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[发明专利]一种矩形感性耦合等离子体的三维流体模拟方法及系统-CN202310876696.3在审
发明人：赵明亮;张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2023-07-17 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开一种矩形感性耦合等离子体的三维流体模拟方法及系统，涉及三维流体模拟领域；所述方法包括：采用三维直角坐标系构建矩形感性耦合等离子体的三维流体模型；将三维流体模型中的模拟区域划分为正交网格，得到多个网格；设定放电参数；基于放电参数对三维流体模型进行三维流体模拟，得到放电参数下的不同网格的均匀性参数；根据放电参数下的不同网格的均匀性参数，确定放电参数下的三维流体模型的等离子体的均匀性模拟结果。本发明提出的模拟方法可以自洽地模拟大面积矩形感性耦合等离子体源的各种关键参数，且本发明是三维的流体模拟方法，因此可以考虑很多实际工艺上存在的三维效应。
一种矩形感性耦合等离子体三维流体模拟方法系统

[发明专利]一种在射频磁化容性耦合放电装置中增强放电的方法-CN202111104982.5有效
发明人：张权治;孙景毓;郭宇晴;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种在射频磁化容性耦合放电装置中增强放电的方法，涉及半导体芯片刻蚀技术领域，包括：构建射频磁化容性耦合放电装置；调节所述射频磁化容性耦合放电装置的磁感应强度，使所述磁感应强度满足关系式B＝(π·me)/e·frf；式中，B表示所述射频磁化容性耦合放电装置的磁感应强度，π表示圆周率，me表示电子质量，e表示元电荷，frf表示射频频率。本发明能够极大增强功率耦合效率，大幅度提高等离子体密度。
一种射频磁化耦合放电装置增强方法

[发明专利]一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质-CN202211156968.4在审
发明人：李京泽;张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G06F30/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质，涉及容性耦合等离子体源模拟技术领域，所述方法包括：将目标区域划分为多个彼此相接的正交网格；确定待模拟容性耦合等离子体源的当前时刻的电子的流动状态参数和重粒子的流动状态参数并确定当前时刻的电子流体方程组、重粒子流体方程组和当前时刻的离散形式静电场方程；从而确定当前时刻的电势和电场强度以及下一时刻的电子的流动状态参数和重粒子的流动状态参数，满足预设终止条件时，将第二设定时间段内的流动状态参数、电势和电场强度确定为待模拟容性耦合等离子体源的模拟结果。本发明提高了容性耦合等离子体源的模拟效率。
一种等离子体模拟方法系统电子设备存储介质

[发明专利]一种偏压感应耦合等离子体源优化方法、系统及电子设备-CN202211188157.2在审
发明人：赵明亮;张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种偏压感应耦合等离子体源优化方法、系统及电子设备，涉及偏压感应耦合等离子体技术领域，包括：确定偏压感应耦合等离子体源的电场和感应沉积功率密度，进而得到体区流体参数和每个鞘层的鞘层参数；确定并将鞘层对体区的随机加热通量，作为下一次迭代时体区二维流体模型中体区电子能量方程的边界条件，确定偏压感应耦合等离子体源的电场，直至体区流体参数和鞘层参数均收敛，得到时空变化电场；进而确定离子蒙特卡洛碰撞模型，得到极板不同位置处的离子能量分布和离子角度分布。能够同时且快速地确定出偏压感应耦合等离子体源中的离子能量分布和离子角度分布，进而提高优化偏压感应耦合等离子体源放电特性的效率。
一种偏压感应耦合等离子体优化方法系统电子设备

[发明专利]一种边缘等离子体分布调节装置-CN202111186541.4有效
发明人：张权治;马方方;赵凯;孙景毓;刘永新;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种边缘等离子体分布调节装置，包括：射频源、卡盘、晶圆电极、接地电极、第三电极和调节电源；所述射频源加载在所述晶圆电极上；所述射频源用于在所述接地电极和所述晶圆电极之间产生射频交变电场以产生等离子体；所述接地电极接地；所述晶圆电极的边缘设置所述卡盘；所述第三电极设置在所述卡盘上；所述调节电源与所述第三电极连接；所述调节电源用于调制所述卡盘处的电位以改变所述晶圆电极边缘处的电势和电场分布。本发明通过调节等离子体的密度分布提高晶圆工艺的均匀性。
一种边缘等离子体分布调节装置

