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[发明专利]真空装置-CN201880015142.1有效
发明人：铃木杰之;武者和博;松崎淳介;田宫慎太郎;南展史;中尾裕利 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供基板不会破损且能够在短时间从真空气氛改变成大气压气氛的真空装置。在处理对象物（10）和供气排气口（9）之间配置第一整流板（5），使得从供气排气口（9）喷出的升压用气体不会与搬运对象物（10）碰撞。在盖部件（16）的壁面和搬运对象物（10）之间设置第二整流板（6），使升压用气体从比搬运对象物（10）中的基板（7）高的上侧贯通孔（13）、比该基板（7）低的下侧贯通孔（23）向基板（7）和第一整流板（5）之间、基板（7）和台（15）之间导入，基板（7）不会抬起。
真空装置

[发明专利]基板输送装置和基板输送方法-CN202011049143.3有效
发明人： 武者和博;南展史;铃木杰之 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明提供能够扩大设计自由度的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升来使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来变更所述臂的上升速度，所述控制部构成为，一边通过使所述臂以第1速度上升来使所述末端执行器朝向所述基板上升，一边在所述末端执行器开始使所述基板的高度位置上升时，将所述上升速度改变为比所述第1速度低的第2速度。
输送装置方法

[发明专利]基板输送装置和基板输送方法-CN202011078916.0有效
发明人： 武者和博;南展史;铃木杰之 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供能够保持基板的位置精度且提高基板的输送效率的基板输送装置和基板输送方法。具备：驱动部(20)，使臂(11)上升而使末端执行器(12)接收基板(S)；以及控制装置(30)，对驱动部(20)的输出进行控制来设定臂(11)的上升速度，末端执行器(12)与臂(11)之间的高度差为位置差分，从末端执行器(12)碰到基板(S)时起到末端执行器(12)完成基板(S)的接收为止的期间为过渡期间，控制装置(30)将使位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在过渡期间比过渡期间之前小的上升速度的上限值，作为过渡期间中的上升速度的上限值。
输送装置方法

[发明专利]非接触式供电系统-CN202111330511.6在审
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H02J50/12 文献下载
摘要：本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有：在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有：整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
接触供电系统

[发明专利]带静电卡盘的运输机器人的控制系统-CN201680031508.5有效
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。
静电卡盘运输机器人控制系统

[发明专利]真空处理装置-CN201780021217.2在审
发明人：南展史;铃木杰之;武者和博;中尾裕利;佐藤诚一 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：提供一种设置面积较小的真空处理装置。在真空槽（12）的内部配置升降板（15），将基板保持装置（27）配置到升降板（15）上而使其能够升降移动。在位于升降板（15）升降移动的升降区域（12b）的侧方的处理区域（12a）内设置上方侧处理装置（40）和下方侧处理装置（50），借助上方侧移动装置（35）和下方侧移动装置（36），使基板保持装置（27）穿过处理区域（12a）内，借助交接装置（37），在上方侧移动装置（35）或下方侧移动装置（36）与升降板（15）之间进行基板保持装置（27）的交接。由于能够在上方侧和下方侧进行真空处理，所以真空处理装置（10）的设置面积较小。
侧移动升降板基板保持装置真空处理装置处理区域处理装置升降移动交接装置升降区域真空处理真空槽侧方配置交接穿过

[发明专利]非接触式供电系统-CN201680039186.9在审
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： H02J50/05 文献下载
摘要：本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
接触供电系统

[发明专利]基板运送方法和基板运送系统-CN201180036140.9有效
发明人：南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2011-07-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能够不损害位置精度而迅速转运基板的基板运送方法和基板运送系统。在利用运送机器人的保持面(210)对基板进行的保持中使用静电吸盘机构，以在保持面(210)产生静电吸附力的状态下，从支撑面(303)向保持面(210)转运基板(W)。从而，能够在将基板(W)转移至保持面(210)之后立即通过静电吸附力来保持基板，因此能够快速实行基板(W)的运送操作，能够缩短在处理室之间运送基板的时间。
运送方法系统

[发明专利]保持装置、传送装置以及旋转传动装置-CN201080014072.1无效
发明人： 武者和博;南展史;安齐秀伸;樱井宏治;青山藤词郎;柿沼康弘 -专利权人：株式会社爱发科;藤仓化成株式会社;学校法人庆应义墪
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种可以抑制对象物的形状变化或保持形态的变动带来的影响，从而稳定地保持对象物的保持装置、传送装置以及旋转传动装置。本发明的传送装置具有机械手(4)及设置在机械手上的保持体(5)。保持体(5)包括具有与保持对象物紧贴的保持面并在保持面上可保持传送对象物的保持构件(7)，以及由与机械手(4)和保持构件(7)相互连接的粘弹性材料组成的粘弹性构件(6)。传送装置(1)通过粘弹性构件(6)的弹性变形，使保持构件(7)的整个面与对象物紧贴，从而能够将传送对象物保持在机械手(4)上。
保持装置传送以及旋转传动

