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[发明专利]转换式物理气相沉积粒子源-CN201810161176.3有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种转换式物理气相沉积粒子源，其可在真空腔室内工艺过程中实现不同功能的粒子源的直接转换，其包括多组粒子源、水冷组件、电极组件、挡板组件、固定组件及转动密封组件，多组粒子源装配在水冷组件的水冷座上，在某组粒子源使用时，挡板组件可遮挡粒子进入装置内部，水冷组件、转动密封组件、外接电极及挡板组件固定在固定组件上，多组粒子源包括磁控溅射组件、多弧离子镀组件、潘宁离子源组件、放电电极及其他物理气相沉积中的粒子源，外接电机通过转动密封组件动力传输作用在装置上，可实现多组粒子源在工艺过程中实现互换，可高效的沉积工艺涂层，对多组分涂层沉积效果尤为明显。本发明可在工艺过程中，通过电机的传动实现多组工艺组件的更换，从而在物理气相沉积过程中制备多组分、多工艺条件的涂层。
转换物理沉积粒子

[实用新型]一种多弧双开门的高产能镀膜机-CN202221932497.7有效
发明人：赵中红;张晓东 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多弧双开门的高产能镀膜机，属于镀膜技术领域，本实用新型中镀膜筒身铰接两个镀膜筒盖，在每个镀膜筒盖内均设置有转架以及驱动转架旋转的驱动组件，在一个镀膜筒盖与镀膜筒身合闭进行镀膜时，可对另一个镀膜筒盖内的转架进行上料，节约取挂工件的时间，提高产能，还能两边使用不同的靶材，一台镀膜机不换靶洗靶能同时生产两种产品，同时驱动转架与驱动组件配合安装在镀膜筒盖内，避免出现镀膜筒盖合闭过程中驱动组件与转架产生联动偏差，导致驱动组件无法驱动转架旋转，而且在镀膜筒身与镀膜筒盖上均设置观察孔，可对镀膜机内镀膜状况进行实时把控。
一种双开产能镀膜

[实用新型]一种可磁控镀保护膜的镀膜机-CN202221928989.9有效
发明人：赵中红;张晓东 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可磁控镀保护膜的镀膜机，属于镀膜技术领域，其包括内部设置有镀膜腔体的镀膜筒身与设置在镀膜筒身侧壁上的若干弧源组件，所述镀膜腔体内设置有靶材组件和设置在靶材组件外环周的转盘架，所述转盘架外环周设置有至少一组镀保护膜组件，所述镀保护膜组件包括蒸发电极杆与安装在蒸发电极杆上的若干蒸发铜块，所述蒸发铜块上固定有保护膜靶材。本实用新型通过在镀膜腔体内设置镀保护膜组件，能够在工件正常镀膜后直接进行镀保护膜，中间无需将工件取出与转移，一机多用，实用性强，极大提升了加工效率。
一种可磁控镀保护膜镀膜

[实用新型]一种具有导轨式双固定转架的镀膜机-CN202221934288.6有效
发明人：赵中红;张晓东 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有导轨式双固定转架的镀膜机，属于镀膜技术领域，其包括内部设置有镀膜腔体的镀膜筒身、若干弧源组件以及设置在镀膜筒身前的地轨，所述地轨上设置有转架推车，所述转架推车上设置有第一滑轨，所述第一滑轨内设置有可滑移的转架滑座，所述转架滑座上设置有第一转架滑轨，所述镀膜腔体的底部设置有与第一转架滑轨适配的第二转架滑轨，在所述第一转架滑轨与第二转架滑轨上设置有可滑动的转架，所述镀膜筒身的底板安装有与所述转架联动的驱动组件和用于在转架位于镀膜腔体内后可限制其在第二转架滑轨上移动的限位组件；本实用新型可节省取挂工件的时间，避免镀膜腔体内因长时间开门导致降温，提高生产效率。
一种具有导轨固定镀膜

[实用新型]一种自动UV涂装流水线-CN202121489177.4有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： B05B16/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种自动UV涂装流水线，包括形成环线的输送带、沿输送带输送方向依次分布的工件上料区、除尘室、一次UV喷涂室、一次红外流平区、二次UV喷涂室、二次红外流平区、UV固化室、冷却风室、工件下料区，所述工件下料区与工件上料区相邻。本实用新型提供的流水线采用UV喷涂后进行红外流平烘干然后再次UV喷涂以及再次红外流平烘干，再经UV固化，可在零件表面形成均匀致密的UV涂层，呈环线分布的输送带空间分布紧凑，有利于节约空间。
一种自动 uv 流水线

