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[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪-CN202011631805.8有效
发明人： 林育菁;畠山庸平 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜、角度传感器、驱动器和用作悬臂的致动器，所述致动器用于在所述驱动器的驱动下使所述反射镜绕第一旋转轴旋转，所述角度传感器用于感测反射镜绕所述第一旋转轴旋转的偏转角度并向所述控制单元输出信号，该MEMS扫描镜还包括控制单元，所述控制单元包括差分放大器，所述差分放大器的第一输入端连接所述角度传感器的输出端、第二输入端连接所述驱动器的驱动信号输出端、输出端连接所述致动器的驱动信号输入端。该实施方式可降低驱动的品质因数，改善对于驱动信号的跟踪性能。
mems 扫描激光投影仪

[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪-CN202011635225.6有效
发明人： 林育菁;畠山庸平;薛高鹏 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。在一具体实施方式中，该MEMS扫描镜包括反射镜及反射镜偏转角度感测机构；所述反射镜偏转角度感测机构包括压力传感器，所述压力传感器包括对称形状的膜状压敏电阻元件和从该压敏电阻元件引出用于构成惠斯顿电桥的第一端、第二端、第三端和第四端，所述第一端和第二端位于该压敏电阻元件对称轴方向的两端，所述第三端和第四端关于该对称轴对称设置。该实施方式可减少MEMS扫描镜中的压阻式压力传感器中压敏电阻元件的个数，从而减小压阻式压力传感器的体积，并减少对关于其布线和布局的限制。
mems 扫描激光投影仪

[发明专利]MEMS传感器组件制造方法、以及以该法制造的MEMS传感器组件-CN201911056438.0有效
发明人：游振江;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种制造MEMS传感器组件的方法，包括：提供滤膜，其包括将缓冲材料涂覆在基板(100)的覆盖有热释放粘合剂层(106)的一面以在热释放粘合剂层(106)上形成缓冲层(102)，将滤膜材料沉积在所述缓冲层(102)上以形成滤膜(104)；对基板(100)加热从而使得所述缓冲层(102)与所述滤膜(104)一起在热释放粘合剂层(106)的作用下被推离所述基板(100)；从所述滤膜(104)上除去所述缓冲层(102)。该方法还包括提供MEMS传感器，所述MEMS传感器上具有开口并且能够经由该开口进行感测；将所述滤膜结合到所述MEMS传感器上，使得所述滤膜覆盖所述开口。
mems 传感器组件制造方法以及法制

[发明专利]MEMS传感器组件制造方法以及以该法制造的传感器组件-CN201911056440.8有效
发明人：游振江;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本公开内容提供了一种MEMS传感器组件制造方法以及以该法制造的传感器组件。所述方法包括：提供滤膜，其包括在基板(100)上涂布微米尺寸或纳米尺寸的物体(102)；在所述基板(100)上沉积滤膜材料(104)；去除所述微米尺寸或纳米尺寸的物体(102)以在沉积的所述滤膜材料(104)中形成通孔(106)。该方法还包括提供MEMS传感器，所述MEMS传感器上具有开口并且能够经由该开口进行感测。该方法还包括将所述滤膜结合到所述MEMS传感器上，使得所述滤膜覆盖所述开口，从而形成MEMS传感器组件。
mems 传感器组件制造方法以及法制

[发明专利]MEMS扫描镜-CN202011635265.0有效
发明人： 林育菁;畠山庸平 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS扫描镜。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜、用于使反射镜绕旋转轴旋转的压电致动器及反射镜旋转角度感测装置，反射镜旋转角度感测装置为压阻式压力传感器，该传感器包括：第一导电类型导电半导体层；形成在半导体层中具有第二导电类型的一个压阻区域和第一至第四电极接触区域，该压阻区域具有对称形状，第一电极接触区域和第二电极接触区域位于该压阻区域对称轴方向的两端，第三电极接触区域和第四电极接触区域位于压阻区域两侧关于该对称轴对称设置；形成在半导体层中包围压阻区域的环形保护区域，该环形保护区域不与压阻区域接触，具有第一导电类型且杂质浓度大于半导体层的杂质浓度。该实施方式可提升感测精度。
mems 扫描

[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪-CN202011635318.9有效
发明人： 林育菁;畠山庸平 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜、角度传感器、控制单元和用作悬臂的致动器，所述致动器用于根据所述控制单元的控制使所述反射镜绕第一旋转轴旋转，所述角度传感器用于感测反射镜绕所述第一旋转轴旋转的偏转角度并向所述控制单元输出信号，所述控制单元包括驱动器和电荷读出电路，所述电荷读出电路用于根据来自所述角度传感器的输出向所述驱动器输出恒定电压信号。该实施方式可降低角度传感器输出信号的噪声功率，提升信噪比。
mems 扫描激光投影仪

[发明专利]MEMS扫描镜及其驱动方法、激光投影仪-CN202011631824.0有效
发明人： 林育菁;宮島博志;畠山庸平 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS扫描镜及其驱动方法、激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜，用于驱动反射镜关于反射镜第一轴以第一频率偏转的第一压电致动器，用于驱动反射镜关于反射镜第二轴以第二频率偏转的第二压电致动器，第一轴垂直于第二轴，以及驱动电路，第一频率远小于第二频率，第一压电致动器与第二压电致动器共用电极和对应的布线，驱动电路生成叠加有第一驱动频率的第一信号和第二驱动频率的第二信号的第一驱动信号及叠加有第一驱动频率的第三信号和第二驱动频率的第四信号的第二驱动信号，第一驱动频率远小于第二驱动频率，并施加到第一压电致动器和第二压电致动器。该实施方式可减少MEMS扫描镜布设的电极和线的数量。
mems 扫描及其驱动方法激光投影仪

