专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200580047044.9有效
  • 高桥秀知;若田裕一 - 富士胶片株式会社
  • 2005-11-24 - 2008-01-09 - G03F7/033
  • 本发明的目的在于,通过使感光层中所含的粘合剂的I/O值及玻璃化温度都在一定的数值范围内,来提供在析像度及遮盖性方面优良,而且在显影性方面也优良,并且在抗蚀剂剥离性方面优良的图案形成材料;以及具备了该图案形成材料的图案形成装置及使用了该图案形成材料的图案形成方法。为此,提供一种图案形成材料,其特征是,在支撑体上至少具有感光层,该感光层含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂,该粘合剂的I/O值为0.300~0.650,并且酸价为130~250(mgKOH/g)。所述粘合剂含有共聚物,该共聚物含有30质量%以上的构成I/O值为0.35以下的均聚物的单体。
  • 图案形成材料以及装置方法
  • [发明专利]图案形成方法-CN200580013937.1无效
  • 高岛正伸;若田裕一;石川弘美;下山裕司 - 富士胶片株式会社
  • 2005-02-25 - 2007-04-18 - G03F7/20
  • 本发明的目的是提供图案形成方法,所述图案形成方法由于抑制形成在图案形成材料上的图像的变形,可以高度精细和精确以及足够效率地形成永久图案如布线图案。为了达到上述目的,提供一种图案形成方法,该方法包括:调制由激光源辐射出的激光束、补偿调制的激光束以及用调制且补偿的激光束曝光光敏层,其中将所述光敏层安置在衬底上以形成图案形成材料,所述调制是通过包含多个成像部分的激光调制器进行的,所述成像部分每个都能够接收激光束和输出调制的激光束,并且所述补偿是通过将调制的激光束通过多个微透镜传输进行的,每一个所述微透镜都具有能够补偿由于成像部分的输出表面畸变所致的像差的非球形表面,而且所述多个微透镜被排列成微透镜阵列。
  • 图案形成方法
  • [发明专利]图案形成方法-CN200580004597.6无效
  • 若田裕一;高岛正伸;石川弘美;下山裕司 - 富士胶片株式会社
  • 2005-02-04 - 2007-02-21 - H01L21/027
  • 本发明的目的是提供图案形成方法,该方法可以形成具有良好细度和高精确性以及具有因抑制在图案形成材料上所形成的图像变形而产生的充足效率的永久图案,比如布线图案。为了实现该目的,提供了包括如下的图案形成方法:调制从激光源辐发射的激光束,补偿调制的激光束,以及由调制且补偿的激光束曝光光敏层,其中将所述光敏层安置在载体上以形成图案形成材料,所述调制是由包括多个成像部分的激光调制器进行的,每个成像部分都能够接收激光束和输出调制的激光束,以及所述补偿是通过使调制的激光束经过多个微透镜传输进行的,每个微透镜都具有能够补偿因成像部分的输出表面变形所导致的像差的非球形表面,并且将所述多个微透镜排列成为微透镜阵列。
  • 图案形成方法
  • [发明专利]图形形成材料、以及图形形成装置和图形形成方法-CN200510059449.6无效
  • 高桥秀知;若田裕一 - 富士胶片株式会社
  • 2005-03-22 - 2005-09-28 - G03F7/004
  • 一种图形形成材料,其特征在于在支撑体上至少具有感光层,该感光层含有粘合剂、聚合性化合物和光聚合引发剂,该粘合剂的I/O值为0.300-0.650,而且玻璃化转变温度(Tg)为80℃以上。上述粘合剂含有共聚物,该共聚物优选具有来自苯乙烯和苯乙烯衍生物中的至少一种的结构单元。本发明还涉及具有上述图形形成材料的图形形成装置和使用上述图形形成材料的图形形成方法。在本发明中,通过使在感光层中含有的粘合剂的I/O值和玻璃化转变温度都在一定的数值范围内,可以提供分辨率和遮盖性优良且显影性也优良、而且可抑制熔边产生的图形形成材料、以及具有该图形形成材料的图形形成装置和使用该图形形成材料的图形形成方法。
  • 图形形成材料以及装置方法

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