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- [发明专利]输送装置和输送系统-CN201510143784.8有效
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松尾英树
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株式会社大亨
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2015-03-30
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2019-04-30
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B65G49/05
- 本发明提供能够延长寿命的输送装置。输送装置包括引导机构(2)和被引导机构(2)引导而进行移动的移动体(4),移动体(4)包括:第一支承体(41A),其具有与引导机构(2)卡合的第一卡合部(411A),沿着第一方向X可移动地被引导机构(2)支承;第二支承体(41B),其具有与引导机构(2)卡合的第二卡合部(411B),沿着第一方向(X)可移动地被引导机构(2)支承;保持部(45),其被第一支承体(41A)和第二支承体(41B)支承,用于保持工件(89),在第一卡合部(411A),因移动体(4)的变形而载荷有第一反向力矩(M12),第一反向力矩(M12)是与在工件(89)被保持于保持部(45)的情况下因工件(89)的负荷而载荷于第一卡合部(411A)的力矩(M11)反向的力矩。
- 输送装置系统
- [发明专利]搬送装置-CN200780051937.X有效
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宫本玲;佐渡大介;冈本启;松尾英树;西森康博
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株式会社大亨
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2007-03-02
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2010-01-13
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H01L21/677
- 本发明提供一种搬送装置(A),其配置于真空室(B)内,包括固定基座(1)、相对于固定基座(1)保持为可旋转的旋转基座(2)、支撑于旋转基座(2)的直线移动机构(3A、3B)、和支撑于直线机构(3A、3B)的柄(4A、4B),通过直线移动机构(3A、3B)的动作对载置于柄(4A、4B)的工件(W)进行搬送。在旋转基座(2)或者直线移动机构(3A、3B)的下表面侧的适当部位设有热辐射板(62、63、65),在形成真空室(B)的壁中的与旋转基座(2)的下表面侧相对的壁上设有吸热板(61、66)。
- 装置
- [发明专利]感光性聚硅氮烷组合物、采用该组合物形成图案的方法及烧结其涂层膜的方法-CN01802578.1有效
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长原达郎;松尾英树
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克拉瑞特国际有限公司
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2001-08-24
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2003-01-01
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G03F7/38
- 本发明提供了一种正型感光聚硅氮烷组合物,其包含一种改性的聚硅倍半氮烷,其数均分子量为100-100,000,并且包含由下式表示的基本组成单元-[SiR6(NR7)1.5]-和由下式表示的其它组成单元-[SiR26NR7]-和/或-[SiR36(NR7)0.5]-,所述其它组成单元与基本组成单元的比例为0.1-100摩尔%(在上式中,R6和R7独立地表示氢、C1-3烷基或取代或未取代的苯基),组合物还包含一种光致酸产生剂。组合物优选包含一种作为形状稳定剂的水溶性化合物。将组合物涂敷至基底上并进行形成图案的曝光。曝光后的涂层膜润湿并用碱性水溶液进行显影。将所得到的图案整体曝光,接着再次润湿,然后烧结。因此,在短时间内,可得到具有满意特性且可用作层间电介质的精细二氧化硅基陶瓷薄膜。
- 感光性聚硅氮烷组合采用形成图案方法烧结涂层
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