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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]半导体结构及其制备方法-CN202310975730.2在审
发明人： 汪逸航;朱子凡 -专利权人：长鑫科技集团股份有限公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L23/528 文献下载
摘要：本公开涉及一种半导体结构及其制备方法。本公开的半导体结构包括：衬底以及依次层叠于衬底的表面上的第一介质层、第二介质层和轮廓改善层，第一介质层、第二介质层和轮廓改善层的材料均包括含碳的低K介质材料。第一介质层的含碳量大于第二介质层的含碳量，第二介质层的含碳量大于轮廓改善层的含碳量。轮廓改善层、第二介质层和第一介质层中设置有贯穿的金属互连凹槽。半导体结构中还包括导电层，导电层设置于金属互连凹槽内。上述半导体结构能够通过刻蚀制备槽壁笔直程度较高的金属互连凹槽，能够得到较小的金属线间的寄生电容，进而实现较低的芯片的延迟。
半导体结构及其制备方法

[发明专利]半导体结构及其制作方法-CN202310104747.0有效
发明人： 汪逸航;匡定东;闫冬;韦钧;康佳;李伟 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本公开提供了一种半导体结构及其制作方法，涉及半导体技术领域，半导体结构的制作方法包括：将目标结构置于反应腔中，向反应腔中通入第一反应气体和第二反应气体；将反应腔内的工艺条件调节为第一工艺条件，第一反应气体和第二反应气体在目标结构上形成低介电材料层；将第一工艺条件调节为第二工艺条件，第一反应气体和第二反应气体在低介电材料层上形成保护层。本公开在制作过程中无需转移目标结构，在同一反应腔中形成低介电材料层和保护层，不仅节省了一个沉积腔室，还减少了沉积步骤，提高了制程效率、减少了制程时间，降低了生产成本；保护层能够保护低介电材料层的顶面轮廓，避免刻蚀过程中在低介电材料层的顶面形成“尖角”轮廓。
半导体结构及其制作方法

[发明专利]一种半导体结构及其制造方法-CN202210786870.0在审
发明人： 汪逸航;夏欢 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种半导体及其制造方法，所述制造方法包括：提供衬底；在所述衬底上沉积介质层；其中，在沉积所述介质层的过程中，设置反应温度由第一反应温度逐渐增加至第二反应温度，使得在垂直于所述衬底上表面且从所述介质层的底部指向所述介质层的顶部的方向上，所述介质层的密度逐渐增加。
一种半导体结构及其制造方法

[发明专利]半导体结构的制作方法-CN202210030210.X在审
发明人：李伟;闫冬;王梓杰;汪逸航 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本公开提供一种半导体结构的制作方法，所述半导体结构的制作方法包括：提供基底，所述基底上包括第一介质层；采用持续模式的氮化工艺，对所述第一介质层进行第一次氮化处理，以形成第一掺杂层；采用断续模式的氮化工艺，对所述第一掺杂层进行第二次氮化处理，以形成第二掺杂层；其中，所述第一次氮化处理的掺杂深度大于所述第二次氮化处理的掺杂深度，且所述第二掺杂层顶部的掺杂浓度大于所述第二掺杂层底部的掺杂浓度。在本公开中，将持续模式的氮化工艺和断续模式的氮化工艺相结合，能够同时控制掺杂层中氮元素的掺杂深度和氮浓度分布，从而提高半导体结构的介电常数和稳定性。
半导体结构制作方法

[发明专利]一种耐高温碱液水性聚氨酯涂料的制备方法及其应用-CN201810243644.1有效
发明人：丁运生;汪逸航;徐梁峰;江晓飞;李嘉晋;孙晓红 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C08G18/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐高温碱液水性聚氨酯涂料的制备方法及其应用，首先通过分子设计和工艺优化实现耐碱型环氧‑丙烯酸酯‑聚氨酯的共聚合和在水中的自乳化，然后在其中加入相关助剂得到水性聚氨酯涂料，涂布于包装纸表面后，可在纸张表面形成一层具有耐高温氢氧化钠溶液的聚氨酯涂层，表面印刷油墨后，可在85℃下、2％的氢氧化钠溶液中浸泡20分钟内保持涂层不降解、油墨不脱落，并且能显著提高纸张的硬度、光泽度、耐折度，使用水性聚氨酯涂料涂布后，纸张的硬度由HB提高到5H，光泽度提高约261％，耐折度提升了178％。
一种耐高温水性聚氨酯涂料制备方法及其应用

[发明专利]一种水性聚氨酯涂层的表面矿化方法-CN201710305724.0有效
发明人：丁运生;李嘉晋;汪逸航;何小通;华洋 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2017-05-03 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： C08J7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种水性聚氨酯涂层的表面矿化方法，其特征在于：是在硅烷偶联剂封端的水性聚氨酯涂层的表面涂覆硅溶胶，然后室温矿化后，即得表面矿化的水性聚氨酯涂层。本发明的矿化方法简单、反应条件温和，对环境友好；通过对水性聚氨酯进行表面矿化，一方面可以缩短水性聚氨酯的固化时间；另一方面可以提高水性聚氨酯涂层的力学性能、延长使用寿命，膜的硬度、耐磨性、耐划痕性、耐腐蚀性、耐热性等性能都会得到提升。
一种水性聚氨酯涂层表面方法

[发明专利]一种水性聚氨酯涂膜诱导矿化制备复合涂层的方法-CN201810255258.4有效
发明人：丁运生;汪逸航;何小通;杨公雯;李嘉晋;孙晓红 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C18/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种水性聚氨酯涂膜诱导矿化制备复合涂层的方法，使用金属氢氧化物和有机胺制备复配中和剂，聚氨酯预聚体经中和成盐和乳化后得到水性聚氨酯乳液，乳液成膜固化后放置于海水中，涂膜表面能够诱导矿化出无机涂层。本发明制备工艺简单，生产和使用过程绿色无污染，涂层经过诱导矿化后，其表面硬度由2H提升至5H,耐海水腐蚀性能较矿化之前提升约10倍。
矿化诱导制备水性聚氨酯涂膜复合涂层耐海水腐蚀性能水性聚氨酯乳液发明制备工艺金属氢氧化物聚氨酯预聚体表面硬度乳液成膜涂膜表面无机涂层中和成盐有机胺中和剂复配乳化固化海水生产

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