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[发明专利]测试结构及其形成方法、测试方法-CN202210109337.0在审
发明人： 范伟海 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：一种测试结构，包括：衬底；位于衬底上的第一测试板和第二测试板；位于所述第一测试板和所述第二测试板之间的若干测试线，若干所述测试线的线宽互不相同，若干所述测试线平行排列，且若干所述测试线的两端分别与所述第一测试板和第二测试板电连接。所述测试结构的测试效率得到提升。
测试结构及其形成方法

[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202111679048.6在审
发明人：韩兆翔;范伟海 -专利权人：中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L23/528 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，其中半导体结构包括：衬底；互连结构，位于所述衬底上，所述互连结构包括沿第一方向延伸的金属线以及位于所述金属线两端的第一插塞和第二插塞；补充层，位于所述第一插塞和所述第二插塞之间的所述金属线的侧壁上。本发明实施例提供的半导体结构，有利于提高半导体结构的抗电迁移能力，改善阴极附近产生的空洞问题，提高半导体结构的电学性能。
半导体结构及其形成方法

[发明专利]半导体测试结构及其形成方法-CN202111458694.X在审
发明人：韩兆翔;范伟海 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：一种半导体测试结构及其形成方法，其中半导体测试结构包括：衬底；位于衬底上的层间介质层；位于层间介质层内的待测结构；位于层间介质层内的环状结构，所述环状结构包围所述待测结构，所述环状结构顶部表面齐平于所述待测结构的顶部表面，所述环状结构的底部表面低于所述待测结构的底部表面；位于所述环状结构内的开口，所述开口沿垂直于环状结构顶部表面的方向贯穿所述环状结构。所述半导体测试结构减少了测试部件周围的水汽侵入，提升了电迁移测试结果的真实性和准确性。
半导体测试结构及其形成方法

[发明专利]晶圆可接受测试结构、测试方法及测试系统-CN202111240710.8在审
发明人： 范伟海 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本申请技术方案提供一种晶圆可接受测试结构、测试方法及测试系统，其中所述晶圆可接受测试结构包括：第一衬垫，用于连接第一测试电源；第二衬垫，用于连接第二测试电源或者接地，且所述第二测试电源的电压小于所述第一测试电源的电压；其中，每一所述绝缘介质层的两端分别通过特定线宽的导电连线与所述第一衬垫、所述第二衬垫连接；所述绝缘介质层失效时对应有失效时间，且最后失效的绝缘介质层对应的失效时间为总测试时间。本申请技术方案能够缩短总体测试时间，提高测试效率和生产线发生异常时的反应速度。
可接受测试结构方法系统

[发明专利]一种金属连线结构可靠性测试方法及系统-CN202111143564.7在审
发明人： 范伟海 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本申请提供一种金属连线结构可靠性测试方法，所述方法包括：获取基准芯片的熔断电流以及该基准芯片的金属连线结构寿命；根据所述基准芯片的熔断电流以及该基准芯片的金属连线结构寿命计算测试芯片在不同的金属连线结构寿命下对应的熔断电流；将所述测试芯片的金属连线结构不同寿命下对应的熔断电流依次施加到所述测试芯片的金属连线结构上，施加所述熔断电流的顺序为根据对应的寿命由低到高；每次施加电流时，测量金属连线结构的电阻值，根据所述电阻值的情况判断所述测试芯片的金属连线结构寿命。利用金属连线结构的内在失效机制，直接使用基准芯片的参数关系来计算测试芯片的寿命，可以提高金属连线结构寿命评估的准确性和效率。
一种金属连线结构可靠性测试方法系统

[发明专利]一种电迁移测试的方法-CN202111143520.4在审
发明人：张鼎瑞;范伟海;李纪周;杨莉娟 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本申请技术方案提供一种电迁移测试的方法，包括：获得待测样本的实际应用条件、电迁移测试时的应力温度以及失效分布方差；基于所述失效分布方差，获得在所述应力温度下，满足所述实际应用条件时的应力测试时间tstress；获得电迁移测试时间，且tstress+tst≤t＜tshift，其中，t为电迁移测试时间，tst为所述待测样本的温度刚到所述应力温度时的时间，tshift为在相同电迁移测试条件下，所述待测样本的电阻达到失效基准时的时间；在所述应力温度和所述电迁移测试时间下进行电迁移测试，获得电迁移测试结果。本申请技术方案的电迁移测试的方法可以在线上及时且快速的评估EM失效风险，提高测试效率，同时还可以解决烧卡或烧衬垫的问题。
一种迁移测试方法