[实用新型]镀膜机的多功能镀膜筒体-CN202021024806.1有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机的多功能镀膜筒体，包括内部带有加工腔的镀膜筒身以及铰接于镀膜筒身的镀膜筒盖，所述镀膜筒身上设有连通外界与加工腔的第一安装孔，所述第一安装孔内密封安装有位于加工腔内部的圆柱靶，所述镀膜筒身上设有连通外界与加工腔的第二安装孔，所述第二安装孔内密封安装有弧源装置。本实用新型具有以下优点和效果：本实用新型一机多用，从而降低工厂的设备投入成本。
镀膜多功能

[实用新型]镀膜机的观察组件-CN202021024880.3有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机的观察组件，包括内部带有加工腔的镀膜筒身以及铰接于镀膜筒身的镀膜筒盖，所述镀膜筒盖上设有连通外界与加工腔的观察孔，所述镀膜筒盖上设有密封盖设于观察孔的透明观察板，所述镀膜筒盖上设有用于固定透明观察板的固定构件，所述固定构件与镀膜筒盖之间可拆卸固定连接。本实用新型具有以下优点和效果：本实用新型可以观察到镀膜筒体内工件的加工情况，从而保证工件的加工质量。
镀膜观察组件

[实用新型]镀膜机蒸发室的开关控制装置-CN202021025397.7有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机蒸发室的开关控制装置，包括镀膜筒体、铰接于镀膜筒体的镀膜筒盖、设置于镀膜筒盖内的蒸发电极杆以及设置于蒸发电极杆的若干哈弗铜片，所述镀膜筒体与镀膜筒盖之间设有用于控制蒸发电极杆通断电的开关控制组件，当所述镀膜筒盖盖合镀膜筒体开口时，所述开关控制组件处于导通状态，当所述镀膜筒盖脱离镀膜筒体开口时，所述开关控制组件处于断开状态。本实用新型具有以下优点和效果：本实用新型具有更高的安全等级，从而避免了存在的安全隐患。
镀膜蒸发开关控制装置

[实用新型]镀膜机的高效驱动装置-CN202021025406.2有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机的高效驱动装置，包括工件转架、镀膜筒体以及铰接于镀膜筒体的第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖，工件转架包括转动设置于第一镀膜筒盖内的第一工件转架以及转动设置于第二镀膜筒盖内的第二工件转架，镀膜筒体上设有驱动组件，第一工件转架上设有配合驱动组件的第一联动件，当第一镀膜筒盖盖合镀膜筒体时，第一联动件与驱动组件构成联动，第二工件转架上设有配合驱动组件的第二联动件，当第二镀膜筒盖盖合镀膜筒体时，第二联动件与驱动组件构成联动。本实用新型具有以下优点和效果：本实用新型通过一个驱动组件能分别实现对不同工件转架的驱动，从而降低设备的能耗与体积并减少了企业的生产成本。
镀膜高效驱动装置

[实用新型]镀膜机的工件转架-CN202021026071.6有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机的工件转架，包括底座、转动设置于底座上方的下转盘以及设置于下转盘上方的上转盘，所述上转盘与下转盘之间连接有多根支撑杆，所述上转盘与下转盘之间设有多根挂杆，每根所述挂杆均与上转盘可拆卸固定连接，每个所述挂杆均与下转盘可拆卸固定连接。本实用新型具有以下优点和效果：本实用新型能减少工件的悬挂与取放时间，从而提升镀膜机的加工效率。
镀膜工件

[实用新型]具有多种功能的镀膜机-CN202021025061.0有效
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有多种功能的镀膜机，包括内部带有加工腔的镀膜筒身以及铰接于镀膜筒身的镀膜筒盖，所述镀膜筒身上设有连通外界与加工腔的第一安装孔，所述第一安装孔内密封安装有位于加工腔内部的圆柱靶，所述镀膜筒身上设有连通外界与加工腔的第二安装孔，所述第二安装孔内密封安装有弧源装置，所述镀膜筒盖上设有连通外界与加工腔的观察孔，所述镀膜筒盖上设有密封盖设于观察孔的透明观察板，所述镀膜筒盖上设有用于固定透明观察板的固定构件，所述固定构件与镀膜筒盖之间可拆卸固定连接。本实用新型具有以下优点和效果：本实用新型能实现一机多用，且能达到更好的加工质量。
具有多种功能镀膜

