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[发明专利]一种无介质桥的声表面波滤波器-CN202310170180.7在审
发明人：黄亮;肖功亚;王志超;庞旗旗;李勇;朱卫俊 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种无介质桥的声表面波滤波器，包括压电衬底，输入信号端子，输出信号端子以及至少一个纵向耦合谐振器型声表面波滤波器件，该滤波器件包括设置在压电衬底上至少三个沿声表面波传播方向的叉指换能器，最外侧的两个叉指换能器单端接地，其余叉指换能器的同端电极以及最外侧的叉指换能器的非接地端均通过引线电连接在一起，每个纵向耦合谐振器型声表面波滤波器件还包括第一反射器和第二反射器，第一反射器和第二反射器分别位于最外侧的两个叉指换能器的两侧。本发明的纵向耦合声表面波滤波器不需要引线架桥即可实现接地，工艺步骤更少、成本更低，且器件可靠性更高。本发明的纵向耦合声表面波滤波器在通带高频侧有较好的抑制度。
一种介质表面波滤波器

[发明专利]一种兰姆波谐振器-CN202111409979.4在审
发明人：周亚男;夏前亮;姜建利;朱卫俊;李勇;何朝峰;肖功亚;彭晓雨;庞旗旗;黄亮;王雨;史志潭;张颖;戴梦圆;李忠宇 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种兰姆波谐振器，主要包括支撑衬底、位于支撑衬底之上的压电薄膜；位于压电薄膜之上的叉指电极；汇流条；空气腔；及/或位于支撑衬底与压电薄膜之间或叉指电极之上的交错排列的高/低声阻抗层；及/或在叉指电极底部的压电薄膜开槽并在叉指电极与汇流条中间周期性刻蚀通孔或盲孔；及/或在汇流条之下的压电薄膜上设有凹槽。本发明在叉指电极底部的压电薄膜设有凹槽并在叉指电极与汇流条中间排列刻蚀的通孔或盲孔，能抑制寄生声波模式；支撑衬底与压电薄膜之间或叉指电极之上交错排布高声阻抗层和低声阻抗层，能提高声波在第三方向的反射；在汇流条之下的压电薄膜上设有凹槽，能减少能量的泄露，提升谐振器的品质因子。
一种兰姆波谐振器

[发明专利]一种声表面谐振器及滤波器-CN202110917845.7在审
发明人：姜建利;肖功亚;崔坤;黄亮;李勇;朱卫俊;庞旗旗 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面谐振器，包括IDT电极、压电膜层、低声速层、高声速层、高声速支撑组件和反射器，IDT电极和反射器均设于压电性基板上；IDT电极设置在压电膜层上，低声速层叠于压电膜层与高声速层之间，高声速层设于高声速支撑组件上，或者高声速层和高声速支撑组件为一体成型，IDT电极包括两侧的第一汇流条、第三IDT电极、第四IDT电极和第十二假电极指，第三IDT电极梳状指条与第四IDT电极梳状指条部分交叠插入形成声波传输通道，两IDT电极梳状指条的前端面构成声波传输通道边界，声波通道形状为波浪形弯曲状；还公开了一种滤波器。本发明的谐振器能抑制横波模式寄生，滤波器能实现减小插入损耗、提高Q值。
一种表面谐振器滤波器

[发明专利]一种声表面波谐振器-CN202110817446.3在审
发明人：姜建利;黄亮;肖功亚;彭晓雨;周亚男;李忠宇;王雨;李勇;朱卫俊 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波谐振器，包括压电膜层、低声速层、高声速层、支撑基底、IDT电极和反射器，低声速层层叠于压电膜层与高声速层之间；IDT电极和反射器设在压电膜层上，IDT电极包括第一IDT电极、第二IDT电极和上、下侧汇流条，第一IDT电极的外边缘连接上侧汇流条，第二IDT电极的外边缘连接下侧汇流条，第一IDT电极和第二IDT电极的梳状指条部分交叠插入形成呈平行四边形的交叠区域；第一IDT电极和第二IDT电极在沿孔径方向前端，分别设有附加层，并形成平行四边形低声速区域；低声速区域两侧形成三角形高声速区域。本发明的高声速区域、低声速区域和中心声速区域均形成不对称形状，能抑制横波模式寄生。
一种表面波谐振器

