“程奥博”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路-CN201821668949.9有效
发明人：黄斌;程奥博 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，包括一积液瓶，所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔；一光阻瓶，所述光阻瓶内设置有光阻袋，所述光阻袋内装有光阻液；一光阻瓶阀门，设置于所述光阻瓶和积液瓶的连接管道上；一光阻补液泵；一光阻补液泵阀门，设置于所述光阻补液泵和积液瓶的连接管道上；一排气管，连接所述积液瓶；一微型瓶，设置于排气管管路上，并在侧面设置通孔连接两端的排气管；一微型瓶阀门。本实用新型在排气管路上设置增加一个带有液位感知的微型瓶来定期排出倒流到排气管路上的光阻从而防止排气管路堵塞，防止积液瓶的排气管路堵塞，倒流的光阻会聚集在微型瓶中不会导致排气管路堵塞。
光阻排气管路积液瓶光阻瓶补液泵本实用新型涂胶显影机补液系统连接管道排气管堵塞阀门管道连接孔侧面设置光阻液瓶阀门上表面排出排气通孔液位感知

[实用新型]一种监控光阻过滤器使用寿命的系统-CN201821675870.9有效
发明人：黄斌;程奥博 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。本实用新型的监控光阻过滤器使用寿命的系统在过滤器两端增加压力传感器来检测过滤器量测压差，在过滤器与光阻泵之间增加流量计来及时捕捉监控到光阻泵补液异常，光阻泵增加计数功能来更精确的监控过滤器过滤光阻量。
过滤器压力传感器光阻光阻瓶使用寿命监控光本实用新型管道连接流量计监控过滤器顶端设置管道进口计数功能光阻量通讯板补液量测压差过滤捕捉监控检测

[实用新型]涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置-CN201420142253.8有效
发明人：何虎;程奥博 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： B01D35/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机纯水过滤系统的管路排气装置，在纯水过滤系统的过滤器和流量计之间的管路设有一密闭水槽，水槽的进口连接过滤器侧的管路，水槽的出口连接流量计侧的管路，水槽进口的位置高度高于水槽出口的高度，在更换过滤器时，利用水槽进出口位置的高度差，避免了水槽与流量计之间管路中的纯水倒流，有效防止了空气的进入，并能快速有效地将自水槽与过滤器之间管路中进入的空气，通过水槽设置的排气口排出，具有明显缩短更换过滤器的时间，并且大为减少纯水消耗的有益效果。
涂胶显影纯水过滤系统管路排气装置

[实用新型]需真空设备与抽真空设备之间的联动装置-CN201220200395.6有效
发明人： 程奥博;赵开乾;林晓瑜;何虎 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： F04B49/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种需真空设备与抽真空设备之间的联动装置。根据本实用新型的需真空设备与抽真空设备之间的联动装置包括：无线信号发射器和无线信号接收器；其中，所述无线信号发射器连接至所述需真空设备，所述无线信号接收器连接至所述抽真空设备；并且，所述无线信号发射器从所述需真空设备接收指示信号，并根据所述指示信号向所述无线信号接收器发送无线信号；并且，所述无线信号接收器根据接收到的所述无线信号向所述抽真空设备发出控制信号。根据本实用新型，所加装的包括无线信号发射器和无线信号接收器的无线转接器可以使需真空设备与现行的抽真空设备顺利联动。
真空设备之间联动装置

[发明专利]旋转中心测定装置及方法-CN201210138205.7有效
发明人：林晓瑜;赵开乾;程奥博;何虎 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体自动化设备领域，尤其涉及一种旋转中心测定装置及方法，包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器，所述目标固定于所述主体上且二者同心，所述主体固定于旋转台上，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上，所述电源系统为所述角加速度传感器供电，所述角加速度传感器测得的一组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统，所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。
旋转中心测定装置方法

[发明专利]一种硅片切边方法及其装置-CN201210138192.3有效
发明人：赵开乾;程奥博;林晓瑜;何虎 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提出一种硅片切边方法，包括：由传输臂上的第一感应器确定硅片V型槽口（notch）的位置；将所述硅片放置于旋转平台上，开始旋转；伺服马达控制切边手臂经导轨移动至所述硅片边缘上方，开始切边；切边手臂上设置的距离第二感应器向控制器反馈切边手臂与硅片边缘的距离；控制器接收距离第二感应器反馈切边手臂与硅片边缘的距离，并对伺服马达发出控制信号；伺服马达控制切边手臂，使切边手臂与硅片边缘保持固定距离。
一种硅片切边方法及其装置