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- [实用新型]一种等离子体电荷温控盘装置-CN202320852445.7有效
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韩立民
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苏州子山半导体科技有限公司
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2023-04-17
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2023-10-13
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H01J37/32
- 本实用新型涉及一种等离子体电荷温控盘装置，包含真空箱体、设在真空箱体内底部与大气环境连通的通孔、设在真空箱体内且与通孔密封连接呈圆柱形镂空的底座、设置在底座顶面的电加热丝基座、设在电加热丝基座顶面用于放置电加热丝的电加热丝槽、设在电加热丝基座顶面的中间板、设在中间板顶面的冷却板、设在冷却板与中间板贴合一面上用于放置冷却管的冷却槽；所述冷却管的进出口均贯穿电加热丝基座及中间板至底座镂空处内；所述电加热丝的输入端贯穿电加热丝基座至底座镂空处内；本实用新型通过电加热系统与冷却系统一体化，可有效精准控温，并且通过镂空底座，使冷却和加热接头不暴露在真空内，降低加工难度，缩减加工成本，同时增加使用寿命。
- 一种等离子体电荷温控装置
- [实用新型]一种等离子体电荷低温制程下电极装置-CN202320816165.0有效
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韩立民
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苏州子山半导体科技有限公司
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2023-04-13
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2023-10-13
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H01J37/32
- 本实用新型涉及一种等离子体电荷低温制程下电极装置，包含真空箱体、贯穿设在真空箱体内底面中部的顶针基座、设在顶住基座顶部的陶瓷绝缘板、设在陶瓷绝缘板顶面的中间密封板、设在中间密封板顶面的温控盘、设在真空箱体内用于固定顶针基座及陶瓷绝缘板的密封压板、设在顶针基座内的顶针组件、设在温控盘上的温控介质通道、设在顶针基座底部的温控介质进口及温控介质出口、设在顶针基座底部且输出端贯穿至中间密封板内的下电极；所述温控介质进口、温控介质出口、下电极及顶针组件均相互避开设在顶针基座上；本实用新型通过下电极能有效提高蚀刻率，从而提高产品质量，并将顶针组件、温控及电极集成一体能有效的缩小实体尺寸，减小实际占用空间。
- 一种等离子体电荷低温制程下电极装置
- [实用新型]一种新型的真空机械手驱动结构-CN202320940355.3有效
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程向东
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苏州子山半导体科技有限公司
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2023-04-24
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2023-10-03
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B25J9/12
- 本实用新型涉及一种新型的真空机械手驱动结构，包含基座外壳、设在基座外壳一端的驱动器钣金外壳、设在基座外壳内的丝杆导轨组件、设在丝杆导轨组件滑动端上的外轴、设在丝杆导轨组件滑动端上的旋转电机组件、旋转设在外轴内的内轴、设在丝杆导轨组件滑动端上且输出端连接内轴的伸缩电机、设在驱动器钣金外壳底部外表面上的三轴驱动器；所诉外轴及内轴一端处同时连接有机械臂；本实用新型通过将丝杆导轨组件的丝杆设置在内轴外的基座外壳内，无需特意在内轴上打盲孔将丝杆插人，不仅降低加工难度，还降低对内轴外轴尺寸要求，并在外轴旋转时只需驱动内轴配合旋转即可，无需伸缩电机跟着一起转动，避免了电机线松动脱离。
- 一种新型真空机械手驱动结构
- [实用新型]一种新型的真空矩形阀门结构-CN202320100049.9有效
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程向东
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苏州子山半导体科技有限公司
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2023-02-02
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2023-05-30
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F16K3/02
- 本实用新型公开了一种新型的真空矩形阀门结构，包括固定块、外壳与移动门板，所述固定块与外壳之间定位安装，所述固定块与移动门板之间连接有移动轴，所述外壳的内部定位安装有气缸，所述气缸与固定块之间连接有伸缩杆、连接支架与定位连接架，且定位连接架连接移动轴的位置，所述外壳上活动移动轴的位置开设有滑槽，所述移动轴与移动门板之间卡合有卡扣。本实用新型所述的一种新型的真空矩形阀门结构，采用FESTO气缸，设计简便，成本低廉；使用热塑性自润滑材料用作导向支撑，并且采用星型密封圈作为移动密封，结构设计紧凑，简洁，通过压缩空气使推动气缸向前运动，从而带动移动门板向前运动，从而移动门板紧贴墙壁达到密封。
- 一种新型真空矩形阀门结构
- [实用新型]一种用于传输腔的真空密封门板结构-CN202221583895.2有效
