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[发明专利]一种基于全石英谐振器的探针式高精度力传感器-CN201910373857.0在审
发明人：韦学勇;任子明;王栋杰;任娟;赵玉龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：一种基于全石英谐振器的探针式高精度力传感器，包括石英探针，石英探针和石英二阶放大梁的输入端连接，石英二阶放大梁通过四根支撑梁与石英基底框架连接，石英二阶放大梁的输出端和石英音叉梁一端连接，石英音叉梁位于石英基底框架的镂空矩形内，石英音叉梁另一端和石英基底框架连接，石英基底框架上溅射有金属电极，金属电极和石英音叉梁上的电极通过金属引线连接；当石英探针的敏感方向有力的作用，通过石英二阶放大梁放大后的力作用于石英音叉梁，石英音叉梁在轴向力的作用下，引起谐振频率发生变化，通过把振动的石英音叉梁1接入检测电路能够检测出频率变化，从而实现对力的检测；本发明具有结构简单、频率输出、体积小，精度高等优点。
石英石英音叉基底框架二阶大梁石英探针高精度力传感器石英谐振器金属电极探针接入检测电路输入端连接金属引线频率变化频率输出谐振频率一端连接镂空矩形输出端体积小支撑梁轴向力电极检测溅射放大敏感

[发明专利]一种叉指形有机污染物光降解器及其制备方法-CN201611030175.2有效
发明人：景蔚萱;高崐;周帆;吴琼;蒋庄德;徐志鹏;高伟卓;崔奇兵 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-11-15 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种叉指形有机污染物光降解器及其制备方法，在玻璃基底上排列固定光纤纤芯，形成三维圆柱形微米级结构，在三维圆柱形微米级栅线结构上合成ZnO纳米线，得到的三维圆柱形跨尺度结构阵列在相同的投影区域内比平面结构具有更大的反应面积，有利于实现微流道的小型化；三维圆柱形微米级栅线结构上合成的ZnO纳米线发散性好，能够增大光催化的有效面积；同时，ZnO纳米线的表面活性高，易于产生电子空穴对，有利于提高光降解效率。
一种叉指形有机污染物光降解及其制备方法

[发明专利]一种具有高空间分辨率的柔性薄膜热电偶温度传感器-CN201910161565.0在审
发明人：田边;汪存峰;张仲恺;蒋庄德;史鹏;王伟超 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有高空间分辨率的柔性薄膜热电偶温度传感器，包括柔性绝缘基底以及依次沉积于柔性绝缘基底表面的正极热电偶薄膜阵列及负极热电偶薄膜阵列，其中，正极热电偶薄膜阵列与负极热电偶薄膜阵列之间存在多个重叠区域，正极热电偶薄膜阵列与负极热电偶薄膜阵列的重叠区域组成热节点，柔性绝缘基底的表面分为敏感区域及非敏感区域，各热节点位于敏感区域内，正极热电偶薄膜阵列中各正极热电偶薄膜的端部及负极热电偶薄膜阵列中各负极热电偶薄膜的端部均连接有冷端，且各冷端位于非敏感区域内，该传感器能够在不增加传感器数量的情况下，实现多个待测点温度的准确测量，并且结构简单、可靠耐用、成本较低。
热电偶薄膜正极负极热电偶温度传感器高空间分辨率非敏感区域敏感区域柔性薄膜重叠区域传感器热节点基底冷端绝缘绝缘基底表面准确测量待测点沉积

