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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]静电吸盘-CN201910149763.5有效
发明人：片山宝;山口康介;板仓郁夫;籾山大;白石纯;西愿修一郎 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够提高强度。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、在从所述第2主面到所述第1主面的跨度上设置的穿通孔；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有连通于所述穿通孔的气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述穿通孔，其特征为，所述第1多孔质部具有位于所述陶瓷电介体基板侧的第1区域，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1区域侧的第1基板区域，所述第1区域与所述第1基板区域被设置成接触，所述第1区域中的平均粒径不同于所述第1基板区域中的平均粒径。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN202310336113.8在审
发明人：山口康介;白石纯;板仓郁夫;籾山大;西愿修一郎 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN201910149165.8有效
发明人：山口康介;白石纯;板仓郁夫;籾山大;西愿修一郎 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够实现电弧放电的降低及气体流动的顺畅化。提供一种静电吸盘，其特征为，陶瓷电介体基板具有位于第1主面与第1多孔质部之间的第1孔部，陶瓷电介体基板及第1多孔质部中的至少任意一个具有位于第1孔部与第1多孔质部之间的第2孔部，在与从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向大致正交的第2方向上，第2孔部的尺寸比第1多孔质部的尺寸更小，比第1孔部的尺寸更大。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN202080036383.1在审
发明人：佐藤真树;板仓郁夫;西愿修一郎;白石纯;籾山大;小林幸太 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸盘，具备：导电性的基座板，具有第1部分和设置在所述第1部分的外周的第2部分，设置有导入冷却气体的气体导入路；第1静电吸盘部，设置在所述第1部分上，构成为可吸附晶片，具备具有连通于所述气体导入路的至少一个穿通孔的陶瓷电介体基板和内置于所述陶瓷电介体基板的第1吸附电极；及第2静电吸盘部，设置在所述第2部分上，构成为可吸附聚焦环，具备具有可导入冷却气体的至少一个穿通孔的陶瓷层，所述陶瓷层至少具有当所述聚焦环吸附于所述第2静电吸盘部时接触所述聚焦环的第1层，所述第1层的致密度构成为小于所述陶瓷电介体基板的致密度。由此，提供一种可提高设备的成品率的静电吸盘。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN201910149338.6在审
发明人：山口康介;白石纯;板仓郁夫;籾山大;西愿修一郎 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
疏松静电吸盘多孔质部壁部陶瓷电介体电弧放电气体流量基座板正交的抗性基板延伸流动

[发明专利]静电吸盘-CN201180015561.3无效
发明人：堀裕明;松井宏树;板仓郁夫 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2011-03-23 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸盘，其特征为，具备：陶瓷电介体，在表面上形成有电极；陶瓷基板，支撑陶瓷电介体；及第1接合剂，接合陶瓷电介体与陶瓷基板，第1接合剂具有包含有机材料的主剂、包含无机材料的无定形填充物、包含无机材料的球形填充物，在第1主剂中分散配合有第1无定形填充物与第1球形填充物，第1主剂、第1无定形填充物与第1球形填充物由电绝缘性材料构成，第1球形填充物的平均直径大于第1无定形填充物的短径的最大值，第1接合剂的厚度或者与第1球形填充物的平均直径相同或者更大。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN201180013487.1有效
发明人：堀裕明;近藤俊平;穴井勇辉;板仓郁夫;内村健志;穴田和辉 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2011-03-23 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN201180012562.2有效
发明人：堀裕明;板仓郁夫;穴田和辉 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2011-03-23 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷基板；陶瓷电介体，设置在所述陶瓷基板的上侧且具有放置被处理基板的第1主面；及电极，设置在所述陶瓷基板与所述陶瓷电介体之间，其特征为，所述陶瓷电介体的材质为陶瓷烧结体，在所述陶瓷电介体的所述第1主面上设有多个突起部与供气的槽，在所述槽的底面设有贯穿到所述第1主面相反侧的所述陶瓷基板的第2主面的通孔，所述电极和所述槽之间的距离或者与所述电极和所述第1主面之间的距离相同或者更大。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN200680017894.9有效
发明人： 板仓郁夫;永室正一郎 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2006-05-23 - 公布日： 2008-05-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供耐等离子体性和被吸附物的冷却性能优异的静电吸盘。静电吸盘的基本的构成是，在金属板(21)表面上藉由喷镀形成有绝缘体膜(22)，在该绝缘体膜(22)上经由绝缘性粘接剂层(23)接合有电介体基板(24)，该电介体基板(24)的表面作为半导体晶片等的被吸附物的盛放面，而在下表面形成有电极(25，25)。
静电吸盘

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