专利名称
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A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置-CN202221492874.X有效
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-06-15 - 2022-11-11 - G01N3/10
  • 本实用新型适用于单晶硅棒生产技术领域,公开了一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置,其包括左基板,所述左基板右侧顶端的中部安装有拉力检测传感器,且左基板通过拉力检测传感器与右基板相连接,所述左基板与右基板的顶部均固定有棒架,所述棒架的顶端设置有夹持液压缸,且棒架的中部开设有夹持槽,所述夹持槽内部的底端固定有下夹片,所述夹持液压缸的活塞杆上固定有上夹片,所述左基板内部的中部安装有检测液压缸,且检测液压缸的活塞杆与右基板的左端固定对接。本实用新型通过棒架内设置有快速夹持机构,对硅棒进行夹持检测过程中,可对硅棒形成快速的夹持效果,同时夹持处设置有防滑机构,将保证后序检测时对硅棒拉力的检测质量。
  • 一种单晶硅抗拉强度检测装置
  • [实用新型]一种单晶硅棒取棒稳棒装置-CN202221979386.1有效
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-07-29 - 2022-11-08 - C30B15/30
  • 本实用新型公开的属于单晶硅棒生产技术领域,具体为一种单晶硅棒取棒稳棒装置,包括套环和底托,所述套环和底托之间沿同一轴线均匀设置有挡板,左右两侧的所述挡板的中部和下部均设置有外凸段,所述外凸段上设置有稳固装置,所述稳固装置包括外凸板、调节块、压块和螺杆,所述外凸板中部螺接有螺杆,左右两侧的所述螺杆相互靠近的一端均转动连接有调节块,将单晶硅棒从套环放入,通过底托将单晶硅棒底部承托,通过稳固装置的设置,转动螺杆带动调节块移动,调节块带动压块移动,使压块靠近单晶硅棒外壁,通过左右两侧的压块挤压,将单晶硅棒进行固定,从而提高稳定性,方便将取出的单晶硅棒安全稳定的移动。
  • 一种单晶硅棒取棒稳棒装置
  • [发明专利]一种单晶硅棒电阻率的测量方法及装置-CN202210865053.4在审
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-07-21 - 2022-11-04 - G01R27/02
  • 本发明涉及单晶硅棒技术领域,公开了一种单晶硅棒电阻率的测量方法及装置,S1:选取P型单晶硅棒和N型单晶硅棒的上下分布进行切片取出,将切片放置于测量装置内;S2:通过测量装置采用四探针测试法对同一单晶硅片以及单晶硅棒进行测量,需要单晶硅片具有良好的平整度以及无明显线痕或破损;S3:测量装置内的温度通过温度传感器进行测量,保证不同单晶硅片在同一温度下进行测量。本发明有利于通过快速测量出单一单晶硅棒的上下电阻值区间,有利于对不同工艺产出单晶硅棒的电阻值形成类比,有利于在高低两种温度下同种单晶硅棒的阻值变化的了解,有利于大大提高对产出的单晶硅棒性能更为深入的了解。
  • 一种单晶硅电阻率测量方法装置
  • [实用新型]一种高稳定性的单晶硅棒用切割工装-CN202221598808.0有效
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-06-24 - 2022-10-28 - B28D5/04
  • 本实用新型适用于单晶硅棒加工技术领域,公开了一种高稳定性的单晶硅棒用切割工装,其包括基板,所述基板顶端的左侧设置有切割台,且基板顶端的右侧设置有架板,所述切割台顶端的中部开设有棒槽,所述切割台顶端的中部固定有杆架,且杆架顶部设置有电动推杆,所述电动推杆的推杆末端固定有抵块,所述切割台顶端的右侧设置有机架,且机架的顶部设置有液压缸,所述液压缸的活塞杆末端安装有切割片,所述棒槽的一侧安装有测量尺,所述棒槽内置有单晶硅棒。本实用新型通过切割台上设置有测量尺且切割台上安装有抵压机构,在单晶硅棒进行切割过程中,可对单晶硅棒形成精准和稳固的切割效果,大大提高单晶硅棒的切割质量。
  • 一种稳定性单晶硅切割工装
  • [实用新型]一种可自动定心的单晶硅棒料夹持机构-CN202221701100.3有效
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-07-01 - 2022-10-14 - B28D5/00
  • 本实用新型适用于硅棒夹持技术领域,公开了一种可自动定心的单晶硅棒料夹持机构,其包括夹持座,所述夹持座的内部开设有夹持槽,所述夹持座外壁的三角对称安装有电动推杆,所述电动推杆的推杆末端贯穿于夹持槽的内壁中,所述电动推杆的推杆末端固定有杆块,所述杆块的底部开设有杆槽,所述杆槽内壁的两侧均设置有转杆,且转杆位于转槽内,所述转槽开设于夹板的顶部,所述夹板的底部开设有轮槽。本实用新型通过夹持槽内置有定位轮进行硅棒夹持,在夹持过程中定位轮将随着推力位于硅棒外壁扩张夹持,完全贴合硅棒外壁,并对硅棒夹持时形成自动定心效果,从而大大提高硅棒夹持时的便捷和稳定,保证后续硅棒加工的精准。
  • 一种自动定心单晶硅夹持机构
  • [发明专利]一种单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法-CN202210941032.6在审
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-08-08 - 2022-10-11 - B62B3/04
