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[发明专利]基于MEMS的耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法-CN202211714828.4在审
发明人：李敏;张丹瑜;赵立波;姜凌奇;罗国希;王路;李支康;杨萍;王永录;王小章;方续东;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于MEMS的耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法，所述流速传感器芯片包括柔性衬底和布置在柔性衬底上的温度补偿电阻对、测温电阻对和加热电阻，所述柔性衬底背面开设有空腔。本发明在热电阻周围对称布置测温电阻对，通过公用中央的加热电阻的方式，实现热损失和热温差两种测温原理的结合，有效提高了传感器的测速范围，该MEMS热式流速传感器具有测量范围广，具备更广泛的应用领域。本发明所述的传感器芯片的制备方法，制作方法简单、可靠性高、易于批量化生产、成本低。
基于 mems 耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法

[发明专利]一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法-CN202211527622.0在审
发明人：李支康;李梓璇;赵立波;马琦;石璇;秦韶辉;罗国希;袁佳炜;杨萍;王小章;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法，PMUT自上而下包括圆形多层复合薄膜、绝缘层、上基底、键合层和下基底。多层复合薄膜包括上压电层、下压电层、上电极层、中电极层和下电极层多层复合薄膜上具有同心的环形凹槽，并覆盖整个空腔的区域。本发明在有效降低PMUT单元间串扰、减小薄膜应力的同时实现薄膜内压电驱动弯矩的大幅增加，进而实现超声发射和接收性能提升，以满足小管径流量检测应用对低功耗、高性能超声换能器的迫切需求。
一种具有隔离凹槽应力压电结构 pmut 及其工作制备方法

[发明专利]基于多梳齿阵列的MEMS电容式微力传感器及去耦合测试方法-CN202210028939.3有效
发明人：高文迪;刘存朗;赵立波;谭仁杰;刘晓明;韩香广;卢德江;杨萍;王小章;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：基于多梳齿阵列的MEMS电容式微力传感器及去耦合测试方法，传感器包括通过支撑梁固定在边框上的质量块，质量块、支撑梁悬空，质量块外侧布置运动限位结构；质量块前端设置有一个凸起的探针，质量块末端布置有动梳齿阵列组，与动梳齿阵列组配合构成差分梳齿电容阵列的定梳齿阵列组连接在边框上；质量块由x方向刚度高的支撑梁支撑，y方向为其工作敏感方向，动梳齿阵列组、定梳齿阵列组偏离质量块中心布置；去耦合测试时，将定梳齿阵列中具有相同间距/面积变化趋势的阵列进行电气连接，其与质量块上的动梳齿阵列接入到常规电容检测方法进行差分检测；同时驱动定梳齿阵列施加不同的交流电势调整传感器的检测量程；本发明用于亚nN‑μN量级微力的测量。
基于梳齿阵列 mems 电容式微传感器耦合测试方法

[发明专利]一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺-CN202111595513.8有效
发明人：赵立波;谭仁杰;韩香广;高文迪;李敏;陈瑶;董林玺;杨萍;王小章;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学;杭州电子科技大学
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01L5/165 文献下载
摘要：一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺，芯片包括由上向下设置的高阻硅器件层、低阻硅器件层和玻璃器件层，通过硅‑硅键合和硅‑玻键合形成一种三明治结构；高阻硅器件层包括第一中心刚体和载荷传递结构；低阻硅器件层包括第二中心刚体，第二中心刚体四周和电极形成梳齿电容，第二中心刚体一方面与第一中心刚体键合为一体，另一方面作为梳齿电容动极板的公共电极；玻璃器件层包括玻璃基底，以及玻璃基底上的平板电容极板、外部焊盘、内部焊盘、金属引线等金属层结构；制备工艺包括硅器件层的加工工艺、玻璃器件层的加工工艺、硅‑玻键合工艺和划片；本发明实现六轴力或力矩的解耦输出，具有量程大、灵敏度高、串扰误差小、微型化等优点。
一种 mems 电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺

[实用新型]一种可拆卸电池-CN202221130129.0有效
发明人：边建新;王小章 -专利权人：广东力科新能源有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01M50/289 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可拆卸电池，包括壳体、至少两个单体电池、至少一个固定支架、保护板、柔性电路板和充电板；每个固定支架可拆卸地设置在壳体内；至少两个单体电池中的每个单体电池并排且间隔设置，每相邻的两个单体电池通过一个固定支架并排固定，且每个单体电池与对应的固定支架之间为可拆卸连接；保护板与固定支架连接，且与每个单体电池的正负极端子连接；保护板上设置有放电端子；充电板与固定支架连接，且设置有充电接口；柔性电路板的一端与保护板连接，另一端与充电板连接。本实用新型公开的可拆卸电池，当出现单体电池损坏时，可单独更换损坏的单体电池，不仅减少了成本浪费，而且结构简单，安装拆卸方便。
一种可拆卸电池

