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[发明专利]一种与SOI波导集成的阵列平衡探测器-CN202211666997.5在审
发明人： 胡卫英;徐强;陈剑;谢修敏;蒋若梅;路小龙;黄海华;谭杨;黄帅;王顺艳;宋海智;周鼎福 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L27/144 文献下载
摘要：本发明涉及一种与SOI波导集成的阵列平衡探测器，属于光通信有源器件、光互连器件技术领域。本发明提出一种有机键合技术，采用中间媒介(BCB胶)的辅助粘合方式，将InGaAsPIN平衡探测器光敏芯片通过高精度对准工艺倒扣式键合在SOI波导结构上，键合层低于150nm，利用高分子聚合物的热固性或热塑性来达到粘合效果，设置微纳光栅将光信号垂直向上引出SOI波导，进入到平衡探测器中。通过以上措施，完成平衡探测器PIN光敏芯片与干涉光波导结构的高精度光耦合异质集成，实现激光雷达相干探测系统接收模块的芯片化。
一种 soi 波导集成阵列平衡探测器

[发明专利]一种超导薄膜新型纳米结构的制备方法-CN202211707633.7在审
发明人：谭杨;谢修敏;徐强;蒋若梅;黄帅;陈剑;胡卫英;张伟;宋海智 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种超导薄膜新型纳米结构的制备方法，在薄膜表面首先铺AAO模板，而后确定打孔区域，最后通过刻蚀，在选定的多个打孔区域内形成指定孔径和周期的多孔结构；薄膜为钇钡铜氧YBCO或氮化铌NbN。本发明局域打孔的纳米加工技术，充分保护无需打孔部分，工艺简单有效；指定打孔区域可以是任意形状，同时可以大面积选区打孔，大部分的微纳加工技术无法做到。
一种超导薄膜新型纳米结构制备方法

[发明专利]一种钇钡铜氧光子晶体及其制备方法-CN202211609261.4在审
发明人：张伟;宋海智;陈剑;谭杨;胡卫英;黄帅;蒋若梅;徐强;李远航;芦鹏飞 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C30B29/22 文献下载
摘要：本发明提出一种钇钡铜氧光子晶体及其制备方法，光子晶体结构由周期性的钇钡铜氧(YBa2Cu3O7‑x)超导材料圆形晶柱组成，晶格常数为2630nm，圆形晶柱半径为500nm。本发明的光子晶体通过改变光入射角可以改变带隙的位置和宽度从而实现中红波段带隙。本发明的光子晶体采用磁控溅射方法在钛酸锶单晶基底上制备钇钡铜氧薄膜，再通过聚焦离子束方法将钇钡铜氧薄膜加工成由钇钡铜氧圆形晶柱组成的周期性纳米结构，得到钇钡铜氧光子晶体。本发明的钇钡铜氧光子晶体制备方法工艺简单，易于控制。
一种钇钡铜氧光子晶体及其制备方法

[发明专利]一种用于超导阵列单光子探测器的测试系统-CN202211691922.2在审
发明人：徐强;谢修敏;胡卫英;陈德春;刘艳辉;袁菲;张伟;宋海智 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于超导阵列单光子探测器的测试系统，包括测试光源、制冷机和低温读出电路，该系统可以实现不同波段的单光子脉冲响应测试和光谱响应测试，具备不同温度条件的变温测试。该系统利用T型低温偏置器和低温射频放大器，可最大限度降低测试信号的传输衰减，为超导大规模阵列探测器芯片测试提供全新的测试思路。该系统内部各组件均来自成熟的商用器件，完成光路校准和安装后，可持续稳定使用。该系统适用于超导阵列单光子探测器测试领域。
一种用于超导阵列光子探测器测试系统