[发明专利]基于可动栅极式场效应晶体管的微力传感器及其制备方法-CN201710527246.8有效
发明人：赵立波;高文迪;蒋庄德;李支康;赵玉龙;孙东 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：一种基于可动栅极式场效应晶体管的微力传感器及其制备方法，结构包括由四根直梁支撑的中间质量块，中间质量块前端设置探针，中间质量块前后布置有平衡、工作栅极阵列，平衡、工作栅极阵列相对中间质量块的中心偏移，中间质量块、直梁、探针与SiO₂绝缘层不接触，p型Si基底部分区域形成源、漏极，源、漏极之间的区域形成导电沟道，部分区域形成P⁺电极；制备方法先在P型Si基底制备好源极、漏极、导电沟道、P+电极并热氧生成SiO₂绝缘层并进行刻蚀图形化，然后与另一块多晶硅键合，对多晶硅部分区域进行硼离子重掺杂形成工作栅极阵列，前部刻蚀出探针的图形，再刻蚀完成中间质量块，直梁的全部图形化，本发明微力传感器能够用于nN量级微力的测量。
基于栅极场效应晶体管传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于同步谐振频率检测的MEMS加速度计-CN201710710313.X有效
发明人：韦学勇;王曙东;赵玉龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：一种基于同步谐振频率检测的MEMS加速度计，包括质量块、放大梁、检测元件、同步元件和支撑梁，质量块呈四边形，质量块的两侧通过放大梁和检测元件、同步元件连接，质量块的另两侧连接有四根支撑梁，支撑梁靠自身的锚点固定于单晶硅基底，质量块自身悬空，仅由放大梁和支撑梁支撑；谐振元件和同步元件分别被置于具有自动增益控制的第一、第二振荡电路中，在相应的电路参数下，谐振元件和同步元件分别与振荡电路形成自激振荡，本发明通过加速度计标度因数的放大和检测电路本底噪声的降低，实现面内加速度的超高精度测量。
质量块同步元件支撑梁大梁频率检测同步谐振谐振元件振荡电路自动增益控制单晶硅本底噪声标度因数电路参数加速度计检测电路精度测量自激振荡检测基底锚点悬空放大支撑

[发明专利]用于光纤F-P传感器制作的光纤对中和腔长控制装置及方法-CN201710209760.7有效
发明人：林启敬;伍子荣;蒋庄德;赵娜;姚坤;田边;史鹏 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光纤F‑P传感器制作的光纤对中和腔长控制装置及方法，通过光纤夹具对光纤进行夹紧，通过陶瓷管夹具对陶瓷管夹紧，通过测微尺调节两个光纤夹具的位置，通过光栅尺记录移动距离，使两个光纤与陶瓷管对中并粘接，完成光纤F‑P传感器的制作。本装置体积小，便于移动，在大大降低成本的同时又增加了实际应用中的便捷性；在保证对中性和腔长的前提下，降低了对操作人员操作水平的要求。
用于光纤传感器制作中和控制装置方法

[发明专利]一种波长扫描共焦微位移测量装置及方法-CN201611127494.5有效
发明人：刘涛;杨树明;刘强;蒋庄德;王通 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明一种波长扫描共焦微位移测量装置及方法，在共焦显微镜光路系统中，采用波长可调谐激光器照明，使用菲涅尔波带片进行聚焦点照明，根据菲涅尔波带片的轴向色差焦移特性，通过波长扫描实现聚焦光斑的轴向扫描，利用共焦针孔光电探测单元探测共焦轴向光学层析响应输出，针对离散波长λ_n＝λ_min+(n‑1)δλ,n＝1,2,...,11分别得到轴向光学层析位移——强度响应，其中λ_min为波长下限，波长上限为λ_max＝λ_min+10δλ，δλ为波长步进间隔，由每一条光学层析响应曲线的峰值位置构成照明波长与轴向位移的线性校准关系查找表，对待测样品各特征点分别执行一次精细波长扫描，由各响应曲线的峰值和查找表推算出各点的实际位移量，从而完成微位移或相对高度的测量，该方法适用微小位移、薄膜厚度和纳米台阶等的精密测量。
共焦波长扫描光学层微位移测量装置菲涅尔波带片响应曲线波长轴向波长可调谐激光器针孔光电探测单元共焦显微镜波长下限峰值位置关系查找光路系统精密测量精细波长聚焦光斑离散波长强度响应实际位移微小位移线性校准照明波长轴向扫描轴向色差轴向位移查找表聚焦点特征点微位移步进焦移薄膜推算扫描探测测量输出响应

