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[发明专利]电子电路异常检测装置-CN202180037820.6在审
发明人：菊地広;福本眞介 -专利权人：株式会社新川
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01R31/54 文献下载
摘要：电子电路异常检测装置(10)包括脉冲发生器(11)、定向耦合器(12)及检测单元(14)，且检测单元(14)包括：基准反射波数据库(25)，保存有基准反射波的波形信息，所述基准反射波的波形信息是将脉冲信号输入至与脉冲加热器(30)为相同配线图案且无异常的基准电子电路时，从定向耦合器(12)输入；以及运算部(21)，将向脉冲加热器(30)输入脉冲信号时从定向耦合器输入的反射波的波形信息、与保存于基准反射波数据库(25)的基准反射波的波形信息进行比较，由此检测脉冲加热器(30)的异常。
电子电路异常检测装置

[发明专利]安装头-CN202080053494.3在审
发明人： 福本眞介 -专利权人：株式会社新川
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：将芯片接合至接合对象的安装头(10)包括：安装工具(12)，底面作为抽吸保持所述芯片的吸附面(12a)发挥功能；加热器(14)，被配置于所述安装工具(12)的上表面，对所述安装工具(12)进行加热；冷却机构(35)，具有将制冷剂分别导向对所述加热器(14)设定的多个冷却区域(Ea)、(Eb)并且相互独立的多个冷却流路(28a)、(28b)，可相互独立地冷却所述多个冷却区域(Ea)、(Eb)；以及控制器(20)，控制所述加热器(14)及所述冷却机构(35)的驱动，所述控制器(20)在所述加热器(14)的加热时，相互独立地控制流向多个所述冷却流路(28a)、(28b)的所述制冷剂的流量，以获得所期望的温度分布。
安装

[发明专利]半导体晶粒的拾取装置以及拾取方法-CN201480076316.7有效
发明人：长野一昭;片山善文;豊田宏树;石塚武;福本眞介 -专利权人：株式会社新川
申请日： 2014-11-17 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体晶粒的拾取装置及拾取方法。拾取装置包括：平台(20)，包含吸附切割片材(12)的吸附面(22)；阶差面形成机构(300)，包含多个移动元件(30)，形成相对于吸附面(22)的阶差面，所述多个移动元件(30)配置在平台(20)的开口(23)内，且前端面在高于吸附面(22)的第1位置与低于第1位置的第2位置之间移动；以及开口压力切换机构(80)，在接近真空的第1压力P₁与接近大气压的第2压力P₂之间切换开口(23)的开口压力，且在拾取半导体晶粒(15)时，每当将开口压力自第1压力P₁切换为第2压力P₂时，使至少一个移动元件(30)自第1位置移动至第2位置。由此，抑制半导体晶粒的损伤的发生而有效地拾取半导体晶粒。
半导体晶粒拾取装置以及方法