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- [发明专利]一种微波等离子清洗机-CN202010696231.6有效
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刘依婷;刘争辉;万军;蔡晋辉
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中国计量大学
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2020-07-20
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2023-06-13
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H01J37/18
- 本发明公开了一种微波等离子清洗机,包括上料装置、等离子清洗本体,所述的上料装置包括门把手,电磁门、观察窗、产品支架、载物板、真空吸盘、导轨,所述的等离子清洗本体包括外壳、微波屏蔽板、微波屏蔽罩,石英腔体、微波本体、微波腔、电源、PLC、气体流量控制器、三通配管、真空计、电风扇、微波开关、电磁门开关,控制面板,底座,石英腔体安装在微波屏蔽罩内部,微波腔固定在微波屏蔽板上,微波本体安装在微波腔上部,三通配管固定于出气法兰,与石英腔体相通,真空计固定在三通配管上部,气体流量控制器通过固定板固定在底座上。将待清洗产品放置在产品架上,送入石英腔体,对电子产品进行清洗,清洗效率高。
- 一种微波等离子清洗
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