[发明专利]一种钨铼薄膜热电偶传感芯片的封装结构及其制作方法-CN201610098465.4有效
发明人：田边;郑晨;张仲恺;任巍;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-02-23 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨铼薄膜热电偶传感芯片的封装结构及其制作方法，该封装结构衬底上表面制有与传感器芯片尺寸相当的圆形凹陷，二者通过耐高温玻璃紧密键合；封帽内部上表面溅射有吸气剂，封帽通过键合环与衬底的上表面紧密键合；高温补偿线与传感器芯片的热电偶电极构成连接，凸出的高温补偿线缠绕在衬底下部的的螺柱处固定；封帽、传感器芯片、耐高温玻璃、衬底和高温补偿线共同与管外壳相向装配在一起，通过耐高温玻璃键合连接。本发明能够解决钨铼高温下易失效，热电偶薄膜受冲蚀脱落等造成的现有温度传感芯片测量范围小、寿命低的问题，实现可采集稳定信号的输出功能。
一种薄膜热电偶传感芯片封装结构及其制作方法

[发明专利]一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法-CN201710855225.9有效
发明人：赵立波;黄琳雅;蒋维乐;胡英杰;王久洪;李支康;苑国英;赵玉龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-09-20 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G01N11/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法，包括硅基底和硅微谐振梁结构，其中硅微谐振梁结构包括中间的振子以及振子两侧的弹性连接梁和弹性固支梁，振子每侧两根相互垂直的连接梁组成T型梁结构，振子及其两侧的弹性固支梁和T型梁分别布有两根导线，两导线沿振子长度方向平行分布，分别用于通入一定频率的正弦交变电流和检测产生的感应电动势，根据硅微谐振梁谐振状态时感应电动势输出幅值的大小可获得硅微谐振梁在被测流体中的谐振频率，通过在不同流体中硅微谐振梁的谐振频率和品质因子来实现流体黏度和密度的测量。MEMS黏密度传感器芯片基于面内振动原理，使用电磁激励、电磁检测的方法实现流体黏度和密度的准确测量。
谐振梁振子密度传感器芯片感应电动势谐振流体黏度谐振频率固支梁流体制备正弦交变电流弹性连接电磁激励电磁检测两根导线品质因子平行分布谐振状态振动原理准确测量垂直的连接梁硅基测量输出检测

[发明专利]一种基于微流道的钨铼薄膜温度传感器冷端补偿结构-CN201710100938.4有效
发明人：田边;于秋跃;张仲恺;林启敬;史鹏;杜喆;景蔚萱;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-02-23 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G01K7/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微流道的钨铼薄膜温度传感器冷端补偿结构，包括热电偶和冷端温度补偿模块；热电偶包括设有热电偶冷端微流道的基底；冷端微流道采用针翅式微流道结构；冷端温度补偿模块包括补偿导线、第一放大器、第二放大器、冷端温度传感器、微控制器和显示模块；微控制器对来自热电偶的电压和冷端温度传感器所输入的电压进行综合处理，转换成温度信号通过显示模块实时显示所测温度。本发明将微流道应用于热电偶基底的冷端部位上并与冷端温度补偿模块相结合，解决了补偿导线与钨铼薄膜热电偶连线的高温失效问题，对热电偶的冷端温度进行补偿，提高了所测温度信号的精度和可靠性，实现精确可靠的高温测量。
一种基于微流道薄膜温度传感器补偿结构

[发明专利]基于CMUTs谐振式生化传感器的敏感功能层制备方法-CN201710318378.X有效
发明人：赵立波;赵一鹤;夏勇;李支康;李杰;张家旺;李萍;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-05-08 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： D04H1/728 文献下载
摘要：基于CMUTs谐振式生化传感器的敏感功能层制备方法，先进行基于CMUTs谐振式生化传感器的静电纺丝溶液的制备，再采用近场静电纺丝工艺或远场静电纺丝工艺进行敏感功能层的制备，本发明获得较大的比表面积、厚度为50nm～1μm、直径为50nm～1μm的静电纺丝纤维，以提高CMUTs检测灵敏度和检测极限，实现更低浓度的生化物质检测。
制备生化传感器敏感功能谐振式静电纺丝静电纺丝溶液静电纺丝纤维生化物质检测检测灵敏度近场远场检测