[实用新型]一种可嵌入匹配网络的射频探卡-CN202020776291.4有效
发明人：夏前亮;何朝峰;李勇;夏然;肖功亚;邵赛艳;卞乾坤;黄明笑;卢明达 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本实用新型涉及射频通信技术领域，尤其是一种可嵌入匹配网络的射频探卡，包括PCB1、PCB2、PCB3、贴片SMA、同轴线缆、匹配元件和探针，探卡夹具对PCB1固定，PCB2与PCB1固定连接；PCB3与PCB2固定连接，贴片SMA和匹配元件设置在PCB3的上表面，且贴片SMA与匹配元件电连接，同轴线缆与贴片SMA电连接，探针设置在PCB3的下表面，PCB3上设置有过孔，匹配元件与探针之间通过过孔电连接，本实用新型能够方面嵌入和修改匹配元件。
一种嵌入匹配网络射频

[发明专利]一种声表面波器件及其制作方法-CN202010145350.2在审
发明人：李勇;温旭杰;何朝峰;王祥邦;肖功亚;黄亮 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本发明涉及声表面波换能器件技术领域，尤其是一种声表面波器件及其制作方法，包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极结构，所述的压电衬底表面上至少有一个有效声表面波传输通道区域边缘镶嵌有介质体，所述的介质体作为声表面波声波导的侧壁，本发明在压电衬底表面镶嵌介质体，作为声表面波声波导的硬侧壁，利用表面镶嵌介质体对传输的声表面波反射、衍射，直接在压电衬底表面制作出器件所需要的声表面波传输声道，引导声表面波按设计规范传输。
一种表面波器件及其制作方法

[实用新型]一种用于全球导航卫星系统的多模射频低噪声放大器模块-CN201920482782.5有效
发明人：胡建学;卢明达;夏前亮;朱卫俊;马杰;刘敬勇;邵赛艳;肖功亚 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H03F1/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于全球导航卫星系统的多模射频低噪声放大器模块，其技术方案要点是包括基板和设置在基板上的声表面波带通滤波器、无源匹配元件单元、低噪声放大器、以及薄膜层，所述的声表面波带通滤波器接收外部射频信号并依次通过无源匹配元件单元、低噪声放大器输出放大后的射频信号，所述的薄膜层包封整个放大器模块。本实用新型具有低功耗、高增益、低噪声系数的小型化特点。
一种用于全球导航卫星系统射频低噪声放大器模块

[实用新型]一种外接式多模射频低噪声放大器模块-CN201920483453.2有效
发明人：胡建学;卢明达;夏前亮;朱卫俊;马杰;刘敬勇;邵赛艳;肖功亚 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H03F3/189 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种外接式多模射频低噪声放大器模块，其技术方案要点是包括基板和设置在基板上的声表面波带通滤波器、低噪声放大器、以及薄膜层，所述基板上设置有外部接口，所述的声表面波带通滤波器输出端连接外部接口的输入端，所述的低噪声放大器输入端连接外部接口的输出端，所述的声表面波带通滤波器接收外部射频信号并依次通过连接在外部接口上的外部处理单元、低噪声放大器输出放大后的射频信号，所述的薄膜层包封整个放大器模块。本实用新型具有低功耗、高增益、低噪声系数的小型化特点。
一种外接式多模射频低噪声放大器模块

[实用新型]一种声表面波器件-CN201920428001.4有效
发明人：刘敬勇;肖功亚;沈得田;林毅;王祥邦;施旭霞 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种声表面波器件，其技术方案要点是包括管壳主体，管壳主体上具有6个外接引脚,管壳主体内设有接地线路，所述管壳主体的外侧壁上还设有一个或多个连接凹槽，所述连接凹槽未接引脚，所述连接凹槽内均设有连接导体，所述连接导体与管壳主体内的接地线路连接。本实用新型改善了6引脚无凹槽偏置导体的接地分布，减少管壳寄生的影响，提高声表面波滤波器的阻带滤波器性能。
管壳主体连接凹槽本实用新型接地线路连接导体声表面波滤波器技术方案要点声表面波器件阻带滤波器导体外接引脚接地外侧壁管壳接引偏置引脚

[实用新型]一种声表面波谐振结构滤波器-CN201821960044.9有效
发明人： 肖功亚;许志斌;黄亮;茹伟;陈培杕;施旭霞 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H03H3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种声表面波谐振结构滤波器，在钽酸锂晶体或铌酸锂晶体的压电晶片表面进行隔离还原处理，在还原区上形成谐振器单元电极。利用还原的压电晶片表面消除压电晶体热释电效应对谐振器单元周期电极线条的破坏，同时，防止了晶片全表面还原处理造成的谐振器单元间电隔离的减弱。
谐振器单元声表面波谐振结构滤波器还原处理压电晶片本实用新型热释电效应钽酸锂晶体铌酸锂晶体压电晶体周期电极电极电隔离还原区全表面晶片还原线条隔离