[发明专利]一种润滑组合物、制备方法及润滑方法-CN202111663936.9有效
发明人：顾文良;董亚娟;范伟海 -专利权人：上海恩坤工业技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C10M169/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种润滑组合物、制备方法及润滑方法，润滑组合物包括2‑烷基‑1‑烷醇、低粘度合成酯、抗氧化剂，2‑烷基‑1‑烷醇、低粘度合成酯、抗氧化剂的质量比为(3～4)：(1～1.5)：(0.005～0.01)。其优点在于，2‑烷基‑1‑烷醇润滑性好，保证切割速度和切割精度；低粘度合成酯减少切割元件磨损方面性能优异，而且馏分窄，挥发性性好，以上二款原料在250℃，60～90min热处理温度和时间下均能全部挥发干净，没有残留可以保证加工零件的质量；抗氧化剂可以保证产品在储运和使用过程中油品不会或者减缓老化变质问题；替代原有矿物油和矿物油加添加剂的技术，可以提高加工速度、加工精度、减少锯轮和锯条的磨损、减少热处理后的表面残留和发黑问题、减少产品废品率。
一种润滑组合制备方法

[发明专利]测试装置-CN202110065158.7在审
发明人：李家宇;范伟海;李纪周 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种测试装置，用于与多个测试板相配合进行测试，所述测试板具有功能测试端；所述测试装置包括：底座，包括配置区和位于所述配置区端部的扩展区；阵列排布的引脚，位于所述底座上，所述引脚用于与所述测试板的插座匹配使用；所述引脚包括：位于所述配置区且与所述功能测试端对应的第一测试引脚，以及位于所述扩展区且与所述功能测试端对应的第二测试引脚；焊盘，设置于所述底座中且与所述引脚一一对应相连；互连结构，包括位于所述底座中的至少一条互连线，所述互连线用于连接所述第一测试引脚和第二测试引脚对应的焊盘。本发明实施例提供的测试装置能够与多个测试板相配合进行测试，提高了所述测试装置的通用性。
测试装置

[发明专利]芯片失效参数的预测方法-CN202110107069.4在审
发明人： 范伟海 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种芯片失效参数的预测方法，包括：提供若干测试芯片；对若干测试芯片进行失效测试，获取N个测试数据；对N个测试数据进行分段处理，获取n个模型数据段，每段所述模型数据段中包括Mi个所述测试数据；获取每段所述模型数据段的线性拟合模型；获取每段模型数据段相对于所述测试数据的模型占比；根据每段所述模型数据段的线性拟合模型和每段所述模型数据段的模型占比，获取芯片预测失效模型。通过将每段模型数据段下的线性拟合模型均考虑进去，并按照对应的模型占比获得权重，使得最终获取的芯片预测失效模型更为全面的反应出若干所述测试数据的分布特点，进而使得后续通过所述芯片预测失效模型所获取的芯片预测失效参数的精确度也有效提升。
芯片失效参数预测方法

[实用新型]一种液体补充装置-CN202123283682.6有效
发明人： 范伟海 -专利权人：上海恩坤工业技术有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种液体补充装置，包括储液单元、搅拌单元、液体输送单元、管道单元和喷洒单元；搅拌单元设置于储液单元，用于对储液单元的添加剂进行搅拌混匀；液体输送单元设置于储液单元的一侧，用于将储液单元的添加剂向外输送；管道单元分别与液体输送单元、喷洒单元连通；喷洒单元用于将添加剂添加至清洗槽。其优点在于，利用液体输送单元，可以定时定量向清洗槽补充添加剂，控制添加剂的用量、减少工人操作、确保清洗槽的浓度均一，保证清洗结果；与传统的人工添加相比，添加量固定、添加频率固定，无须频繁操作，降低隐患；降低成本，避免出现清洗液成分析出问题。
一种液体补充装置

[实用新型]一种新型涂料混合装置-CN202123377970.8有效
发明人： 范伟海 -专利权人：上海恩坤工业技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B01F29/60 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型涂料混合装置，包括：操作箱单元、第一转动单元、第二转动单元、温度调节单元和控制单元；未开封的涂料罐放置于第一转动单元和第二转动单元，在第一转动单元和第二转动单元协同作用下，涂料罐进行转动，用于完成搅拌混合工序。其优点在于，利用第一转动单元和第二转动单元对未开封的涂料罐进行整体转动，确保涂料混合均匀，避免外界杂质进入，确保涂料质量稳定，且不会造成涂料损失，降低成本；利用温度调节单元对涂料罐进行热辐射式加热，降低涂料粘度，提高混合效率和混合效果；操作简单方便，减少人力成本。
一种新型涂料混合装置

