专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体膜层的刻蚀终点检测方法-CN202310407462.4在审
  • 蒋志伟;祝建;余鹏;程益龙;朱胜 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2023-04-17 - 2023-08-29 - H01L21/66
  • 本发明提供一种半导体膜层的刻蚀终点检测方法,包括:在工艺腔室中对半导体膜层进行刻蚀;利用光发射谱检测法获取所述待检测离子的信号变化曲线;根据信号变化曲线,根据所述待检测离子的信号变化曲线,判断是否到达刻蚀终点;若到达刻蚀终点,则停止刻蚀。本申请通过判断在第一信号转折点之后,是否满足降幅要求、下降是否持续一定的时间以及在第二信号转折点之后,曲线斜率是否满足要求,以上述三点来依次、综合判断是否到达所述半导体膜层的刻蚀终点,避免了传统刻蚀终点检测方法中出现误判而造成刻蚀工艺提前终止的情况,解决了传统刻蚀终点检测方法中出现的杂质残留问题,提高了半导体器件的良率。
  • 半导体刻蚀终点检测方法
  • [发明专利]刻蚀腔的清洁方法-CN202310175438.2在审
  • 王瑞环;余鹏;祝建;陈垚;汪泽群;陆小豪 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2023-02-24 - 2023-06-23 - H01J37/32
  • 本发明提供一种刻蚀腔的清洁方法,提供刻蚀机台以及包括多个晶圆的晶圆组,选取出其中的N个晶圆,晶圆上均形成有金属互连结构,刻蚀机台中的刻蚀腔包括静电卡盘,静电卡盘上具有多个气孔;依次固定第一至第N‑1个晶圆至静电卡盘上进行刻蚀,在两晶圆刻蚀之间的时间段,在刻蚀腔通入第一清洁气体,利用第一清洁气体电离形成第一等离子体清洁刻蚀腔;移动第N个晶圆至静电卡盘上进行刻蚀,之后在刻蚀腔中通入第第一清洁气体,利用第一清洁气体电离形成第一等离子体清洁刻蚀腔。本发明去无晶圆自动干蚀刻清洁中对静电卡盘造成损伤的气体,增加覆盖晶圆的清洁方法,有效清洁刻蚀腔中蚀刻副产物的同时,起到保护静电卡盘的作用。
  • 刻蚀清洁方法
  • [发明专利]改善接触孔金属残留的刻蚀方法-CN202310172080.8在审
  • 王瑞环;余鹏;祝建;陈垚;汪泽群;陆小豪 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2023-02-24 - 2023-05-30 - H01L21/768
  • 本发明提供一种改善接触孔金属残留的刻蚀方法,提供衬底,衬底上形成有层间介质层,层间介质层上形成有第一金属层,在金属层及其下方的层间介质层上形成有接触孔,接触孔上形成有覆盖第一金属层的第二金属层;利用第一偏置功率、第一刻蚀气体刻蚀第二金属层;采用第二偏置功率、第二刻蚀气体刻蚀去除保留在第一金属层上的第二金属层,第二偏置功率低于第一偏置功率;采用第三偏置功率、第三刻蚀气体刻蚀接触孔中的部分第二金属层。本发明通过递进式3步法减小偏置功率刻蚀钨层,第一次刻蚀保证将TIN表面的大量的钨完全刻蚀;第二次刻蚀停在TIN表面,确保高的W/TIN选择比;第三次刻蚀保证将残留钨完全刻蚀,更高W/TIN选择比能够保证一定的TiN厚度。
  • 改善接触金属残留刻蚀方法
  • [发明专利]高速公路最短费用路径计算方法和装置-CN202110873502.5有效
  • 黄凯;张翔;管伟;徐鑫;谭梦迪;华龙宇;刘爱娣;祝建 - 北京速通科技有限公司
  • 2021-07-30 - 2023-04-07 - G06F17/16
  • 本发明公开了一种高速公路最短费用路径计算方法和装置,所述方法包括:利用迪杰斯特拉算法计算高速公路短费用路径二维矩阵,元素的值包括标识公路两节点间无路径的特殊标识值和标识两节点间的最短路径上目标节点前一节点的序号的正常标识值;将二维矩阵中值不为特殊标识值的元素数不超过第一阈值的行进行压缩,忽略掉行中值为特殊标识值的元素,针对每一被压缩行形成包括剩余元素的列值和对应元素值的二元组的二元组集合;基于每一列中重复的值对二维矩阵中的每一列压缩,形成三元组集合,三元组包括相同连续元素值的起始列值、终止列值和对应的元素值;基于获得的二元组集合和三元组集合,通过查找对应的矩阵元素,获得高速公路节点间最短费用路径。
  • 高速公路费用路径计算方法装置
  • [发明专利]一种改善除胶腔室内的微粒残留的方法-CN202211511707.X在审
  • 李勇;祝建;卢成博 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2022-11-29 - 2023-03-28 - B08B9/08
  • 本申请提供一种改善除胶腔室内的微粒残留的方法,包括:步骤S1,对腔室进行升温处理;步骤S2,用水蒸气软化腔室内的聚合物;步骤S3,对腔室施加高压,通入氮气和氧气,去除腔室侧壁上的聚合物;步骤S4,重复步骤S3,增强去除能力;步骤S5,对腔室施加低压,通入氮气和氧气,带走聚合物;步骤S6,重复步骤S5,增强去除能力;步骤S7,闭合控制腔室压力的阀门,对腔室施加高压,用氮气轰击阀门,击散阀门处的聚合物;步骤S8,开启控制腔室压力的阀门,对腔室施加低压,用氮气带走聚合物。通过步骤S4和步骤S6,可以增强对堆积在腔室侧壁上的聚合物的清理效果;通过步骤S7和步骤S8,可以有效去除堆积于阀门处的聚合物。
  • 一种改善室内微粒残留方法
  • [实用新型]一种组合型的腿部刺杀护具-CN202222155901.0有效
  • 祝建;王志文;王月 - 江苏军盾特种装备有限公司
  • 2022-08-16 - 2023-01-20 - A63B71/12
  • 本实用新型涉及腿部护具技术领域,具体为一种组合型的腿部刺杀护具,包括小腿护具,小腿护具上方设置大腿护具,大腿护具与小腿护具上均设置松紧带机构,大腿护具与小腿护具之间设置具有收放功能的膝盖护具;当运动员佩戴护具,腿部弯曲时,运动员的大腿将带动大腿护具翻转,大腿护具通过承接架,使销轴沿着外护膝罩两侧开设的通孔旋转,两组销轴将带动内护膝罩翻转,使内护膝罩从外护膝罩内翻转出来,同理腿部伸直时,内护膝罩将收回外护膝罩内,因此可翻转的内护膝罩,不仅对膝盖提供保护作用,同时不影响膝盖罩处的弯曲或伸直,运动员在运动过程中,腿部行动顺畅。
  • 一种组合腿部刺杀护具

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