[发明专利]高效镀膜机-CN202010504324.4在审
发明人：赵中红 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效镀膜机，包括工件转架、镀膜筒体、第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖，工件转架包括设置于第一镀膜筒盖内的第一工件转架与设置于第二镀膜筒盖内的第二工件转架，镀膜筒体上设有驱动组件，第一工件转架上设有配合驱动组件的第一联动件，当第一镀膜筒盖盖合镀膜筒体时，第一联动件与驱动组件构成联动，第二工件转架上设有配合驱动组件的第二联动件，当第二镀膜筒盖盖合镀膜筒体时，第二联动件与驱动组件构成联动；第一工件转架包括底座、下转盘以及上转盘，上转盘与下转盘之间连接有多根支撑杆与多根挂杆，每根挂杆均与上转盘和下转盘可拆卸固定连接。本发明具有以下优点和效果：加工效率高、使用更加安全以及加工质量更高等优点。
高效镀膜

[实用新型]转换式物理气相沉积粒子源-CN201820273647.5有效
发明人：赵中红;刘伟;胡晓忠 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种转换式物理气相沉积粒子源，其可在真空腔室内工艺过程中实现不同功能的粒子源的直接转换，其包括多组粒子源、水冷组件、电极组件、挡板组件、固定组件及转动密封组件，多组粒子源装配在水冷组件的水冷座上，在某组粒子源使用时，挡板组件可遮挡粒子进入装置内部，水冷组件、转动密封组件、外接电极及挡板组件固定在固定组件上，多组粒子源包括磁控溅射组件、多弧离子镀组件、潘宁离子源组件、放电电极及其他物理气相沉积中的粒子源，外接电机通过转动密封组件动力传输作用在装置上，可实现多组粒子源在工艺过程中实现互换，可高效的沉积工艺涂层，对多组分涂层沉积效果尤为明显。本实用新型可在工艺过程中，通过电机的传动实现多组工艺组件的更换，从而在物理气相沉积过程中制备多组分、多工艺条件的涂层。
粒子源物理气相沉积挡板组件水冷组件转动密封本实用新型工艺过程固定组件转换式沉积电机动力传输作用多弧离子镀多组分涂层潘宁离子源磁控溅射电极组件放电电极工艺条件工艺组件进入装置室内工艺外接电极直接转换水冷座真空腔传动外接遮挡制备互换粒子装配

[实用新型]一种高效辉光放电清洗的真空镀膜机-CN201820273996.7有效
发明人：赵中红;刘伟;胡晓忠 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高效辉光放电清洗的真空镀膜机，包括壳体，壳体内设置有真空腔，壳体内设置有辉光放电清洗机构，辉光放电清洗机构包括阴极放电棒以及电极座，阴极放电棒沿轴向的一端固定连接于电极座，另一端延伸至真空腔内，阴极放电棒贯穿开设有分隔槽，阴极放电棒由分隔槽分为第一棒体及第二棒体，第一棒体设置有第一电离面，第二棒体设置有第二电离面，第一电离面与第二电离面平行设置。采用上述方案，提供一种在阴极放电棒上设置分隔槽，从而形成相向第一电离面及第二电离面，使得第一电离面及第二电离面相互作用而使辉光效率增强，从而增强刻蚀效率的一种高效辉光放电清洗的真空镀膜机。
电离阴极辉光放电清洗放电棒棒体真空镀膜机分隔槽电极座真空腔体内本实用新型刻蚀效率平行设置效率增强辉光壳体相向轴向贯穿延伸

[实用新型]一种镀膜机的四开门真空室-CN201820277558.8有效
发明人：赵中红;刘伟;胡晓忠 -专利权人： 温州驰诚真空机械有限公司
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机的四开门真空室，包括真空室本体，所述真空室本体内设置有第一容纳腔，所述第一容纳腔设有一对对应的开口，各所述开口的左、右两侧均铰接设置有与该开口相封闭适配的一对室门，各所述室门设置有第二容纳腔，各所述第二容纳腔垂直设置有工件架，所述工件架包括底座、固定杆以及放置盘，各所述固定杆垂直等间距设置于底座上，各所述放置盘套设于固定杆。本实用新型具有以下优点和效果：本方案利用新机械结构，采用四开门达到了提高生产效率的效果。
容纳腔固定杆本实用新型真空室本体开口开门镀膜机放置盘工件架真空室室门底座等间距设置垂直设置铰接设置生产效率新机械适配垂直封闭

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