[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪-CN202011635207.8有效
发明人： 林育菁;畠山庸平 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括支撑件、反射镜和分别用作悬臂的第一压电致动器及第二压电致动器，所述第一压电致动器及第二压电致动器用于使所述反射镜绕第一旋转轴旋转，还包括第一感测梁，所述第一感测梁一端连接所述支撑件、另一端连接所述反射镜的一侧，所述第一感测梁上设置有用于感测反射镜绕所述第一旋转轴旋转的偏转角度的第一角度传感器。该实施方式可避免对反射镜的旋转造成妨碍，提升对反射镜偏转角度检测的精度，且有利于实现MEMS扫描镜的小型化。
mems 扫描激光投影仪

[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风-CN202011400336.9有效
发明人：游振江;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；在微型麦克风防尘装置制造过程中，防尘膜设置在基板上，支撑载体设置在防尘膜远离基板的一侧；在基板上还设置有与支撑载体固定连接的锚定件，锚定件用于限位固定支撑载体和防护膜。利用上述发明能够通过锚定件对制造过程中的防尘膜及支撑载体进行临时定位，防止其在处理或转移期间从基板脱落。
微型麦克风防尘装置 mems

[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风-CN202011404901.9有效
发明人：游振江;佐佐木宽充;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体以及设置在支撑载上的防尘膜，防尘膜包括固定部以及设置在固定部中心位置的过滤网；过滤网包括中央分区和围绕中央分区设置的周围分区；在周围分区上设置有第一穿孔，第一穿孔用于在过滤网受应力作用时，产生三维变形。利用上述发明能够在防尘膜上产生应力梯度及三维变形，可使得防尘膜吸收更大的应力。
微型麦克风防尘装置 mems

[发明专利]微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备-CN202011404896.1有效
发明人：佐佐木宽充;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微型麦克风防尘装置、MEMS麦克风及电子设备，其中的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部以及设置在固定部内部的过滤网；并且，在与防尘膜所在平面相平行的平面上，支撑载体的尺寸大于固定部的尺寸，以使支撑载体包围防尘膜设置。利用上述发明能够确保防尘膜在制造过程中与基板之间的密着性，防止其在制造过程中脱落或者翘曲。
微型麦克风防尘装置 mems 电子设备

[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风-CN202010621362.8有效
发明人：游振江;林育菁 -专利权人：歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中，包括支撑托架以及设置于所述支撑托架的进入保护膜；其中，所述支撑托架形成有通孔，俯视观察时所述进入保护膜覆盖所述通孔；并且，所述支撑托架和/或所述进入保护膜为聚合物制件，所述支撑托架与所述进入保护膜的热膨胀系数的差值在预设范围内。利用上述发明能够有效的解决现有的微型麦克风防尘装置上的薄膜结构在高温环境下发生屈曲的问题。
微型麦克风防尘装置 mems

[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风-CN202011400332.0有效
发明人：畠山庸平;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中，微型麦克风防尘装置包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其特征在于，所述防尘网包括支撑部和过滤部，所述过滤部通过所述支撑部与所述载体相连；其中；在所述过滤部外周上自外向内开设有连接区，在所述连接区内设置有与所述过滤部相连的连接部，所述连接部远离所述过滤部的中心的一端与所述支撑部一体成型；并且，所述载体内形成有与所述过滤部上下位置对应的通孔。利用上述发明能够有效地解决现有的微型麦克风防尘装置上的网部褶皱的位移程度相对较大的问题。
微型麦克风防尘装置 mems

[发明专利]器件转印处理方法及微型麦克风防尘装置转印处理方法-CN202011400343.9有效
发明人：畠山庸平;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B41M3/12 文献下载
摘要：本发明提供一种器件转印处理方法及微型麦克风防尘装置转印处理方法，其中的器件转印处理方法包括在基板上形成牺牲层；在牺牲层远离基板的一侧设置锚点层，锚点层通过凸起且穿透牺牲层的锚点结构与基板固定连接，锚点结构设置在锚点层的至少一个边部位置；在锚点层远离基板的一侧设置器件；将器件及位于器件一侧的锚点层固定在转印带上，并将锚点层从牺牲层及基板上剥离，以完成器件的转印处理。利用上述发明能够在牺牲层被刻蚀的情况下，确保其上的器件不被剥离，进而保证器件的密着性。
器件处理方法微型麦克风防尘装置

[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风-CN202011400342.4有效
发明人：畠山庸平;林育菁 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部和设置在固定部中心位置的过滤网；过滤网包括至少两个分区区域，分区区域包括沿对应分区区域的预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿对应分区区域的预设半径方向分布的半径梁；其中，圆周梁和/或半径梁用于调整对应分区区域的弯曲刚性，并配置分区区域的凹凸形状。利用上述发明能够通过圆周梁和/或半径梁对防尘膜的弯曲刚性进行调节，使得防尘膜形成任意凹凸形状，提高抗皱能力。
微型麦克风防尘装置 mems

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