专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]修正装置-CN201410418547.3有效
  • 荒卷文朗;八坂行人;松田修;杉山安彦;大庭弘;小堺智一;相田和男 - 日本株式会社日立高新技术科学
  • 2014-08-22 - 2018-05-01 - H01J37/21
  • 本发明公开一种修正装置,其对于试样的损伤较小,在长时间内稳定且效率良好地进行掩膜等的细微部位的修正。修正装置(10)至少具备气体电场电离离子源,其具有锐化的针尖;冷却单元,其冷却针尖;离子束镜筒(11),其使在气体电场电离离子源产生的气体的离子集束,形成集束离子束;试样工作台(15),其设置经通过离子束镜筒(11)形成的集束离子束照射的试样,并能够移动;试样室(13),其内置试样工作台(15);以及控制部(20),其通过集束离子束修正作为试样的掩膜(14)或纳米压印光刻的模具。气体电场电离离子源以氮作为离子,并具备通过铱单晶构成的针尖,该铱单晶具有能够产生离子的单一的顶点。
  • 修正装置

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