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[发明专利]半导体故障解析装置及半导体故障解析方法-CN202180015180.9在审
发明人： 活洲政敬;铃木信介 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的半导体故障解析装置的控制部输出对准命令，该对准命令在使卡盘移动至第1光检测部能够检测目标的位置后，以目标为基准，使第2光学系统的光轴对准第1光学系统的光轴；且输出解析命令，该解析命令在维持第1光学系统的光轴与第2光学系统的光轴的位置关系的状态下，对半导体器件施加刺激信号，且由第1光检测部或第2光检测部的至少一者，接收根据刺激信号发出的来自半导体器件的光。
半导体故障解析装置方法

[发明专利]半导体故障解析装置及半导体故障解析方法-CN202080096912.7在审
发明人： 活洲政敬;铃木信介 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的半导体故障解析装置(1)具备：解析部(10)，其解析半导体器件(D)的故障部位；标记部(20)，其朝半导体器件(D)照射激光；器件配置部(30)，其晶圆卡盘(32)相对于解析部(10)及标记部(20)相对移动，该晶圆卡盘(32)保持半导体器件(D)且设置有对准目标(50)；及控制部(41b)，其对解析部(10)、标记部(20)及器件配置部(30)输出命令。控制部(41b)在使晶圆卡盘(32)移动至解析部(10)能够拍摄对准目标(50)的位置后，输出以对准目标(50)为基准将标记部(20)对准解析部(10)的对准命令，在维持标记部(20)与解析部(10)的位置关系的状态下，朝半导体器件(D)照射激光。
半导体故障解析装置方法

[发明专利]晶圆搬送单元及晶圆搬送方法-CN202080094175.7在审
发明人：嶋瀬朗;石塚利道;活洲政敬 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明的故障解析单元是在半导体故障解析装置中一边保持一边搬送晶圆的晶圆搬送单元，并且具备：载置台，其将晶圆固定于规定的观察位置；及晶圆卡盘，其保持晶圆并搬送至观察位置，晶圆卡盘具有设置为与晶圆的侧面相对的多个保持构件(突出部)，通过多个保持构件夹持晶圆(W)的周部而保持晶圆。
晶圆搬送单元方法

[发明专利]半导体故障解析装置-CN202080074955.5在审
发明人： 活洲政敬;荒田育男;伊藤能弘;石塚利道 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01R31/265 文献下载
摘要：本发明的半导体故障解析装置(1)具备：测试器(2)，其对半导体器件(100)施加刺激信号；光源(3)，其产生照射于半导体器件(100)的照射光(L1)；固体浸没式透镜(4)，其配置于照射光(L1)的光路上；光检测部(5)，其接受反射光(L2)，并且输出对应于反射光(L2)的检测信号；光学系统(6)，其配置于光源(3)与固体浸没式透镜(4)之间，经由固体浸没式透镜(4)对半导体器件(100)出射照射光(L1)，且配置于固体浸没式透镜(4)与光学检测部(5)之间，将经由固体浸没式透镜(4)而接受的反射光(L2)出射至光检测部(5)；及计算机(7)，其利用检测信号获得与半导体器件(100)的故障部位相关的信息。光源(3)出射中心波长为880nm以上且980nm以下的照射光(L1)。固体浸没式透镜(4)由GaAs形成。
半导体故障解析装置

[发明专利]固体浸没式透镜单元、半导体检查装置-CN201980051171.8在审
发明人：毛祥光;小林正典;寺田浩敏;荒田育男;活洲政敬 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本发明的固体浸没式透镜单元具备：固体浸没式透镜，其具有用于抵接于由硅基板构成的半导体器件的抵接面、及配置为与物镜相向的球面，且使具有200nm以上1100nm以下范围内的至少一部分的波长的光透射；固持件，其保持固体浸没式透镜；及光学元件，其以位于物镜与固体浸没式透镜之间的方式通过固持件保持，并修正因硅基板与固体浸没式透镜之间的折射率差所引起的像差。
固体浸没透镜单元半导体检查装置

[发明专利]固体浸没透镜保持器及图像取得装置-CN201580051416.9有效
发明人：寺田浩敏;荒田育男;活洲政敬 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2015-09-24 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有配置于第1开口(71)的物镜(21)侧的3个板构件(93)。在3个板构件(93)的各个，设置有构成为能够与球面部(6a)接触的突出部(73)。
固体浸没透镜保持图像取得装置

[发明专利]固体浸没透镜保持器及图像取得装置-CN201580051469.0有效
发明人：寺田浩敏;荒田育男;活洲政敬 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2015-09-24 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有构成为自第1开口(71)的内表面(71a)向第1开口(71)的中心侧延伸且能够与球面部(6a)接触的3个突出部(73)。
固体浸没透镜保持图像取得装置