[实用新型]一种建筑工程用高低差物料提升装置-CN202221751388.5有效
发明人：袁帅;武剑;王友年;魏文圣;张玮昕 -专利权人：中国建筑第二工程局有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B66C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种建筑工程用高低差物料提升装置，包括提升导向架，提升导向架的底端安装有安装座，提升导向架的上部安装有安装板，滑轮拉线机构的驱动机构固定在安装板上，滑轮拉线机构的驱动机构包括第一伺服电机和齿轮绕线盘，其中第一伺服电机位于安装板的上端，第一伺服电机的传动端安装有齿轮绕线盘，齿轮绕线盘与滑轮钢绳的一端固定连接，安装板的一侧还设置有与齿轮绕线盘活动卡接的定位卡扣机构，滑轮拉线机构的下部与载物机构连接；该建筑工程用高低差物料提升装置，启用滑轮拉线机构既省力又可改变力的方向，可以实现快速提升物料的效果，启用定位卡扣机构可以控制载物机构提升的高度位置，使得本装置适应不同的工作场景。
一种建筑工程高低物料提升装置

[发明专利]感性耦合等离子体源放电模式转换的快速模拟方法及系统-CN202210746739.1在审
发明人：张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种感性耦合等离子体源放电模式转换的快速模拟方法及系统，包括：对等离子体源放电过程中的各物理量赋初值，根据气体泵入和泵出、表面反应和体区反应引起的粒子数变化，计算各粒子密度；基于能量守恒方程，根据感性吸收功率初始值和容性吸收功率初始值计算当前电子温度；基于麦克斯韦方程组确定等离子体源在感性模式和容性模式下的电磁场分布；根据电磁场分布计算当前感性吸收功率和当前容性吸收功率；迭代计算各物理量直至与上一次迭代计算的各物理量差值小于设定阈值停止迭代，输出各个物理量的值；各个物理量的值用于表征感性耦合等离子体源的放电模式转换过程。能够精确地模拟放电模式转换过程中的等离子体特性，提高计算效率。
感性耦合等离子体放电模式转换快速模拟方法系统

[发明专利]一种等离子体产生装置-CN202111457907.7在审
发明人：孙景毓;张权治;温慧;刘永新;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体产生装置，涉及等离子体技术领域，包括第一栅极、第二栅极、磁场产生部件；第一栅极与第二栅极平行设置，且第一栅极与第二栅极之间间隔第一距离；第一距离为德拜长度量级的距离；第一栅极与电源组件连接；磁场产生部件用于产生平行于第一栅极的磁场；工作时，电源组件向第一栅极施加射频电压，使得第一栅极与第二栅极之间产生第一交变电场，在第一交变电场内的电子经过共振加速后进入到磁场，进而在磁场中回旋返回至第一交变电场继续进行共振加速，以产生等离子体；第一交变电场的周期与磁场的周期相同。本发明在低气压下放电效率高，且能够产生径向均匀性良好的等离子体。
一种等离子体产生装置

[实用新型]一种便携式紫外灯-CN202120237948.4有效
发明人：朱雪雯;曹喻;廖伟伟;向虹运;甘雪;王友年;郎昱南;王浩阳 -专利权人：朱雪雯
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： A61L2/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及杀菌灯技术领域，具体为一种便携式紫外灯，包括多个灯带和两个连接头；灯带上设置有发光组件；发光组件包括外灯管和灯丝；灯丝插入外灯管中；灯带上设置有连接件；连接件包括安装槽和安装块；安装槽位于灯带的一侧，安装块位于灯带的另一侧；且安装槽和安装块均设置多个，安装槽与安装块对应设置；安装槽和安装块上均设置有蓄电池和导电片；第一连杆安装在第一套筒上，第一连杆与第一套筒活动连接；第一连杆的顶部设置有第一接触板；第二连杆安装在第二套筒上，第二连杆与第二套筒活动连接；第二连杆的底部设置有第二接触板；本实用新型方便携带，组合方便，不仅能对大区域进行消毒，也可对小区域进行消毒，更加实用。
一种便携式紫外

[发明专利]一种负氢离子源系统-CN202110725106.8在审
发明人：高飞;王英杰;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种负氢离子源系统。该系统包括：等离子体产生装置和负氢离子引出装置；等离子体产生装置的等离子体出射口处设置负氢离子引出装置；负氢离子引出装置包括外壳、过滤磁场产生装置和扩散区；外壳内设置扩散区；外壳包括金属侧壁和金属顶面；金属顶面为静磁屏蔽面；金属顶面开设有等离子体通道；等离子体产生装置产生的等离子体从等离子体通道进入扩散区的顶部，并从扩散区的底部引出负氢离子；过滤磁场产生装置设置在金属侧壁的外部且位于扩散区的底部。本发明能够在冷却扩散区的电子的同时，避免等离子体产生装置内放电源区等离子体密度的降低。
一种氢离子系统

