专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]晶圆扩膜机-CN202221383702.9有效
  • 夏志勇;方明登;刘瑶林;邓惠建;温业锋 - 深圳市深科达智能装备股份有限公司
  • 2022-06-02 - 2022-09-13 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种晶圆扩膜机,该晶圆扩膜机包括底座、扩膜件、升降气缸和晶圆环,扩膜件设于底座,扩膜件的背离底座的一面设有圆形凸起,升降气缸设于底座,晶圆环连接于升降气缸,晶圆环位于圆形凸起背离底座的一侧,晶圆环对应圆形凸起设置,且晶圆环的内径大于圆形凸起的外径晶圆环能够在升降气缸的作用下相对扩膜件运动至圆形凸起撑住晶圆环的蓝膜,以对蓝膜进行扩膜。本实用新型实施例提供的晶圆扩膜机,能仅利用升降气缸驱动即可实现对蓝膜进行扩膜,而无需设置传动组件,从而有利于简化晶圆扩膜机的结构,便于加工,从而有利于降低晶圆扩膜机的成本,而且晶圆扩膜机的动力输出稳定可靠。
  • 晶圆扩膜机
  • [实用新型]晶粒取放装置-CN202221386026.0有效
  • 夏志勇;方明登;刘瑶林;邓惠建;温业锋 - 深圳市深科达智能装备股份有限公司
  • 2022-06-02 - 2022-09-13 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种晶粒取放装置,包括基座、竖向导向结构、横向导向结构、吸嘴组件和电机,竖向导向结构包括竖向导轨和竖向滑座,竖向导轨设于基座,竖向滑座滑动连接于竖向导轨,横向导向结构包括横向导轨和横向滑座,横向导轨连接于竖向滑座,横向滑座可滑动连接于横向导轨,吸嘴组件连接于横向滑座,电机设于基座,电机的输出轴套设有轮盘,轮盘固定设有凸轮随动器,凸轮随动器连接于横向滑座,凸轮随动器用于在电机的驱动下带动横向滑座相对横向导轨滑动,以及带动竖向滑座相对竖向横向导轨滑动,以实现吸嘴组件的横向运动和竖向运动。采用本技术方案,能够在实现小型化设计的同时兼备精度高、速度快、结构简单的特点。
  • 晶粒装置

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