专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]氮化硅膜的成膜方法、成膜装置及氮化硅膜-CN202280013804.8在审
  • 安藤优汰;猪狩晃;森本直树 - 株式会社爱发科
  • 2022-09-27 - 2023-09-22 - C23C14/06
  • 本发明提供一种能够通过反应性溅射形成具有较强拉伸应力的氮化硅膜的氮化硅膜的成膜方法。本发明的氮化硅膜的成膜方法,其中,在真空室(1)内将硅材质靶(3)和成膜对象物(Sw)相对配置,向真空气氛的真空室内导入含有氮气的溅射气体,对硅材质靶施加负电位,在以电性浮置状态设置的成膜对象物的表面,通过反应性溅射形成具有拉伸应力的氮化硅膜;包括下述工序:将成膜对象物设置为偏压电位的非施加状态,控制氮气相对于溅射气体的流量比例和对硅材质靶施加的电位中的至少一方,以使硅材质靶表面维持在金属模式与化合物模式之间的过渡模式,在成膜对象物表面堆积β型氮化硅。
  • 氮化方法装置
  • [发明专利]送风机的风向调整方法以及搭载送风机的车辆-CN202080021350.X在审
  • 熊仓航;森本直树 - 五十铃自动车株式会社
  • 2020-03-11 - 2021-11-05 - B60K11/06
  • 一种送风机(5)的风向调整方法,是被搭载于车辆(1),并通过对被搭载于该车辆(1)的热源(4)进行送风来冷却热源(4)的送风机(5)的风向调整方法,获取送风机(5)的送风(W)的风速分布,根据该取得的风速分布来设定风向调整装置(9)的形状,该风向调整装置(9)的形状将具有关于送风机(5)的送风(W)预先设定的设定速度阈值(V1)以上的铅直方向下侧的速度成分的送风(W)的方向调整为铅直方向向上,其后,将该设定的形状的风向调整装置(9)搭载于车辆(1),通过风向调整装置(9)将送风机(5)的一部分送风(W)的方向调整为铅直方向向上。
  • 送风机风向调整方法以及搭载车辆

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