[实用新型]一种新型喷油装置-CN202123168238.X有效
发明人： 范伟海 -专利权人：上海恩坤工业技术有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型喷油装置，包括箱单元、喷油单元、定位单元、旋转单元、导流单元和回收单元，喷油单元对活塞进行自动化喷油，旋转单元带动活塞旋转，导流单元将防护油引导至回收单元。其优点在于，利用喷油单元对活塞进行防护油自动喷射，提高喷油效率；铜鼓旋转单元对活塞进行旋转，使得活塞的表面被防护油均匀覆盖，解决人工涂抹不均匀的问题；利用导流单元对箱单元内部的防护油进行导流，避免防护油在箱单元的内部积聚，减少清洁次数，保持箱单元的洁净；通过回收单元对防护油进行回收，降低生产成本。
一种新型装置

[发明专利]一种用于铝硅合金表面黑色磷化的磷化试剂和磷化方法-CN202110589247.1有效
发明人：董亚娟;蔡征昊;范伟海 -专利权人：上海恩坤化学品有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C23C22/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于铝硅合金表面黑色磷化的磷化试剂和磷化方法，所述的磷化方法，包括一个对铝硅合金的表面进行脱脂的步骤；一个对脱脂后的铝硅合金的表面进行漂洗的步骤；一个对漂洗后的铝硅合金的表面进行磷化的步骤；对磷化后的铝硅合金先采用水进行第一次漂洗；一个对磷化后的铝硅合金的表面进行封闭漂洗的步骤；烘干后的铝硅合金的表面即可得到黑色的磷化膜。本发明提供的一种磷化试剂由氟化物、缓冲液、成膜剂、促进剂、光亮剂和水组成。本发明还提供了上述磷化试剂的制备方法。本发明的铝磷化液不含锰、锌、镍等重金属离子，在磷化过程中不会产生磷化渣，磷化膜质量较高，且后续处理方便。
一种用于合金表面黑色磷化试剂方法

[发明专利]可靠性测试方法及系统、设备、存储介质-CN202011194839.5在审
发明人： 范伟海 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：一种可靠性测试方法及系统、设备和存储介质，可靠性测试方法包括：确定待测试器件的实际工作条件以及恒定的参考工作条件，实际工作条件包括一个或多个参数变量，参考工作条件和实际工作条件的参数变量相同；在参考工作条件下对待测试器件进行加速退化测试，获得参考寿命；获取累积寿命加速度，累积寿命加速度为对实际工作条件相对于参考工作条件的寿命加速比例与相对应的周期占空比的乘积进行积分获得；计算参考寿命与累积寿命加速度的比值，获得待测试器件在实际工作条件下的实际寿命。本发明利用累积寿命加速度计算实际寿命，降低可靠性测试的复杂度，且使得测试方法能够适用于测得任何模式的工作条件对应的实际寿命，提高了可靠性测试的精度。
可靠性测试方法系统设备存储介质

[发明专利]一种光泽组合物、制备方法及光泽方法-CN202111501065.0在审
发明人：顾文良;范伟海;董亚娟 -专利权人：上海恩坤工业技术有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： C23F3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种光泽组合物、制备方法及光泽方法，光泽组合物包括柠檬酸、羟基亚乙基二磷酸、十二烷基苯磺酸，柠檬酸、羟基亚乙基二磷酸、十二烷基苯磺酸的质量比为(1～1.5)：(2～4)：(1～1.5)。其优点在于，采用温和的柠檬酸在一定温度下，可以局部去除不锈钢紧固件上的金属氧化物，而对零件尺寸和理化性能影响小；采用羟基亚乙基二膦酸，作为弱酸性的络合剂，通过络合作用把不锈钢紧固件表面的氧化物吸附、络合、酥松、脱离表面，起到高效快速安全去除氧化物的作用；十二烷基苯磺酸作为阴离子表面活性剂，具有降低表面张力、增加去污清洗能力、提升不锈钢紧固件表面光亮度的作用。
一种光泽组合制备方法

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