[发明专利]一种基于Sagnac光纤环路产生三光子偏振纠缠GHZ态的系统-CN201911311292.X有效
发明人：徐强;谢修敏;张伟;代千;陈剑;胡卫英;周强;宋海智 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Sagnac光纤环路产生三光子偏振纠缠GHZ态的系统，该方法使用Sagnac光纤环路，基于光纤中的三阶非线性光学过程‑自发四波混频原理，包括：连续激光泵浦光源、密集波分复用器、掺铒光纤放大器、可变光衰减器、耦合器、功率计、滤波器、偏振控制器、可调延时线、Sagnac环、偏振分析仪、单光子探测器。本发明产生三光子偏振纠缠GHZ态的各部分组件，均可来自通讯波段商用化的成熟器件，这有利于光源的组装制备和实用化发展。通过此方法制备出的光源具有小型化、实用化、易与光纤系统集成的特点，所产生的纠缠三光子波长在1550nm波段，可在量子雷达、量子通讯、量子计量、多量子纠缠网络等领域得到广泛应用。
一种基于 sagnac 光纤环路产生光子偏振纠缠 ghz 系统

[发明专利]一种改善探测器芯片清洗工艺碎片的工装夹具-CN202011587479.5在审
发明人：刘从吉;蒲勋;胡卫英;王鸥;周红轮;钱煜;曾璞 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种改善探测器芯片清洗工艺碎片的工装夹具，属于芯片制造领域。本发明的工装夹具的清洗舟高度为65mm，为50mm直径的硅片留有足够的空间；所述清洗舟的顶部设置一个压条，使得硅片在清洗的过程中被限制在了清洗舟内部；所述清洗舟两端各增加了一个提手，便于清洗硅片的操作人员操作。本发明能提高清洗效率并大大降低了清洗过程中由于水流不稳定造成的碎片，本发明在硅基四象限激光探测器光敏芯片清洗过程中的碎片率明显改善，并且改进的方法应用到其余科研项目上效果明显。
一种改善探测器芯片清洗工艺碎片工装夹具

[发明专利]一种射频无线操控吸尘器-CN201210595163.X无效
发明人：徐俊民;龚汉兵;程进群;胡卫英 -专利权人：宁波奇特电子科技有限公司
申请日： 2012-12-07 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： A47L9/00 文献下载
摘要：本发明涉及清洁工具吸尘器装置领域，具体涉及的是一种射频无线操控吸尘器，包括吸尘器机座和连于机座上的操作手柄以及管道，在所述操作手柄内设有控制单元射频发射器，所述控制单元用于控制射频发射器，所述供电模块为射频发射器供电，所述射频发射器上设有若干控制按键和无线信号发射天线；在所述吸尘器机座内设有射频接收控制器；通过射频接收控制器上的无线信号接收天线接收射频发射器发出的无线信号并控制电机，本发明所带来的有益效果是：操作灵活、方便、自如；全球通用免费的频段，适应范围广；低功率发射，对人体安全，对其它电子设备不会造成干扰。
一种射频无线操控吸尘器

[实用新型]一种射频无线操控吸尘器-CN201220751206.4有效
发明人：徐俊民;龚汉兵;程进群;胡卫英 -专利权人：宁波奇特电子科技有限公司
申请日： 2012-12-07 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： A47L9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及清洁工具吸尘器装置领域，具体涉及的是一种射频无线操控吸尘器，包括吸尘器机座和连于机座上的操作手柄以及管道，在所述操作手柄内设有控制单元射频发射器，所述控制单元用于控制射频发射器，所述供电模块为射频发射器供电，所述射频发射器上设有若干控制按键和无线信号发射天线；在所述吸尘器机座内设有射频接收控制器；通过射频接收控制器上的无线信号接收天线接收射频发射器发出的无线信号并控制电机，本实用新型所带来的有益效果是：操作灵活、方便、自如；全球通用免费的频段，适应范围广；低功率发射，对人体安全，对其它电子设备不会造成干扰。
一种射频无线操控吸尘器