[发明专利]一种夹持装置、输送装置及旋转传动装置-CN201080013199.1无效
发明人： 武者和博;南展史;安齐秀伸;樱井宏治;青山藤词郎;柿沼康弘 -专利权人：株式会社爱发科;藤仓化成株式会社;学校法人庆应义塾
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种可自由倾动地夹持输送对象的夹持装置、输送装置及旋转传动装置。本发明的输送装置包括在机械手(4)上由支撑部(7)支撑的衬垫(6)。衬垫(6)处形成有凹部(8a)，通过所述凹部(8a)与固定在机械手(4)上的支撑部(7)的咬合，可倾动地支撑衬垫(6)。通过衬垫(6)的黏着层(10)的黏着来夹持输送对象，通过衬垫(6)相对于衬垫(4)的倾动运动，迎合输送对象的形状或追踪其振动，从而实现对输送对象的稳定输送。
一种夹持装置输送旋转传动

[发明专利]密封机构及处理装置-CN200980149584.6有效
发明人： 武者和博;南展史;山田清隆 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-12-02 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： F16J15/32 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供一种能够降低为补充润滑剂而作的保养的频度并且摩擦阻力较小的密封机构以及配备有该密封机构的处理装置。为达到上述目的，密封机构(100)的突出状密封件(12)配置在驱动轴(25)的外周，其突出状部(12b)具有与驱动轴(25)接触的密封部(12c)。分隔壁部件(15)安装在驱动轴(25)上，封闭安装部件(30)的下部的开口，且与突出状密封件(12)相面对。至少由安装部件(30)与分隔壁部件(15)形成用于收装润滑剂(16)的容器。在分隔壁部件(15)与保持基座体(60)之间设有间隙(17)，且该间隙(17)不会使润滑剂(16)通过。通过这样的结构，能够确保收装润滑剂(16)的空间，同时，密封机构(100)与驱动轴(25)接触的部分仅为突出状密封件(12)的密封部(12c)。
密封机构处理装置

[发明专利]排出单元以及排出装置-CN200980138080.4无效
发明人：宫田贵裕;村田真朗;柴智志;南展史;佐藤诚一;武者和博;矢作充;汤山纯平 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-09-28 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：对墨盒的背压进行控制。墨盒（11）连接于压力控制装置（12）。压力控制装置（12）具有第一、第二止回阀（13、14），当墨盒（11）的内部压力比外部气氛小第一预定压力以上时，第一止回阀（13）成为打开状态，从而外部气氛与墨盒（11）连接。相反，当墨盒（11）的内部压力比外部气氛高第二预定压力以上时，第二止回阀（14）成为打开状态，从而墨盒（11）与外部气氛连接。因此，墨盒（11）的内部压力以足以使弯液面稳定的精度控制。
排出单元以及装置

[发明专利]具有定位功能的载物台、包括该具有定位功能的载物台的处理装置和基板定位方法-CN200980120845.1有效
发明人：佐藤诚一;矢作充;南展史;武者和博;高桥诚 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种具有定位功能的载物台，该载物台即使在处理对象物重量大的情况下，也能够高精度并且容易地进行特别是θ方向的定位，且成本低。该具有定位功能的载物台具有暴露基板(S)处理面并保持基板(S)的载物台本体(4a)，还包括可自由地吸附在与所述的基板处理面相对的另外一面上的吸附装置(8)、向所述吸附装置上吸附位置以外的区域供给气体的气体供给装置(9)和向所述吸附装置施加旋转力使基板以所述吸附装置为旋转中心在同一平面内旋转的驱动装置(10)。
具有定位功能载物台包括处理装置方法

[发明专利]粘合基板制造装置和粘合基板制造方法-CN200880115485.1无效
发明人：佐藤诚一;矢作充;南展史;武者和博;汤山纯平;村田真朗;宫田贵裕;中村久三 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2008-11-06 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： B29C65/00 文献下载
摘要：本发明提供一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：支撑所述下基板的基底部；能够上下移动，且与所述基底部一起形成粘合处理室的室部件；竖立设置在所述基底部上的支撑棒；和能够沿所述支撑棒独立于所述室部件上下移动，且能够保持所述上基板的上加压部件，通过移动所述上加压部件，在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板。
粘合制造装置方法

[发明专利]粘合基板制造装置和粘合基板制造方法-CN200880109657.4无效
发明人：佐藤诚一;矢作充;南展史;武者和博;汤山纯平;村田真朗;宫田贵裕;中村久三 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2008-11-05 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： B29C65/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：载置所述下基板的载置台；使该载置台移动的移动机构；设置有该移动机构的基底部；竖立设置在该基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒上下移动且能够保持所述上基板的上加压部件，通过使所述上加压部件下降，保持在所述上加压部件上的所述上基板与载置在所述载置台上的所述下基板被粘合。
粘合制造装置方法

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