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[发明专利]一种基于金属基的高温薄膜应变计及其制备方法-CN202310705088.6在审
发明人： 蒋书文;周世威;陈长源;彭小龙;陶伯万;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明属于高温薄膜传感器技术领域，提供一种基于金属基的高温薄膜应变计及其制备方法，用以优化过渡绝缘层的制备工艺、降低制备温度。本发明中高温薄膜应变计包括从下往上依次设置的金属基底、复合氧化绝缘过渡层、Al2O3绝缘层、PdCr功能敏感层与Al2O3保护层，首先基于纯铝低温扩散原理在金属基底表面进行铝原子热扩散形成富铝层，再由富铝层进行热氧化形成α‑Al2O3过渡层，二者构成复合氧化绝缘过渡层；本发明降低了制备温度，防止合金基底在高温中受损，并增强金属基底与敏感功能层之间的绝缘性，进而扩大薄膜应变计的应用范围，也保证其在高温环境下运行的可靠性，延长使用寿命。
一种基于金属高温薄膜应变及其制备方法

[发明专利]一种低损耗的外延钛酸锶钡薄膜材料及其制备方法-CN202310690364.6在审
发明人： 蒋书文;叶东瑾;聂鹏昊;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H10N97/00 文献下载
摘要：本发明属于功能材料技术领域，提供一种低损耗的外延钛酸锶钡薄膜材料及其制备方法，用以作为介质薄膜变容器的介质层材料。本发明基于磁控溅射方法在低失配衬底上以较高的衬底温度、较低生长速率制备得到钛酸锶钡薄膜，实现薄膜与衬底之间的外延生长关系，得到外延钛酸锶钡薄膜材料；所述外延钛酸锶钡薄膜材料具有(001)外延结构，比多晶结构的钛酸锶钡薄膜具有更大的介电常数；并且，外延钛酸锶钡薄膜材料具有缺陷少、外延质量高的优点；同时，外延钛酸锶钡薄膜材料在高频下具有低损耗特性；另外，本发明中外延钛酸锶钡薄膜材料的外延制备工艺采用射频磁控溅射工艺，能够实现钛酸锶钡薄膜的大面积和大批量制备，具有工业应用优势。
一种损耗外延钛酸锶钡薄膜材料及其制备方法

[发明专利]一种柔性薄膜压力传感器的制备方法-CN201910197636.2有效
发明人： 蒋书文;于江涛;肖瑶;术洋溢;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G01L1/20 文献下载
摘要：一种柔性薄膜压力传感器的制备方法，属于压力传感器制备技术领域。包括：1)在柔性基板上形成电极层；2)将导电填料加入有机溶剂中，混合均匀，得到混合液A；然后，在混合液A中加入高分子基体材料和改性剂，混合均匀，得到浆料；3)搅拌，得到的复合浆料采用丝网印刷的方法涂覆于带电极层的柔性基板上，得到具有表面微结构的敏感层；4)将两个带敏感层和电极层的柔性基板相对放置，封装，得到所述柔性薄膜压力传感器。本发明得到的柔性薄膜压力传感器，灵敏度高(5kPa‑1)，测量范围宽(50Pa～1.5MPa)，响应时间短(5～30ms)，在电子皮肤、人体生物信号检测、振动信号检测方面具有良好的应用前景。
一种柔性薄膜压力传感器制备方法

[发明专利]用于光伏电站的野外火情监控方法、终端设备及可读存储介质-CN202010850956.6在审
发明人：薛永乾;江利军;杨宇;乔硕;蒋书文 -专利权人：河北冀云气象技术服务有限责任公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本申请适用于消防及通信技术领域，提供了一种用于光伏电站的野外火情监控方法、终端设备及可读存储介质，其中，方法包括：获取监控区域的热成像数据；当根据热成像数据未发现火情时，获取监控区域的地温数据；当根据地温数据未发现火情时，获取监控区域的卫星遥感数据；当根据卫星遥感数据未发现火情时，返回获取监控区域的热成像数据的步骤。本申请实施例提供的用于光伏电站的野外火情监控方法、终端设备及可读存储介质，利用热成像数据和地温数据可以对监控区域进行第一次覆盖监控，利用卫星遥感数据可以对监控区域进行第二次覆盖监控。通过两次覆盖监控，解决了传统的监控技术难以对野外火情的所有监控区域进行全面覆盖的问题。
用于电站野外火情监控方法终端设备可读存储介质

[发明专利]具有温度自补偿的高温薄膜半桥式电阻应变计及制备方法-CN201710542699.8有效
发明人： 蒋书文;刘豪;赵晓辉;蒋洪川;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于薄膜电阻应变计技术领域，提供一种具有温度自补偿的高温薄膜半桥式电阻应变计及制备方法，适用于原位温度不宜直接测得或者温度处于动态波动的高温环境。本发明半桥式电阻应变计，包括从下向上依次层叠的镍基合金基底、缓冲层、绝缘层、功能层及保护层，功能层由两个相同结构的图形化应变敏感单元构成，两个图形化应变敏感单元相互垂直设置、共同构成一个半桥式结构；将该薄膜半桥式电阻应变计接入惠斯通桥式电路中，能够有效的自补偿测试过程中由于温度波动(变化)引起的视应变误差以及敏感层电阻漂移所引起的漂移应变误差，从而提高应变计的测试精度和准确度；另外，其制备工艺简单、制备成本低、利于工业化生产。
具有温度补偿高温薄膜半桥式电阻应变制备方法

