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- [发明专利]一种超结场效应晶体管的制作方法-CN201710577212.X有效
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欧阳慧琳
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南京溧水高新创业投资管理有限公司
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2017-07-14
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2020-09-01
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H01L29/78
- 本发明提供了一种超结场效应晶体管的制作方法。所述超结场效应晶体管的制作方法包括:在N型外延层表面形成终端基础结构,所述终端基础结构包括主结区和位于所述主结区外围的环区,所述环区形成有多个环状P型柱;在所述N型外延层表面形成氮化硅层,所述氮化硅层覆盖所述主结区和所述多个环状P型柱;对所述环区的氮化硅层进行刻蚀来形成多个条状开口区,所述条状开口区与所述环状P型柱垂直,且所述环区表面的部分区域通过所述条状开口暴露出来;在所述环区表面进行氧化处理来在所述多个条状开口区形成多个条状氧化硅层,并去除所述N型外延层表面的氮化硅层。采用本发明提供的方法可以大大提高器件的可靠性和耐压退化能力。
- 一种场效应晶体管制作方法
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