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- [实用新型]一种磁控溅射镀膜设备-CN201120127894.2无效
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王健文;韩冲;梁凯基;蔡东锋
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广东中环真空设备有限公司
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2011-04-27
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2011-12-28
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备，其包括真空箱、设于所述真空箱内的移动小车、与所述移动小车连接并驱使所述移动小车作水平移动的直行驱动装置、与所述直行驱动装置连接的靶连接座、分别与所述直行驱动装置以及靶连接座连接并驱动所述靶连接座作纵向移动的升降驱动装置、与所述靶连接座固定连接磁控溅射靶。通过直行驱动装置推动移动小车作水平移动，同时在升降驱动装置的作用下推动靶连接座进行高度位置的调整，使磁控溅射靶成为可作二维运动的移动靶，而磁控溅射靶本身为长条形，从而实现磁控溅射的三维调节功能，适合大尺寸、大曲率、深弯、异型等基片的镀膜要求，使所镀制的薄膜具有高均匀性、高牢固度、高耐磨度等优点。
- 一种磁控溅射镀膜设备
- [实用新型]连续卷绕镀膜设备-CN200920058011.X无效
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王健文;李学欧;蔡东锋;梁凯基;李伟
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广东中环真空设备有限公司
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2009-06-08
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2010-04-14
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C23C14/56
- 本实用新型公开了一种用于对卷绕物料进行真空镀膜的连续卷绕镀膜设备，其包括对物料进行镀膜的真空作业箱、用于释放输送物料的置于真空作业箱外的放料装置、对完成镀膜的物料进行卷绕收集的置于真空作业箱外的收料装置、将物料从放料装置牵引穿过真空作业箱并输送至收料装置的物料牵引装置，真空作业箱的一端具有物料入口而另一端具有物料出口，物料入口与物料出口均设置有旋转真空锁。使用牵引装置对被镀物料进行牵引，使物料穿过旋转真空锁，保证更换以及输送物料过程不需破真空，从而提高了设备的生产效率。输送和回收的卷绕系统设置于真空作业箱外，真空作业箱的容积缩小，既节省了设备的材料和成本，又节约了生产过程的抽真空量。
- 连续卷绕镀膜设备
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