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李洋
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苏州子山半导体科技有限公司
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2022-06-23
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2023-01-17
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E06B3/44
- 本实用新型涉及一种用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体、设置在真空箱体端部的传输口、设置在传输口外圈的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈的驱动压紧机构；所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直滑动设置的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；所述动力组件驱动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；本实用新型不仅结构简单紧凑，降低了生产成本，且驱动压紧机构与传输口错开设置，减少了工作空间。
- 一种用于传输真空密封门板结构
- [实用新型]一种干法蚀刻机终点侦测系统-CN202222298609.4有效
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周玉龙
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苏州子山半导体科技有限公司
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2022-08-31
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2023-01-17
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H01J37/32
- 本实用新型公开了一种干法蚀刻机终点侦测系统，包括侦测器，所述侦测器的上端位置定位安装有顶壳，所述侦测器与顶壳之间密封定位有密封座，所述侦测器的前端一侧位置开设有光纤通光孔，且侦测器前端位于光纤通光孔的位置活动设置有转盘，所述转盘上设置有滤光片，所述侦测器的内侧开设有盒体，且盒体的内侧定位有系统电路板与电机，所述系统电路板与侦测器之间密封定位有密封安装座。本实用新型所述的一种干法蚀刻机终点侦测系统，基于等离子发光光谱的原理，配合硬件检测和控制系统，实时检测反应物浓度，从而获得蚀刻反应终点，通过使用低成本的电路方案，可以经济便捷的在干法蚀刻设备上批量安装此系统，实现终点侦测的目的。
- 一种蚀刻终点侦测系统
- [实用新型]一种干法蚀刻机等离子体反应腔室结构-CN202222605965.6有效
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周玉龙
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苏州子山半导体科技有限公司
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2022-09-30
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2023-01-13
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H01J37/32
- 本实用新型涉及一种干法蚀刻机等离子体反应腔室结构，包含反应箱体、至少两个并排设置在反应箱体内的反应腔室、至少两个设置在反应箱体顶部且分别与反应腔室连通的等离子体发生装置、分别设置在反应腔室底部用于放置晶圆的加热盘、至少三个竖直浮动设置在加热盘上的顶针、用于驱动顶针顶起晶圆的顶起结构、设置在加热盘内用于检测加热温度的温度传感器、设置在反应腔室内用于连接真空泵的泵口、设置在反应腔室侧面的料口；本实用新型采用双腔结构，并设置有两个独立的石英管用于等离子体的产生，两个独立的加热盘用于晶圆的加热和蚀刻反应，能同时进行多片晶圆的干法蚀刻反应，大大提高了生产效率，降低了生产成本。
- 一种蚀刻等离子体反应结构
- [发明专利]一种干法蚀刻机终点侦测系统-CN202211059958.9在审
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周玉龙
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苏州子山半导体科技有限公司
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2022-08-31
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2022-12-02
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H01J37/32
- 本发明公开了一种干法蚀刻机终点侦测系统，包括侦测器，所述侦测器的上端位置定位安装有顶壳，所述侦测器与顶壳之间密封定位有密封座，所述侦测器的前端一侧位置开设有光纤通光孔，且侦测器前端位于光纤通光孔的位置活动设置有转盘，所述转盘上设置有滤光片，所述侦测器的内侧开设有盒体，且盒体的内侧定位有系统电路板与电机，所述系统电路板与侦测器之间密封定位有密封安装座。本发明所述的一种干法蚀刻机终点侦测系统，基于等离子发光光谱的原理，配合硬件检测和控制系统，实时检测反应物浓度，从而获得蚀刻反应终点，通过使用低成本的电路方案，可以经济便捷的在干法蚀刻设备上批量安装此系统，实现终点侦测的目的。
- 一种蚀刻终点侦测系统
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