专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种Co/氧化物介质混合键合方法-CN202211730055.9在审
  • 王晨曦;戚晓芸;马岩;牛帆帆;田艳红 - 哈尔滨工业大学
  • 2022-12-30 - 2023-05-05 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种Co/氧化物介质混合键合方法,该方法包括:将含有Co电极和氧化物介质的样品进行多元等离子活化处理,得到待键合样品,其中,所述多元等离子活化处理使用的等离子气体包括至少三种气体;将所述待键合样品对准贴合后进行热压键合,得到Co/氧化物介质混合键合样品。本发明提供的Co/氧化物介质混合键合方法,能够同时实现Co‑Co、氧化物介质‑氧化物介质及Co‑氧化物介质的无凸点混合键合,避免含有机酸的湿法清洗环节及界面有机物的残留,提升界面的可靠性,可实现微小节距下混合键合,为低延迟、低功耗、高带宽、高密度三维集成提供了技术支持。
  • 一种co氧化物介质混合方法

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