[发明专利]一种高频响微差压传感器芯片结构与制备方法-CN202210870988.1在审
发明人：韩香广;高漪;赵立波;皇咪咪;樊姝;陈科;尚钰杰;吴豫席;杨萍;王永录;王小章;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种高频响微差压传感器芯片结构与制备方法，所述芯片结构包括承压膜片层、应力检测层与玻璃封装层，承压膜片层包括压力膜片和芯片固支端；应力检测层包括固定膜片、应力检测单元和锚点，压力膜片与固定膜片之间具有间隙，应力检测单元包括刚体模块、受压检测梁和受拉检测梁；锚点通过应力检测单元与固定膜片连接。本发明采用压力膜片与应力检测单元分离的结构，当传感器压力膜片底部受到压力载荷时，受压检测梁与受拉检测梁产生较大的应力集中，位于检测梁上的压敏电阻阻值发生较大变化，提升了传感器测量灵敏度。此外，该结构承压膜片与应力检测层分离，在保证测量灵敏度的同时，大大提升了固有频率。
一种高频响微差压传感器芯片结构制备方法

[发明专利]一种耐高压MEMS压力传感器封装结构和封装方法-CN202210822045.1在审
发明人：赵立波;樊姝;韩香广;皇咪咪;李支康;王李;高漪;尚钰杰;陈科;王小章;杨萍;王久洪;苏文斌;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐高压MEMS压力传感器封装结构和封装方法，采用玻璃浆料烧结将台阶式压力敏感单元与可伐合金基座进行密封连接，可伐合金基座与不锈钢基座进行焊接密封，外部压力通过不锈钢基座通孔直接作用在压力敏感芯片背部的敏感膜片上。通过本发明提出的台阶式封装结构和封装方法，使得玻璃浆料在压力载荷作用下承受压应力，进而使压力敏感芯片在承受背部载荷的能力大大提升，解决了传统背进气压力传感器中封装结构承受拉应力时存在耐压能力不足的问题。该封装结构和封装方法相比充油封装，具有体积小、成本低等优点，可适用于多种的压力介质甚至导电性介质。
一种高压 mems 压力传感器封装结构方法

[发明专利]一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法-CN202210901455.5在审
发明人：李支康;袁佳炜;赵立波;李梓璇;秦韶辉;石璇;马琦;罗国希;杨萍;王小章;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L41/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法，包括柔性基底和设置于柔性基底上的若干换能单元，各换能单元之间是相互独立的，具体是指各单元的结构层、柔性下电极、下压电层、柔性中间电极、上压电层和柔性上电极是相互独立的，各换能单元之间仅靠柔性材料连接，在器件弯曲、拉伸及扭转时，柔性材料被拉伸或压缩，产生较大形变，而各单元的压电层和结构层几乎不产生形变，不会导致上压电层、下压电层和结构层破断裂，从而在实现器件整体的高柔性和可拉伸性的同时保证各PMUTs单元性能不受影响。本发明的柔性PMUTs可采用全MEMS工艺进行制作，可在实现制作具有弯曲和扭转功能PMUTs的同时，保证器件的高灵敏度和单元密度。
一种具有弯曲扭转变形功能柔性 pmuts 及其制备方法

[发明专利]一种确定地下两根平行金属管线空间位置的方法-CN202010628466.1有效
发明人：赵明堂;刘康;熊建华;王小章;黄晓航;李志强;詹秉烨 -专利权人：中冶集团武汉勘察研究院有限公司
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G01V3/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种确定地下两根平行金属管线空间位置的方法。该方法具体是通过初步判断管线的位置，然后布置测点测出管线的水平磁场分量、垂直磁场分量及变化率，并与单根金属管线的理论曲线进行对比，并结合水平磁场分量的半极值弦长同弦长之间的关系判定地下金属管线是否为两根；然后再次实际测量水平磁场分量，并计算找出相邻两个测点的实测水平磁场分量之差的极大值，根据确定的极大值位置求得目标管线所产生异常的极大值最后利用和联合确定平行管线的深度和平面位置。本发明中的判断方法简单准确，解决了现有地下管线探测过程中无法确定地下两根平行金属管线的管深及平面位置关系。
一种确定地下平行金属管线空间位置方法

[实用新型]一种电池模组-CN202122672425.5有效
发明人： 王小章;边建新 -专利权人：广东力科新能源有限公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01M10/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电池模组，包括壳体和安装于所述壳体中的电芯组件，还包括与电芯组件电性连接的BMS保护板；所述BMS保护板与所述壳体固定连接，且所述BMS保护板和所述电芯组件之间具有预设的第一散热间距。本实施例中，电芯组件和BMS保护板之间具有预设的第一散热间距，电芯组件和BMS保护相互分隔，BMS保护板产生的热量无法直接传递给电芯组件，避免了电池因直接接触BMS保护板而局部升温严重的情况，提升了电池的使用寿命。
一种电池模组