[发明专利]一种由轴向分辨率设计大数值孔径菲涅尔波带片的方法-CN201710022880.6有效
发明人：刘涛;杨树明;蒋庄德;刘强;王通 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种由轴向分辨率设计大数值孔径菲涅尔波带片的方法，属于微纳光学领域，针对线偏振光垂直照明大数值孔径二元振幅型菲涅尔波带片情形，给定所需轴向分辨率和工作距离，根据经验公式得到对应的焦距从而计算得到所需的FZP的环带数N和直径D，再利用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法计算激光光束照明所设计的FZP沿轴衍射强度场分布，本发明适用于多种典型偏振光束照明情形，设计的微结构FZP可应用于激光微细加工、高分辨率显微成像、光存储等领域。
一种轴向分辨率设计数值孔径菲涅尔波带片方法

[发明专利]一种柱形光学元件的工装夹具-CN201811487943.6在审
发明人：孙林;刘剑锋;李常胜;王鑫垚;刘阳鹏;方续东;韩枫;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种柱形光学元件的工装夹具，利用固定底板结构和夹持装置组成夹持固定结构，在固定底板结构中间设置通孔，利用均匀固定设置于固定底板结构通孔内壁的多个夹持爪，使多个夹持爪均能够沿垂直于通孔内壁的方向移动，从而实现对工件进行夹持，利用多个夹持爪沿一个中心向内运动或者向外运动形式对光学元件进行固定，使得光学元件均匀受力，提高了对光学元件夹持的稳定性，避免了夹持爪松动，锁紧机构避免光学元件在检测过程中不会因为夹持爪稳定性不够和光学元件的自身重量使得光学元件对心不够准确而影响加工或检测。
光学元件夹持爪固定底板结构柱形光学元件工装夹具通孔内壁夹持方向移动夹持固定夹持装置均匀固定均匀受力锁紧机构运动形式中间设置检测对心通孔向内松动垂直加工

[发明专利]含高温保护薄膜组的钨铼薄膜热电偶传感器及制备方法-CN201610031404.6有效
发明人：田边;张仲恺;郑晨;史鹏;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-01-18 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种含高温保护薄膜组的钨铼薄膜热电偶传感器及制备方法，由高温保护薄膜组与并联钨铼薄膜热电偶共同构成传感器芯片。其中钨铼合金薄膜组、高温电极和氧化铝薄膜保护层这三部分均连接在碳化硅质基底上，覆盖非晶态碳化硅薄膜保护层。本发明能够能在高温下(1000‑1700K)，长时间测量温度信号，具有耐高温、防氧化、高塞贝克系数的特性，并同时解决了现有技术中存在的问题——如高温下的热失配、氧化、1400K附近基本失效的问题。
高温保护薄膜热电偶传感器制备方法

[实用新型]一种测量直径可调的球径仪-CN201821122449.5有效
发明人：孙林;刘剑锋;方续东;陈兆翔;李常胜;王鑫垚;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： G01B5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测量直径可调的球径仪，包括指示表以及用于安装指示表的固定底座，固定底座四周以通孔圆心为中心均设有至少三个竖直导轨，还包括能够相对竖直轨道上下滑动的升降台，固定底座四周以通孔圆心为中心均设有多个与竖直导轨间隔设置的底座滑槽，底座滑槽上设有能够在底座滑槽上滑动的滑块，通过升降台带动三个滑块进行靠近或远离圆心运动，实现对不同直径工件的测量，不用更换测环，整个装置占用空间小，简单方便。三个支脚同时沿着直径方向移动，可以进行定心功能，从而使得指示表的测头对准工件的球心位置，使得测量更准确。采用锁紧机构，可以在指定的位置随时进行锁紧，操作简单方便。
底座滑槽固定底座指示表测量升降台竖直导轨通孔圆心直径可调球径仪滑块装置占用空间本实用新型方向移动间隔设置球心位置上下滑动竖直轨道锁紧机构圆心运动直径工件滑动测环测头锁紧支脚对准