  • 本发明涉及单晶硅棒技术领域,公开了一种单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法,包括架板和底板,所述底板顶端前后两端固定有架板,所述底板顶端中部固定安装有中架,且中架前后两端连接前后两组所述架板,所述中架左右两侧对称设置有支撑架,且单侧等距分布,前后两侧所述支撑架之间安装有阻尼器,所述中架左右两端分别设置有电动滑轨,所述电动滑轨驱动滑板贴合架板内壁滑动,前后所述架板之间外侧对称开设有凹槽,且两组凹槽之间通过轴承转动连接有翻转板。本发明避免灰尘吸附单晶硅棒上,有利于避免单晶硅棒转运过程中道路不平引起的颠簸导致其硬性碰撞,保护单晶硅棒的转运过程中受到外部的环境影响。
  • 一种单晶硅转运装置方法
  • [发明专利]一种单晶硅锭的制造方法及单晶硅培育装置-CN202210627684.2在审
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-06-06 - 2022-08-30 - C30B15/04
  • 本发明适用于单晶硅生产技术领域,公开了一种单晶硅锭的制造方法,其包括以下步骤;S1:加料:将多晶硅原料放入石英坩埚内等待加热融化,同时加入硼,磷,锑和砷进行混合,从而来提高硅原料的生产质量、S2:熔化:将多晶硅原料和添加的硼,磷,锑和砷进行加热,通过晶炉加热,将加热温度提升至1450℃。本发明通过石英坩埚内部的顶端设置有控温环,在单晶硅位于控温环的内部被提拉生长的过程中,控温环可对单晶硅周围温度形成恒定降温效果,在单晶硅等径生长的过程中,将对硅棒的外壁形成降温冷却,从而可以保证单晶硅的外壁得到一个稳定的生长值,从而大大提高单晶硅生产制作过程中的整体质量。
  • 一种单晶硅制造方法培育装置
  • [实用新型]一种半导体单晶硅棒截断机夹紧固定装置-CN202220058266.1有效
  • 白青松;蒋继林 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-01-11 - 2022-08-26 - B28D5/00
  • 本实用新型公开的属于单晶硅棒处理设备技术领域,具体为一种半导体单晶硅棒截断机夹紧固定装置,包括操作台,所述操作台的侧壁开设有对称的条形口,所述操作台的下侧壁固定设置有对称的连接块,所述操作台的下侧壁固定设置有机箱,所述机箱的内部固定设置有双轴电机,所述双轴电机的两端均固定设置有丝杆,两个所述丝杆的另一端均与所述连接块的侧壁转动连接,两个所述丝杆的杆壁均螺纹连接有滑块,两个所述滑块的上侧壁均固定设置有限位块,便于根据单晶硅棒的长度来调节两个按压机构之间的距离,从而方便对不同长度的单晶硅棒进行固定,使用更加方便,便于截断机对单晶硅棒进行切割。
  • 一种半导体单晶硅截断夹紧固定装置
  • [实用新型]一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉-CN202220209472.8有效
  • 白青松;蒋继林 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-01-26 - 2022-08-26 - C30B35/00
  • 本实用新型公开的属于单晶硅加工技术领域,具体为一种方便检修的半导体晶圆加工用单晶硅炉,包括炉体,所述炉体的下侧壁固定设置有对称的支撑杆,所述炉体的上侧壁固定设置有进料口,所述炉体的下侧壁设置有安装板,所述安装板的下侧壁固定设置有移动机构,所述安装板的上侧壁固定设置有对称的固定杆,两个所述固定杆的上端共同固定设置有坩埚底盘,所述坩埚底盘的上端固定设置有石英坩埚,便于将坩埚底盘与石英坩埚固定在安装板的上端,当长时间使用后,坩埚底盘和石英坩埚出现损坏时,直接通过移动机构将安装板往下移动,将石英坩埚移动到炉体的下端,并进行检修,降低了检修的难度,操作方便。
  • 一种方便检修半导体晶圆加工用单晶硅
  • [实用新型]一种半导体级单晶硅棒截断专用丈量装置-CN202220734379.9有效
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-03-31 - 2022-07-26 - G01B5/02
  • 本实用新型公开的属于单晶硅棒生产技术领域,具体为一种半导体级单晶硅棒截断专用丈量装置,包括丈量箱,所述丈量箱内壁的下端固定设置有均匀排布的刻度尺,均匀排布的所述刻度尺的上端均横向设置有单晶硅棒,所述丈量箱内部的左端固定设置有夹持机构,所述丈量箱的右侧壁开设有条形口,所述丈量箱右侧壁的下端固定设置有对称的连接块,两个所述连接块之间转动设置有丝杆,所述丝杆的前端固定设置有第一旋转块,可以在丈量箱的内部同时固定多个单晶硅棒,在不需要对单晶硅棒反复拆卸的情况下,对多根单晶硅棒进行同时丈量,且可以丈量不同的长度,使用方便,丈量精确度高,且大大提高丈量的效率。
  • 一种半导体单晶硅截断专用丈量装置
  • [发明专利]一种超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒-CN202210197358.2在审
  • 蒋继林;王刚;刘学军 - 扬州方通电子材料科技有限公司
  • 2022-03-02 - 2022-07-08 - C30B15/02
  • 本发明涉及单晶硅技术领域,公开了一种超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒,S1:将多晶硅原料放置于加热设备中;S2:将加热设备抽空并冲入气体并保持其内部压力,再启动加热设备,加热至1400‑1500℃,使得多晶硅原料熔化;S3:稳定液面,使得液面温度梯度促成表面张力差异的热毛细管现象的对流。本发明将坩埚溶解时产生的氧气进行见光,当间隙氧气的浓度超过阈值温度下氧在硅中的溶解度时,通过启动内循环模块,将惰性气体再次加入,并将坩埚内高含量氧气惰性气体抽出,进而达到对氧沉淀的控制,避免氧浓度太低难以形成无缺陷洁净区,避免氧浓度太高导致晶片高温产生挠曲。
  • 一种超大尺寸半导体单晶硅生长方法

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