[发明专利]基于倒装技术的压力传感器芯片、封装结构与制备方法-CN202111668359.2在审
发明人：韩香广;赵立波;王李;李支康;罗国希;皇咪咪;陈翠兰;樊姝;高漪;尚钰杰;陈科;王小章;杨萍;卢德江;王永录;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01L9/04 文献下载
摘要：本发明公开了基于倒装技术的压力传感器芯片、封装结构与制备方法，适用于爆炸冲击波压力场高动态测量。本发明压力传感器芯片包括压力敏感芯片与转接板，其中压力敏感芯片采用压阻式原理，设置有感受外界压力变化的岛膜结构，通过将应力敏感梁、敏感电阻与背腔布置在非承压面，保证压力敏感面为平面，同时传感器整体采用齐平式封装的结构，保证与压力介质接触面为平面，避免传统倒装压力芯片在风动压测量过程中，压力介质须绕射芯片背腔到达压力敏感面，从而造成传感器动态测量精度低、频率响应不足的问题。而转接板采用硅通孔或玻璃通孔的方式，实现电信号的无引线传输，避免了常规金丝引线引起的断裂与短路状况，提升传感器的工作可靠性。
基于倒装技术压力传感器芯片封装结构制备方法

[实用新型]一种窗帘电池-CN202122431154.4有效
发明人：谢清文;王小章 -专利权人：广东力科新能源有限公司
申请日： 2021-10-09 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01M50/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种窗帘电池，包括下壳和上壳，所述下壳和所述上壳围成一容置腔体，所述容置腔体内放置电芯，所述电芯和电池管理BMS板连接,所述电池管理BMS板和所述下壳卡扣连接，通过扣位将电池管理BMS板稳定地固定在下壳内，电池管理BMS板不需要人工锁螺丝固定，通过这种方式相对减少人工辅料成本，简化结构，操作方便，实用性强，结构牢固。
一种窗帘电池

[实用新型]一种用于基桩高应变检测的自由落锤捶击装置-CN202021716636.3有效
发明人：张国勇;易院平;闵秀明;王小章;黄晓航 -专利权人：中冶集团武汉勘察研究院有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： E02D33/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于基桩高应变检测的自由落锤捶击装置。所述落锤捶击装置包括支撑架、定位套、导向套和重锤，在支撑架的中部开设有用于套接基柱的通孔，所述导向套为内径大于或等于通孔外径的圆筒状结构，其下部设有弧形缺口，所述定位套是形状与弧形缺口相匹配的弧形定位套，固定在通孔的边缘，且定位套的圆心与通孔的中心重合；定位套通过卡接部件与导向套卡接形成一个完整的圆筒结构；所述重锤为直径小于或等于通孔的圆柱形锤体，在锤体顶部设有吊环，通过提升装置控制重锤在导向套内自由上下移动。本实用新型能有效的控制导向套的中心与基柱的轴心处相重合，有效的解决了重锤砸向基柱时发生偏移从而导致测量数据不准确的问题。
一种用于基桩高应变检测自由落锤捶击装置

[实用新型]一种灵活度高适应性强的隧道检测装置-CN202021263161.7有效
发明人：杨海波;李志强;王小章 -专利权人：中冶集团武汉勘察研究院有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种灵活度高适应性强的隧道检测装置。所述隧道检测装置包括底座和检测仪；所述底座包括相互嵌设的内外箱体，外箱体底部敞开，内箱体通过电动升降杆与外箱体连接，在内箱体底部四角分别设有螺杆调节装置，在外箱体顶部设有旋转凹槽，在旋转调节凹槽内设有调节杆；所述检测仪通过旋转轴套设在调节杆上，并与调节杆之间通过第一轴承转动连接，旋转轴的上部通过转动连接杆与检测仪底部转动连接，并在旋转轴上设有用于锁定连接横杆的锁定螺杆。本实用新型中的检测仪实现了在水平面、竖直面上进行旋转调节，并能进行高度调节，同时还可以在不平整的隧道底部进行使用。
一种灵活适应性隧道检测装置

[实用新型]一种桩基检测仪便携箱-CN202020386749.5有效
发明人：易院平;黄晓航;张国勇;王小章;杨麟峰 -专利权人：易院平
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： E02D33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种桩基检测仪便携箱，包括外壳、把手、减震支撑装置、检测仪放置仓、降尘仓、储水仓和降尘装置，所述把手设于外壳侧面上，所述减震支撑装置设于外壳下，所述检测仪放置仓设于外壳内壁底面上，所述储水仓设于检测仪放置仓上，所述降尘仓设于储水仓上，所述降尘装置设于降尘仓内。本实用新型属于便携箱技术领域，具体是指一种利用转动喷水降尘块，向四周喷水，降低空气中尘土含量，保护检测人员健康的桩基检测仪便携箱。
一种桩基检测便携

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