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[实用新型]一种用于气相沉积设备的防漏气升降装置-CN202320888332.2有效
发明人： 杨本伟;胡宇航;李伟;周文彬 -专利权人：昆山晟成光电科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及一种用于气相沉积设备的防漏气升降装置，包括基座、设于所述基座下部的升降驱动组件和被所述升降驱动组件直线驱动并在所述基座上方升降的载台，所述升降驱动组件包括连接柱，所述连接柱穿过所述基座且上端与所述载台的下表面连接，所述基座与所述载台之间还设有波纹管，所述波纹管的内壁包围于所述连接柱外，所述波纹管的上端与所述载台的表面之间用第一密封件密封连接，所述波纹管的下端与所述基座的表面之间用第二密封件密封连接。本实用新型通过将波纹管设于升降机构在真空腔内的部分并且在两侧进行静态密封，避免了局部狭缝带来的漏气问题，缩短了抽真空时间，提高了产能。
一种用于沉积设备漏气升降装置

[实用新型]一种轮毂转运装置-CN201721680176.1有效
发明人： 杨本伟 -专利权人：昆山群岱精密机械有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： B66F19/00 文献下载
摘要：本实用新型一种轮毂转运装置，包括底盘，所述底盘一端安装有限位柱和转轴，所述转轴一端设置有悬臂，所述悬臂一端还设置有承载台，所述承载台一端设置有限位孔，所述限位孔设置有限位销，本实用新型一种轮毂转运装置，结构简单，操作方便，通过本装置可以快速将轮毂运转到相应位置，节省人力，加强了工作效率，保证了操作人员的人身安全。
轮毂转运装置本实用新型一端设置承载台底盘悬臂转轴工作效率人身安全限位孔位孔位柱运转保证