[实用新型]一种谐振结构声表面波滤波器-CN201821960043.4有效
发明人： 肖功亚;王祥邦;黄亮;林毅;陈培杕;施旭霞 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种谐振结构声表面波滤波器，在钽酸锂晶体或铌酸锂晶体的压电晶片表面进行隔离还原处理，在还原区上形成谐振器单元电极。利用还原的压电晶片表面消除压电晶体热释电效应对谐振器单元周期电极线条的破坏，同时，防止了晶片全表面还原处理造成的谐振器单元间电隔离的减弱。
谐振器单元声表面波滤波器还原处理谐振结构压电晶片本实用新型热释电效应钽酸锂晶体铌酸锂晶体压电晶体周期电极电极电隔离还原区全表面晶片还原线条隔离

[发明专利]一种用于全球导航卫星系统的多模射频低噪声放大器模块-CN201910286989.X在审
发明人：胡建学;卢明达;夏前亮;朱卫俊;马杰;刘敬勇;邵赛艳;肖功亚 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： H03F1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于全球导航卫星系统的多模射频低噪声放大器模块，其技术方案要点是包括基板和设置在基板上的声表面波带通滤波器、无源匹配元件单元、低噪声放大器、以及薄膜层，所述的声表面波带通滤波器接收外部射频信号并依次通过无源匹配元件单元、低噪声放大器输出放大后的射频信号，所述的薄膜层包封整个放大器模块。本发明具有低功耗、高增益、低噪声系数的小型化特点。
低噪声放大器模块全球导航卫星系统低噪声放大器带通滤波器多模射频匹配元件声表面波薄膜层基板无源技术方案要点外部射频信号低噪声系数放大器模块射频信号输出放大低功耗高增益包封

[发明专利]一种声表面波谐振结构滤波器-CN201811422063.0在审
发明人：李勇;肖功亚;夏然;王文;陈培杕;施旭霞 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： H03H3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种声表面波谐振结构滤波器，在钽酸锂晶体或铌酸锂晶体的压电晶片表面进行隔离还原处理，在还原区上形成谐振器单元电极。利用还原的压电晶片表面消除压电晶体热释电效应对谐振器单元周期电极线条的破坏，同时，防止了晶片全表面还原处理造成的谐振器单元间电隔离的减弱。
谐振器单元声表面波谐振结构滤波器还原处理压电晶片热释电效应钽酸锂晶体铌酸锂晶体压电晶体周期电极电极电隔离还原区全表面晶片还原线条隔离

[实用新型]一种超高温环境用无源无线声表面波传感系统应答器-CN201720595644.9有效
发明人：崔坤;宋伟;肖功亚;施旭霞;林毅 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种超高温环境用无源无线声表面波传感系统应答器，由声表面波传感芯片和气密性封装件组成，声表面波传感芯片是采用通用微电子技术在一压电晶体基片上制作有叉指换能器、反射栅阵等传感用金属电极结构的无源芯片。将现今独立的应答器天线集成在声表面波传感芯片上。由于应答器天线集成在声表面波传感芯片上，被放置在气密性封装件内，因此，所用的气密性封装件必须尽量降低对射频传感信号的影响。本技术方案彻底解决了超高温环境下声表面波传感器制作的技术难点。这种超高温环境用无源无线声表面波传感系统应答器的工作环境温度，仅取决于封装件和传感芯片的耐高温能力，目前技术即可实现1000度以上超高温环境工作。
声表面波超高温环境传感芯片传感系统无源无线应答器气密性封装应答器天线封装件声表面波传感器金属电极结构压电晶体基片本实用新型叉指换能器耐高温能力微电子技术反射栅阵技术难点无源芯片传感密性制作通用

[发明专利]一种具有防碰撞功能的声表面波延迟线型无线传感器系统-CN201510536196.0有效
发明人：陈培杕;王祥邦;肖功亚;黄亮;朱卫俊 -专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2015-08-27 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： G01K11/22 文献下载
摘要：本发明提供一种具有防碰撞功能的声表面波延迟线型无线传感器系统。应答器传感芯片输入换能器采用编码叉指换能器(相关换能器)，其编码为属于同一相容码组的相容码，采用同一相容码编码芯片的应答器，称为同类应答器。应答器传感芯片上，至少有两个沿声道排列的同频输出叉指换能器。同类应答器芯片，第一个输出换能器与输入换能器的起始延迟距离，各芯片彼此不同；各输出换能器的间距一致；设计上述各距离时，应使在标称传感量测试范围内，同类应答器同时产生的电磁回波叠加后，所有回波峰都应能被阅读器分辨，获知其来源和传感信息。阅读器具有相容码的编码部件。本系统的防碰撞功能等于不同类应答器种类数目乘以时序容量。
一种具有碰撞功能表面波延迟线型无线传感器系统

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