“杨奉利”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果26个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种晶圆缺口定位方法及装置-CN202310817291.2在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆缺口定位方法、探针台、晶圆缺口定位装置、电子设备及存储介质，属于晶圆缺口定位技术领域，其中，该方法包括获取晶圆的边缘线阵图像；计算边缘线阵图像在晶圆圆周方向上的像素平均值；根据像素平均值获取晶圆的边缘坐标；在边缘线阵图像中，以边缘坐标为基准，截取预设范围的目标图像；基于目标图像确定晶圆的缺口位置。该方法利用了晶圆边缘像素平均值的特点能够快速定位晶圆的边缘坐标，在基于边缘坐标对边缘线阵图像进行裁剪减少了不必要的图像信息，降低了后续进行缺口识别的计算量，有助于大幅减少缺口定位消耗的时间，同时，通过对图像进行裁剪有助于去除部分噪音干扰，进而能够提高缺口的识别率和识别精度。
一种缺口定位方法装置

[发明专利]基于图像处理的针痕检测方法、装置、设备及介质-CN202310509315.8在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于图像处理的针痕检测方法、装置、设备及介质，涉及晶圆测试技术领域，该方法包括：将包括待进行针痕检测的测试接点的待处理图像转换为第一灰度图像；从待处理图像中分离出预定颜色分量对应的单色图像；基于第一灰度图像，按照第一规则生成第一二值图像；其中，第一规则包括：像素值未超过对应的像素值阈值的像素点呈白色；基于单色图像，按照第二规则生成第二二值图像；其中，第二规则包括：像素值超过对应的像素值阈值的像素点呈白色；对第一二值图像和第二二值图像进行合并，得到合并二值图像；基于合并二值图像，确定待处理图像中的测试接点的针痕检测结果。本公开的实施例能够兼容对不同特征的针痕的检测。
基于图像处理检测方法装置设备介质

[发明专利]一种晶圆边缘识别方法、晶圆定位方法及装置-CN202310645387.5在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种圆边缘识别方法、晶圆定位方法、探针台、晶圆边缘识别装置、电子设备及存储介质，属于晶圆定位技术领域，其中，获取晶圆在预设方位的边缘图像；从边缘图像中提取晶圆在支撑件上形成的阴影区域；提取阴影区域的边缘点；拟合边缘点得到晶圆在预设方位的边缘。该方法通过提取晶圆在支撑件上的阴影代替直接提取晶圆边缘，能够利用阴影区域光学成像特征的稳定性，来提升晶圆边缘提取的稳定性。
一种边缘识别方法定位装置

[发明专利]一种超声波水表反射片擦洗装置-CN201710290523.8有效
发明人：张凯;张曦;杨奉利;翟长秀;刘明祥 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01F15/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种超声波水表反射片擦洗装置。所述装置包括：用于支撑擦洗装置和保护内部结构的支撑外壳、旋转把手、连接杆、直齿圆锥主动齿轮、直齿圆锥从动齿轮、刚性弹簧、可旋转球缺、T形软橡皮塞、塑料卡扣、高弹力海绵。本发明还提供了超声波水表反射片的擦洗方法。本发明无任何破坏性拆解，省时、省力、操作简单，并在保护反射片不被磨损的同时，一定程度上能够判断反射片的状态，对整个超声波水表的维修、维护有一定的可靠作用。
一种超声波水表反射擦洗装置

[发明专利]晶圆缺口定位方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310411138.X在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆缺口定位方法、装置、电子设备及存储介质，属于晶圆检测技术领域，其中，晶圆缺口定位方法包括：获取晶圆的边缘线阵图像；在边缘线阵图像中确定晶圆的缺口边缘点；根据缺口边缘点确定晶圆的缺口位置。该方法通过对边缘线阵图像进行寻找，确定晶圆缺口位置，代替了采用线性传感器定位缺口的方式，进而可以利用边缘线阵图像确定缺口在晶圆上的相对位置，这样就将缺口寻找步骤与晶圆ID识别步骤整合在一起，减少了测试步骤流程，大大提升测试效率。
缺口定位方法装置电子设备存储介质

[发明专利]探针识别的定位方法、装置、存储介质以及电子设备-CN202310240646.6在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G06T7/62 文献下载
摘要：本申请公开了一种探针识别的定位方法、装置、存储介质以及电子设备。其中，该方法包括：获取探针图像对应的二值图像，识别二值图像中所有连通域轮廓；基于预定轮廓面积、预设范围以及预定圆度对所有连通域轮廓进行筛选，得到目标连连通域轮廓集合；确定目标连通域轮廓集合各个目标连通域对应的最小包围圆的目标半径，比较目标半径与预定半径的大小，确定选用最小包围圆的圆心或者目标连通域的质心作为探针的中心。本申请解决了由于相关技术的定位方法受光线制约，直接确定探针质心为探针中心，以及探针图像视野中可能会存在多个特征相似的轮廓造成的识别探针中心准确度低的技术问题。
探针识别定位方法装置存储介质以及电子设备

[发明专利]识别探针的方法、装置以及电子设备-CN202310240640.9在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种识别探针的方法、装置以及电子设备。其中，该方法包括：获取探针图像对应的二值图像，并识别二值图像中的所有连通域轮廓，对所有连通域轮廓筛选得到目标连通域轮廓；确定目标连通域轮廓内像素的平均值与目标连通域轮廓对应的半径，在平均值不小于设定值，且半径不小于设定半径的第一预设倍数的情况下，确定目标连通域轮廓为探针主体针尖对应的轮廓；在半径大于设定半径的第二预设倍数的情况下，以初始亮度阈值为起点对主体针尖对应的轮廓进行阈值分割；基于阈值分割结果确定主体针尖的半径以及探针中心。本申请解决了由于探针在扎针过程中易磨损易脏污造成的识别探针中心出现偏差，从而导致扎针位置出现偏差的技术问题。
识别探针方法装置以及电子设备

