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- [发明专利]一种监测腔体泄漏的方法-CN202310658216.6在审
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王林;童光辉;赵嘉;杜廷卫;王阔
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华虹半导体（无锡）有限公司
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2023-06-05
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2023-10-13
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G01M3/38
- 本申请公开了一种监测腔体泄漏的方法，涉及半导体制造领域。该方法包括：实时获取来源于刻蚀机台的设备腔体内的第一光谱信号和第二光谱信号，所述第一光谱信号用于监测第一元素，所述第一元素为存在于空气中的一种元素；所述第二光谱信号用于监测第二元素，所述第二元素为不存在于所述设备腔体中的一种元素；识别所述第一光谱信号的光强，作为第一光强；识别所述第二光谱信号的光强，作为参照光强；基于所述第一光强和参照光强的比值，判断所述设备腔体是否发生泄漏故障。通过对第一光谱信号和第二光谱信号的获取和识别，实现了能够实时监测设备腔体是否发生泄漏的效果。
- 一种监测泄漏方法
- [发明专利]用于刻蚀的视窗观察装置和刻蚀设备-CN202010563080.7有效
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王张柯;童光辉;杜廷卫
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华虹半导体（无锡）有限公司
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2020-06-19
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2022-07-05
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H01L21/67
- 本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种用于刻蚀的视窗观察装置和刻蚀设备。其中用于刻蚀的视窗观察装置包括观察探头，观察探头包括：外壁，外壁包括探测端；在外壁中开设有接线槽，接线槽的一端延伸至外壁的探测端，另一端向远离探测端的方向延伸；接线槽中设有内部连线，内部连线的一端连接管道摄像头，另一端连接蓝牙摄像主机；管道摄像头位于外壁的探测端，蓝牙摄像主机设于观察探头外。其中刻蚀设备包括反应腔，反应腔中设有载片台，载片台包括用于承载晶片的承载面；刻蚀喷嘴，刻蚀喷嘴设置在面向承载面的反应腔侧壁上，刻蚀喷嘴中形成光通路，光通路的一端连通反应腔，另一端密封有视窗；在视窗上设有用于刻蚀的视窗观察装置。
- 用于刻蚀视窗观察装置设备
- [外观设计]卷笔刀（814-816）-CN202230000719.0有效
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童光辉
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宁波蓓蕾模具模胚有限公司
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2022-01-04
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2022-05-24
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19-06
- 1.本外观设计产品的名称：卷笔刀（814‑816）。2.本外观设计产品的用途：用于刨削铅笔。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。5.设计1左视图与设计1右视图对称，省略设计1左视图;设计2左视图与设计2右视图对称，省略设计2左视图;设计3左视图与设计3右视图对称，省略设计3左视图。6.指定基本设计：本外观设计申请包含同一申请的3项相似设计，其中设计1为基本设计。
- 卷笔刀814816
- [发明专利]一种PEI复合材料的制备方法-CN201910915348.6有效
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童光辉;付绪兵
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宁波墨西科技有限公司
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2019-09-26
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2021-11-02
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C08G73/10
- 本发明公开了一种PEI复合材料的制备方法，其特点是包括以下步骤：将石墨烯和纳米碳化硅微粉混合后，加入表面活性剂经研磨得纳米碳材料复配体的步骤；将纳米碳材料复配体超声震荡分散在N,N‑二甲基甲酰胺中，然后加入对苯二胺和双酚A型二醚二酐进行高速搅拌，经原位聚合反应制得粘稠的预聚体聚酰胺酸，然后加入乙酸酐通过亚胺化作用得到PEI复合材料的步骤，各原料及其重量份数比如下：石墨烯0.5‑2.5份、纳米碳化硅0.5‑2.5份、表面活性剂3份、N,N‑二甲基甲酰胺100份、对苯二胺15.5‑17.5份、双酚A型二醚二酐73.5‑82.5份和乙酸酐100份，优点是具有耐磨性能好、轻量化、高强度和高抗冲。
- 一种pei复合材料制备方法
- [实用新型]一种带有保护推盖的卷笔刀-CN202021960632.X有效
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童光辉
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宁波蓓蕾模具模胚有限公司
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2020-09-09
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2021-05-18
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B43L23/08
- 本实用新型公开了一种带有保护推盖的卷笔刀，包括储屑盒、刀座架及装有刀片的刀片座，所述刀座架与储屑盒顶部扣合连接；所述刀片座与刀座架底面固定连接位于所述储屑盒内腔中，其特征在于：所述刀座架顶部设置扣合有上罩壳，在刀座架顶表面与上罩壳底表面之间设置有一可沿刀座架左右方向滑动的保护推盖，在保护推盖处于启始位置时，所述刀片座上设有的削笔孔被遮盖关闭，用手推动保护推盖向左滑动至终止位置时刀片座上设有的削笔孔被打开，放手后保护推盖自动回复启始位置。本实用新型的优点是：卷笔刀的保护推盖和上罩盖与刀座架连接一起不会丢失，使用时，只需单手操作就可以将卷笔刀的削笔孔打开插入铅笔进行削笔，使用方便安全。
- 一种带有保护卷笔刀
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