[发明专利]一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法-CN201710136413.6有效
发明人：蒋洪川;雷康;王洪敏;赵晓辉;蒋书文;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明属于传感器技术领域，提供一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法，用以克服现有技术中由于绝缘层与敏感功能层热膨胀系数失配导致功能层高温附着力差的难题；本发明复合绝缘层由自下而上依次重叠的热生长Al
一种薄膜传感器用复合绝缘及其制备方法

[发明专利]一种抗热冲击的高温复合绝缘层及制备方法-CN201710292784.3有效
发明人：赵晓辉;刘子良;王洪敏;蒋洪川;蒋书文;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明属于薄膜传感器技术领域，提供一种抗热冲击的高温复合绝缘层及其制备方法；该复合绝缘层包括两层结构，自下而上依次为Al
一种抗热冲击高温复合绝缘制备方法

[发明专利]一种电容应变传感器及其制备方法-CN201510391118.6有效
发明人： 蒋书文;任帅;张万里;李言荣 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种电容应变传感器及其制备方法，属于传感器设计及生产技术领域。所述电容应变传感器从下往上依次为基底、第一钛酸锶钡电介质薄膜层、PdCr电极层、第二钛酸锶钡电介质薄膜层、Al₂O₃保护层，其中，所述PdCr电极层为叉指电极结构。本发明采用叉指电容平面结构，以钛酸锶钡(Ba_0.5Sr_0.5TiO₃)作为介质材料，以PdCr作为电极材料，采用磁控溅射镀膜与光刻工艺相结合的制备技术，实现了电容应变传感器在更大的应变(2500με)下，更高的温度(500℃)下稳定工作的目的。
应变传感器电容钛酸锶钡制备电介质薄膜层电极层磁控溅射镀膜传感器设计叉指电极叉指电容电极材料光刻工艺介质材料平面结构生产技术保护层基底

[发明专利]一种金属基高温组合绝缘层及其制备方法-CN201611191090.2有效
发明人： 蒋书文;刘豪;赵晓辉;蒋洪川;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于高温薄膜材料技术领域，提供一种金属基高温组合绝缘层及其制备方法；用以提高金属基底与薄膜敏感层之间的绝缘性，确保薄膜传感器在高温环境下使用的可靠性、准确性和使用寿命。本发明金属基高温组合绝缘层，包括：从下往上依次设置的金属基底、NiCrAlY合金过渡层、α‑Al₂O₃层，以及α‑Al₂O₃层上依次层叠的n个复合绝缘层，其中n≥2；每个复合绝缘层由从下往上设置的非晶态YSZ层和Al₂O₃层构成。本发明中每个复合绝缘层采用非晶态YSZ层‑Al₂O₃层复合结构，有效避免高温环境下晶态YSZ作为非晶态YSZ向晶态转变所需的晶核，减缓非晶YSZ在高温环境下向晶态转变，提高了非晶态YSZ的高温稳定性；同时，形成“非晶态YSZ‑Al₂O₃‑非晶态YSZ”的三明治结构，进一步提高绝缘性能。
非晶态金属基复合绝缘层组合绝缘层高温环境晶态转变制备材料技术领域薄膜传感器高温稳定性三明治结构复合结构高温薄膜绝缘性能使用寿命依次层叠依次设置过渡层绝缘性敏感层非晶晶核晶态薄膜

[发明专利]一种网格状含能薄膜点火桥-CN201610041660.3有效
发明人：蒋洪川;幸代鹏;张宇新;张万里;邓新武;蒋书文;赵晓辉 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-01-21 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C06C5/00 文献下载
摘要：一种网格状含能薄膜点火桥，属于火工品的基础部件领域。所述点火桥包括基底、位于基底之上的电极和点火桥区、位于点火桥区之上的含能薄膜层；其特征在于，所述含能薄膜层为网格状结构，网格的单个格子内填充含能材料A或含能材料B，且填充含能材料A的格子仅与填充含能材料B的格子相接触，填充含能材料B的格子仅与填充含能材料A的格子相接触，含能材料A与含能材料B的接触面垂直于基底。本发明通过改变含能材料间的接触方式，充分利用含能薄膜反应的化学能有效提高点火所需的热能，提高能量的利用率和转换效率，确保点火的可靠性和稳定性。
一种网格状含能薄膜点火