[发明专利]聚酰亚胺钝化膜钝化制备工艺-CN201210566860.2无效
发明人：邱月瓴;苏洁梅;刘期斌;刘从吉;周小燕;刘小会;王鸥;胡卫英 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提出的一种聚酰亚胺钝化膜制备工艺，旨在提供一种工艺可靠，返工几率低，合格率高，易于实现的硅基光电探测器芯片表面钝化膜的制备工艺方法。本发明通过下述技术方案予以实现：在曝光和显影工序步骤之间增加显影前检查、补正胶步骤，及时对曝光后的光刻胶进行检查，对钝化区域内正胶破损的芯片，用正胶覆盖针孔和破损处，然后放入85℃的烘箱烘10min后进入下步工艺。本发明在显影前增加了一步“镜检、补正胶”工艺，虽然光刻工艺的操作步骤增多了，但是工艺质量得到很好的控制，有效消除了产生的工艺针孔，使PI-5钝化膜制作工艺一次性合格率大幅提高，减少了返工的数量，降低了成本。
聚酰亚胺钝化制备工艺

[实用新型]光敏芯片钝化结构-CN201220720861.3有效
发明人：王鸥;邱月瓴;曾璞;刘小会;周红轮;胡卫英;刘从吉;罗成思 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本实用新型提出的一种光敏芯片钝化结构，旨在提供一种减少干扰，合格率高，易于实现的硅基探测器的光敏芯片钝化结构。本实用新型通过下述技术方案予以实现：硅基探测器的光敏芯片钝化结构，包括光刻保留在工艺芯片表面的氧化硅钝化膜，氧化硅钝化膜同P型隔离区氧化硅断开，用聚酰亚胺胶膜包裹P型隔离区氧化硅钝化膜，各个方向包裹了氧化硅钝化膜，形成完整包裹型双层钝化膜。本实用新型包含了聚酰亚胺与氧化硅薄膜，芯片表面保留氧化硅钝化膜，并同P型隔离区氧化硅断开，让聚酰亚胺胶包裹隔离区氧化硅，形成完整包裹型钝化膜，有效减少了离子污染。消除了器件在背景光照下输出干扰信号，减少了不合格品的数量，提高了器件性能。
光敏芯片钝化结构

[发明专利]多象限光电探测器高低温测试系统-CN201110370352.2无效
发明人：钱煜;余永琦;周小燕;苏洁梅;王鸥;李潇;郭勇;周红轮;何伟;祁祖峰;向秋澄;柯尊贵;刘从吉;胡卫英 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01R31/01 文献下载
摘要：本发明一种多象限光电探测器高低温测试系统，用于测试多象限光电探测器在高低温条件下的电参数。它包括，一个电连接直流稳压电源的示波器，内置测试夹具的高低温箱，在示波器与所述高低温箱之间，电连接有一个带有选通控制面板的选通电路控制箱，选通控制面板上设有对应测试器件位置的数码管信号灯，高低温箱输入端相连选通电路控制箱的输出端，高低温箱输出端相连激光光源，激光光源通过光纤耦合头连接被测试器件。本发明可以一次性测试多只多象限光电探测器，相比以往每次只能测试一只器件的测试系统，可以节约大量的时间和人力。由于器件在测试时一直置于高低温箱中，可以保证其环境温度的稳定。使测试状态真实可靠。
象限光电探测器低温测试系统

[发明专利]带光子陷阱的光电探测芯片-CN201010593239.6无效
发明人：王鸥;王平秋;周红轮;郭勇;李丰;马孜;苏洁梅;何伟;石柱;钱煜;向秋澄;覃文治;李潇;刘小会;周小燕;刘从吉;柯尊贵;胡卫英 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明提出的一种带光子陷阱的光电探测芯片，旨在提供一种可以解决传统直接光电探测芯片元件在吸收长度较长的波长时响应速度和量子效率的矛盾限制，实现高速和高量子效率的兼容，适合各种半导体材料的芯片，增强波长范围可以覆盖芯片全部工作波长范围的光电探测芯片。本发明通过下述技术方案予以实现：它具有光电探测元件(PD)，在所述PD芯片本体(12)上制有由反射腔体和微透镜阵列构成的光子陷阱，该光子陷阱使到达芯片表面光束经过微透镜阵列进入反射腔体，局限在芯片吸收区中反复反射，直至被完全吸收。
光子陷阱光电探测芯片

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