[发明专利]一种用于预估负氢离子密度的模拟方法-CN202110454195.7在审
发明人：张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明属于核聚变技术领域，提供了一种用于预估负氢离子密度的模拟方法。本发明提出的模拟方法，将14个氢分子的振动激发态H2(v＝1～14)进行分组，即将几个相邻的激发态看作一个粒子。这样处理，不仅可以减少模型中包含的粒子数量(即粒子数守恒方程的数量)，还可以忽略组内粒子之间的反应(即模型中包含的化学反应数量也显著下降)。采用分组模型计算得到的负氢离子密度，与原始模型的差异始终低于6％，尤其是当气压较高时，二者的差异低于1％。此外，对于其他正离子密度、H原子密度及电子温度来说，相对差异也保持在较低水平，这充分说明了本发明提供的模拟方法具有较高的精度。
一种用于预估氢离子密度模拟方法

[发明专利]一种等离子体放电过程模拟方法及系统-CN202010787014.8有效
发明人：张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体放电过程模拟方法及系统，涉及等离子体源技术领域。该方法包括：在主等离子体区中，利用双极扩散近似和漂移扩散近似计算双极电场；利用双极电场和电子能量方程计算当前射频周期的电子温度；在鞘层区中，利用电子温度、连续性方程和动量方程确定正离子的密度和速度；利用泊松方程和电流平衡方程确定瞬时电场；若相邻两个射频周期的同种带电粒子密度之间的差值小于密度预设阈值，则利用鞘层区的正离子密度、正离子速度和瞬时电场采用离子蒙特卡洛方法确定离子能量分布和角度分布。本发明将主等离子体区和鞘层区分块处理，在主等离子体区采用双极扩散近似避免求解泊松方程，加快了模拟方法的运行效率，提高了模拟速度。
一种等离子体放电过程模拟方法系统

[实用新型]一种提高等离子体均匀性的电源系统-CN202022925424.2有效
发明人：赵凯;苏子轩;刘永新;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种提高等离子体均匀性的电源系统，电源系统包括：信号发生装置、第一电极和第二电极；信号发生装置包括：信号发生器和多路信号处理电路；信号发生器分别与多路信号处理电路连接，信号发生器用于产生多路不同频率的初始信号；信号处理电路用于对对应频率的初始信号进行处理；多路信号处理电路均与第一电极连接；经信号处理电路处理后的初始信号通过第一电极作用于等离子体。本实用新型能够对低频电源和高频电源中的信号进行有效的处理，提高了等离子体放电的稳定性，降低了高频电源和低频电源存在的耦合作用的影响，在提高等离子体均匀性的前提下，可以实现离子通量和离子能量的独立控制。
一种提高等离子体均匀电源系统

[发明专利]一种测量等离子体阻抗和功率的方法及装置-CN202110225487.3在审
发明人：刘永新;赵凯;张权治;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种测量等离子体阻抗和功率的方法及装置。该方法包括以下步骤：获取电压波形和电流波形；根据所述电压波形获取电压振幅和电压相位；根据所述电流波形获取电流振幅和电流相位；根据所述电压相位和所述电流相位进行相位差校准，得到V‑I相位差；根据所述电压波形、所述电流波形、所述电压振幅、所述电流振幅和所述V‑I相位差计算等离子体的阻抗和功率。本发明针对现有技术存在的问题，对脉冲射频电源进行脉冲调制，通过延长脉冲“关闭”时间，对V‑I相位差进行校准，进而得到射频功率和等离子体阻抗随时间的演化过程；当等离子体稳定后，即可得到稳态(连续波驱动)的等离子体对功率的吸收。
一种测量等离子体阻抗功率方法装置

[发明专利]一种容性耦合等离子体放电装置-CN201910121096.X有效
发明人：刘永新;王祥宇;苏子轩;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-02-19 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种容性耦合等离子体放电装置。该等离子体放电装置包括：真空腔室、位于真空腔室内的上平板电极和下平板电极以及位于上平板电极与下平板电极之间的层层堆叠的绝缘环；每个绝缘环均与相邻的绝缘环之间存在间隙；层层堆叠的绝缘环中最上方的绝缘环与上平板电极的下表面接触，最下方的绝缘环与下平板电极的上表面接触；上平板电极连接有第一放电驱动杆，第一放电驱动杆延伸至真空腔室外；下平板电极连接有第二放电驱动杆，第二放电驱动杆延伸至真空腔室外。采用本发明的等离子体放电装置能够在实验过程中保证等离子体的轴对称性。
一种耦合等离子体放电装置

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