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[发明专利]一种异质结电池非晶硅薄膜的镀膜设备和镀膜方法-CN202310627699.3在审
发明人：彭宜昌;陈臻阳;罗彩文;吴易龙 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种异质结电池非晶硅薄膜的镀膜设备和镀膜方法，该镀膜设备包括腔盖、腔体和载板，腔盖与腔体密封连接形成腔体主体，腔盖上设有下沉式喷淋阴极板，下沉式喷淋阴极板位于所述腔体的内部，与进入到所述腔体内的所述载板相对设置，腔体内部还设有用于防止所述载板向下变形的支撑件。镀膜方法是采用上述的镀膜设备在硅片表面进行镀膜。本发明镀膜设备，具有结构简单、易于操作、产能高、镀膜均匀性好、镀膜稳定性好等优点，是一种产能高、镀膜质量好、镀膜工艺稳定性好的新型镀膜设备，可广泛用于异质结电池中非晶硅薄膜的制备，使用价值高，应用前景好，对于提高异质结太阳能电池的性能并促进异质结太阳能电池的广泛使用具有重要意义。
一种异质结电池非晶硅薄膜镀膜设备方法

[发明专利]一种用于原子层沉积高保形度三维图形的反应室系统-CN202111435618.7在审
发明人：陈特超;郭观林;李斯;张单辉;罗彩文;张威;苏卫中 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于原子层沉积高保形度三维图形的反应室系统，包括反应室腔体和反应室腔盖，反应室腔盖中设有用于输送两种以上前驱气体且各种前驱气体喷出前互不串通的均压腔，反应室腔盖的底面设有分别与不同均压腔单独连通的至少两组喷淋孔，与不同均压腔连通的不同喷淋孔在反应室腔盖的底面上相间布置且呈圆周排列，反应室腔体内设有可旋转工件台，在使用时，与反应室腔盖的底面平行设置。本发明用于原子层沉积高保形度三维图形的反应室系统，具有前驱气体利用率高、操作方便、成本低廉、喷淋均匀性好、沉积过程易于控制、沉积效率高、沉膜均匀性好等优点，可制备得到高保形度三维图形，适合性强，便于工业化利用，使用价值高，应用前景好。
一种用于原子沉积高保形度三维图形反应系统

[实用新型]一种用于PECVD设备的硅片自定位镀膜载板-CN202123063687.8有效
发明人：陈臻阳;曾武扬;罗彩文;徐伟;张单辉 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于PECVD设备的硅片自定位镀膜载板，包括：载板本体，所述载板本体的内侧设有间隔筋，所述间隔筋的内侧设有硅片放置槽，所述间隔筋上均布有多个校正组件，多个所述校正组件均匀环绕在硅片放置槽四周，且校正组件的顶部呈圆弧状，所述校正组件用于辅助硅片在硅片放置槽内进行自动定位。本实用新型的硅片自定位镀膜载板具有结构紧凑、操作简单、自定位精度高且成本低廉等优点，极大地降低了自动化装载硅片设备的定位精度要求，同时也能避免了因载板运动过程中的抖动而导致硅片移出硅片放置槽范围。
一种用于 pecvd 设备硅片定位镀膜

[实用新型]一种ALD设备用分腔进气装置-CN202123325352.9有效
发明人： 罗彩文;陈特超;李斯;张单辉;郭观林 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种ALD设备用分腔进气装置，包括第一进气组件、第二进气组件及喷淋组件，所述喷淋组件内设有相互独立的第一腔室和第二腔室，所述第一进气组件与第一腔室连通，所述第一腔室设有用于向反应室喷气的第一喷淋管，所述第二进气组件与第二腔室连通，所述第二腔室设有用于向反应室喷气的第一喷淋孔。本实用新型具有分腔进气、不会堵塞喷淋通道、沉积效果好的优点。
一种 ald 备用分腔进气装置

[发明专利]一种加工平台及加工设备-CN202011455142.9有效
发明人： 罗彩文;王选超;尹鹏 -专利权人：中电鹏程智能装备有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B65G15/12 文献下载
摘要：本发明属于加工设备技术领域，公开了一种了加工平台及加工设备，所述加工平台包括底座、加工台、输送装置和驱动装置。所述加工台固定安装于所述底座。所述输送装置活动连接于所述底座，所述输送装置用于将物料输送至预设工位。所述驱动装置连接所述输送装置，所述驱动装置用于驱动所述输送装置相对所述加工台运动，以使得所述输送装置上的物料运至所述加工台。通过以上设置，避免了加工台在承载物料时出现定位误差，有利于后续加工工作的进行，保证了产品的加工精度。
一种加工平台设备

[实用新型]用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统-CN202123448547.2有效
发明人：张单辉;杨彬;李斯;罗彩文;陈臻阳 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器、机架、腔体、承托面板、升降机构和多个密封支撑机构，腔体设于机架的顶部，升降机构设于机架上，密封支撑机构包括升降立柱和压缩波纹管，各升降立柱下端与升降机构的驱动端连接，升降立柱上端伸入腔体内，承托面板设于升降立柱的上端，平板式加热器位于承托面板上，压缩波纹管套在升降立柱外，其上端与腔体连接、下端与升降立柱或升降机构的驱动端连接。本实用新型承托面板为多点支撑、受力均匀解决了大面积重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题以及采用压缩波纹管实现升降立柱与腔体的密封，解决了平板式加热器的升降位置的真空密封问题。
用于 cvd 设备大面积载荷平板加热器升降系统

[发明专利]一种高效太阳能电池用大产能炉管式ICP-CVD装置-CN202111678753.4在审
发明人：张威;陈特超;李建志;李斯;徐伟;罗彩文 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了高效太阳能电池用大产能炉管式ICP‑CVD装置，包括反应腔体、载板、电感线圈和加热炉管，多个载板在反应腔体内平行布置，两两之间相隔一定距离，载板两面均可装载工件；电感线圈套在反应腔体外部，与腔体同轴并与腔体之间有一定间隙；加热炉管套在电感线圈外，与电感线圈及反应腔体同轴。本发明电感线圈内通入高频电源，激发反应腔内气体形成等离子体。等离子体放电与载板形状、位置等因素无关，载板结构和布局不再受限制，可采用多个载板叠加，两个载板的间距可以做的很小。反应腔体及加热炉管可上下多层布局，向空中发展，使整个设备占地面积小，单位占地面积内的产能大；电感线圈位于反应腔体外不会出现电极引入处放电问题。
一种高效太阳能电池产能炉管 icp cvd 装置

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