所述结层上端安装有电极，所述电极一侧安装有工作主体，所述工作主体包括内部储水器、吸热管和吸热水层，所述内部储水器下端安装有吸热管。本实用新型拥有内部冷却，实时进行控制，能够很大程度的提升;ED的寿命，并且能一体化进行操作，并且因为蓝宝石材质，导致散热问题很严重，内部温度过高，大大的减少了LED灯的寿命，本结构拥有内部吸热水层可以降温。
一种自动化 led 蓝宝石冷却衬底

[实用新型]一种柔性LED蓝宝石衬底-CN201620967138.3有效
发明人：陈铭欣;林木榕;谢斌晖;林永春 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： H01L33/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种柔性LED蓝宝石衬底，包括线路条，线路条的表面固定连接有硅基板，硅基板的表面固定连接有聚合物层，聚合物层的表面固定连接有N型GaN和P型GaN，N型GaN和P型GaN的表面固定连接有量子阱，量子阱的表面固定连接有N型电极和P型电极，N型电极和P型电极的表面固定连接有硅保护层，硅保护层的表面固定连接有氧化铝原子层，氧化铝原子层的表面固定连接有蓝宝石衬底，蓝宝石衬底的表面固定连接有金属反射层，金属反射层的表面固定连接有银胶固晶层。本实用新型通过设置具有横向划痕和纵向划痕的聚合物层，横向划痕和纵向划痕相互交错，提高了聚合物层的延展性，达到了提高蓝宝石衬底柔韧性的优点。
一种柔性 led 蓝宝石衬底

[发明专利]一种晶棒的制作方法-CN201610928820.6在审
发明人： 谢斌晖;胡中伟;林武庆;赖柏帆;廖桂芬 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶棒的制作方法，其特征在于，在线切割前将已完成掏棒工艺的晶棒放入高温退火炉中进行退火，其退火工艺过程主要包括升温过程、恒温过程、降温过程，本发明提供的一种用于蓝宝石晶棒的退火工艺方法，通过对不同长晶和掏棒工艺下生产的晶棒进行统一退火处理，消除晶棒内部残余应力，提高蓝宝石晶棒材质的一致性，提高后段晶圆加工、外延的良率和均匀性。
一种制作方法

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