[发明专利]一种柔性三维接触力传感器-CN201810391370.0在审
发明人： 蒋书文;术洋溢;肖瑶;于江涛;孙雷;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2018-04-27 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：一种柔性三维接触力传感器，属于传感器技术领域。包括依次设置的下封装层、4n个阵列排列的力传感单元、上封装层和力加载层，所述力传感单元包括力敏薄膜、位于力敏薄膜上表面的上电极层和位于力敏薄膜下表面的下电极层三层结构，n≥1且为正整数；其中，每个力传感单元的上电极和下电极分别通过引线引出连接外部采集系统，通过检测每个力传感单元中力敏薄膜的电阻变化，即可得到传感器的受力情况。本发明提供的柔性三维接触力传感器与传统的传感器相比，在满足柔性、小尺寸的前提下，在剪切力方向的测量范围更宽，测量精度高，可应用于机器人指尖、医疗末端力检测、人机交互等智能机电力检测设备及其他需要检测多维力的设备中。
传感器传感单元薄膜三维接触力传感器技术领域测量精度高采集系统电力检测电阻变化人机交互三层结构上封装层下电极层依次设置阵列排列指尖传统的电极层封装层剪切力力加载力检测上表面下表面下电极正整数智能机电极检测多维受力机器人测量外部医疗应用

[发明专利]一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制造方法-CN201610913940.9有效
发明人：蒋洪川;王洪敏;赵晓辉;蒋书文;张万里;刘子良;黄敏;肖瑶 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-10-20 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制备方法，属于薄膜传感器技术领域。该抗氧化复合防护层自下而上依次为BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层、Al2O3覆盖层，其中，BN绝缘层、ZrB2基复合陶瓷层和Al2O3覆盖层采用蒸发或溅射等方法依次沉积于薄膜传感器敏感功能层上。本发明高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层，可满足在1000～1700℃高温条件下航空发动机高温薄膜传感器的抗氧化防护需求，有效提高了薄膜传感器在高温高压恶劣环境下的稳定性、可靠性和寿命。
一种高温薄膜传感器用氧化复合防护及其制造方法

[发明专利]一种带复合绝缘层的金属基薄膜传感器及其制备方法-CN201510104153.5有效
发明人：赵晓辉;王亦然;杨柯;蒋书文;蒋洪川;熊杰;张万里 -专利权人：电子科技大学;东莞电子科技大学电子信息工程研究院
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种带复合绝缘层的金属基薄膜传感器及其制备方法，属于薄膜传感器的设计及制备技术领域。所述带复合绝缘层的金属基薄膜传感器从下往上依次为合金基板、NiCrAlY合金过渡层、Al2O3热生长层、非晶YAlO过渡层、Al2O3绝缘层、薄膜传感器功能层、Al2O3保护层，其中，非晶YAlO过渡层为氧化钇和氧化铝组成的非晶YAlO薄膜，氧化钇与氧化铝的摩尔比为1：(1～20)。本发明的非晶YAlO过渡层能改善薄膜传感器绝缘层的附着力和绝缘性能，降低器件的失效几率，为薄膜传感器在高温恶劣的环境中工作提供了更高的可靠性。 1
薄膜传感器过渡层非晶复合绝缘层金属基薄膜传感器绝缘层氧化钇制备附着力制备技术领域氧化铝组成合金基板降低器件绝缘性能热生长层失效几率保护层功能层摩尔比氧化铝薄膜

[发明专利]一种金属基薄膜传感器的制备方法-CN201510104491.9有效
发明人：赵晓辉;杨柯;王亦然;蒋书文;蒋洪川;熊杰;张万里 -专利权人：电子科技大学;东莞电子科技大学电子信息工程研究院
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种金属基薄膜传感器的制备方法，属于传感器生产技术及薄膜科学与技术领域。本发明在电子束蒸发沉积Al2O3绝缘层后，采用高压蒸汽封闭法处理Al2O3绝缘层，即将带Al2O3绝缘层的复合基板放入装有去离子水的反应釜内，在温度为100～200℃、反应釜内气压为1～10atm的条件下处理5～50min，取出并干燥，然后再进行薄膜传感器功能层及Al2O3保护层的制备。本发明通过对Al2O3绝缘层进行高压蒸汽封闭法处理，有效提高了Al2O3绝缘层的致密性和绝缘性能，有效防止了贵金属功能层与合金基板的导通现象，降低了期间的实效几率，有助于延长薄膜传感器的使用寿命。
一种金属薄膜传感器制备方法

[发明专利]一种柔性多功能传感器及其制备方法-CN201611256389.1在审
发明人： 蒋书文;肖瑶;孙秀耀;王洪敏;蒋洪川;赵晓辉;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01L9/04 文献下载
摘要：一种柔性多功能传感器，自上而下依次为上柔性薄膜层、上电极层、柔性敏感材料、下电极层和下柔性薄膜层，其中，所述柔性敏感材料由高分子基体材料、导电填料和纳米改性填充剂组成。本发明提供的新型的柔性多功能传感器可作为触觉仿生传感器使用，该传感器可以同时实现对压力和弯曲度的感知，且其制备工艺简单、成本低廉、易于实现大规模生产，为可穿戴设备、机器人等提供了一种柔性、成本低廉的触觉仿生传感器。
一种柔性多功能传感器及其制备方法

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