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- [发明专利]十字轴接头-CN202180089761.7在审
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田口隆志
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株式会社捷太格特
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2021-11-25
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2023-09-01
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F16B39/02
- 十字轴接头(1)具备：十字轴(11)；轴承杯(12)；螺栓(14)，插入于在平面部(12a2)开口的贯通孔，将轴承杯(12)固定于轭部(13)；防旋销(32)，以与螺栓(14)不能相对旋转的方式嵌入于螺栓(14)的从平面部(12a2)突出的头部(14a)，并从螺栓(14)的头部(14a)突出；基板(36)，具有供防旋销(32)插入的基孔(36a)；及锁定板(34)，设置于头部(14a)与基板(36)之间，锁定板(34)具有：主体部(34a)，具有供防旋销(32)以不能相对旋转的方式插入的孔部(34a1)，并设置于螺栓(14)的头部(14a)与基板(36)之间；及折弯部(34b)，与主体部(34a)连结，沿着基板(36)的外侧面(36c)折弯。
- 十字接头
- [发明专利]基板处理装置-CN200710096850.6有效
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山田芳久;前田正史;田口隆志
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日本网目版制造株式会社
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2004-12-11
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2007-09-12
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H01L21/00
- 形成单一正向路径(第一基板输送路径)，用于在正向输送基板以将基板输送到曝光装置上。形成分开的基板输送路径(第二基板输送路径)，专用于后曝光烘烤(PEB)。沿着每条路径进行基板输送，而与沿着另一条的基板输送无关。将第四主输送机构插入输送点之间作为预定的基板输送机构，该输送点由用作临时存储模组的临时存储基板的缓冲器和对应预定处理单元的后曝光烘烤(PEB)单元组成。这种布置形成用于在缓冲器和PEB单元之间输送基板的路径，以使基板的PEB处理顺利进行。同样，顺利地将基板输送到缓冲器。
- 处理装置
- [发明专利]基板处理装置-CN200410103257.6有效
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山田芳久;前田正史;田口隆志
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日本网目版制造株式会社
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2004-12-11
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2005-08-17
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H01L21/02
- 形成单一正向路径(第一基板输送路径)，用于在正向输送基板以将基板输送到曝光装置上。形成分开的基板输送路径(第二基板输送路径)，专用于后曝光烘烤(PEB)。沿着每条路径进行基板输送，而与沿着另一条的基板输送无关。将第四主输送机构插入输送点之间作为预定的基板输送机构，该输送点由用作临时存储模组的临时存储基板的缓冲器和对应预定处理单元的后曝光烘烤(PEB)单元组成。这种布置形成用于在缓冲器和PEB单元之间输送基板的路径，以使基板的PEB处理顺利进行。同样，顺利地将基板输送到缓冲器。
- 处理装置
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