[发明专利]接点定位方法、装置、探针台及存储介质-CN202310326770.4在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种接点定位方法、装置、探针台及存储介质，属于晶圆检测技术领域，其中，接点定位方法包括：获取目标接点的接点图像，并获取目标接点的已知形状；修复接点图像中目标接点，得到完整的目标接点二值图像；根据目标接点二值图像，判断目标接点的实际形状是否符合已知形状；当目标接点的实际形状符合已知形状，定位目标接点的位置坐标。该方法通过对接点图像进行修复，并对修复后的接点图像中接点的形状进行判断，如果判断结果符合已知形状则可以确定接点的位置，这样确定探针和接点的位置之后，再将探针扎入接点进行测试。可以确保探针精确扎入接点，防止探针扎到接点外部损坏晶圆，大大提高晶圆测试质量。
接点定位方法装置探针存储介质

[发明专利]探针台相机标记物识别方法及装置-CN202310179888.9在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种探针台相机标记物识别方法、装置、探针台、电子设备及存储介质，属于标记物识别技术领域，其中，探针台相机标记物识别方法包括：获取相机标记物的标记物二值图；从标记物二值图中获取符合条件的直线；对直线进行预处理得到目标直线；对目标直线两两求交点；将交点的平均位置作为相机标记物中心位置。该方法通过将相机标记物二值图中的目标直线两两求交点能够初步筛选出可能存在相机标记物的位置，再通过计算交点的平均位置能够进一步提高相机标记物识别的准确性。
探针相机标记识别方法装置

[发明专利]晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统-CN202310341994.2在审
发明人：蒋家欣;舒贻胜;杨奉利;王建玮;陈思乡 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统，该方法包括：接收传感器采集到的线性数据，根据线性数据确定晶圆的缺口位置；线性数据为旋转平台带动晶圆旋转时，传感器对晶圆的边缘进行数据采集得到；根据晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定晶圆的偏心坐标；根据晶圆的偏心坐标将晶圆的缺口位置调整至目标位置。在旋转平台带动晶圆旋转时，利用传感器对晶圆的边缘进行数据采集得到线性数据后，根据传感器采集的线性数据确定晶圆的缺口位置，进而结合晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定晶圆的偏心坐标，根据晶圆的偏心坐标将晶圆的缺口位置调整至目标位置，无需进行二次数据采集和处理，提高了晶圆预对位效率。
晶圆预对位方法装置设备检测系统

[发明专利]探针台标记物定位方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310155471.9在审
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种探针台标记物定位方法、探针台标记物定位装置、电子设备及存储介质，属于标记物定位技术领域，其中，探针台标记物定位方法包括：获取探针台标记物的二值图；判断二值图中是否存在符合圆形特征的连通域；若是，则基于符合圆形特征的连通域定位探针台标记物；若否，则判断二值图中是否存在符合圆弧特征的连通域，若是，则基于符合圆弧特征的连通域定位探针台标记物。该方法是对圆形的探针台标记物进行二次识别，首先通过圆形特征能够识别完整度较高的探针台标记物，其次通过圆弧特征能够识别完整度较低的探针台标记物，该方法通过二次识别能够提高探针台标记物的识别率。
探针标记定位方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种简易超声波水表反射片微角度变化测量装置-CN201710290524.2有效
发明人：张凯;张曦;杨奉利;翟长秀;刘明祥 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01B5/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种超声波水表反射片微角度变化测量装置。所述装置包括：用于支撑测量装置和保护内部结构的支撑外壳、整个装置的支撑座、旋转把手、旋转把手连接杆、角度刻度盘、刻度盘指针、气泡水平装置、蜗杆连接杆、主动蜗杆、从动涡轮、从动涡轮连接杆、角度测量旋转杆、照明灯、平面反射镜。本发明还提供了超声波水表反射片的擦洗方法。本发明无任何破坏性拆解，省时、省力、操作简单，测量精度高，并在保护反射片不被磨损的同时，能够判断反射片的状态，对整个超声波水表的维修、维护有一定的可靠作用。
一种简易超声波水表反射角度变化测量装置

[发明专利]确定晶圆的测试位置的方法及装置、非易失性存储介质-CN202310127207.4在审
发明人： 杨奉利;庄园;陈思乡;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种确定晶圆的测试位置的方法及装置、非易失性存储介质。其中，该方法包括：在待测试的目标晶圆的图像中确定特殊晶粒；获取特殊晶粒的第一信息，以及位于特殊晶粒周围预设范围内的多个正常晶粒的第二信息；将第一信息中的特殊晶粒的晶圆坐标与目标信息中的特殊晶粒的晶圆坐标进行匹配，并且按照匹配方向将第一信息中的特殊晶粒的图案和第二信息中的正常晶粒的图案分别与目标信息中的晶粒图形模板进行匹配，得到匹配结果；依据匹配结果确定目标晶圆的测试位置。本申请解决了由于晶圆在从料盒移动到载片台的过程中发生物理位置变化造成的晶圆的测试位置偏移的技术问题。
确定测试位置方法装置非易失性存储介质

[发明专利]识别开尔文探针中心的方法、装置、存储介质以及电子设备-CN202211417479.X有效
发明人：蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G06V10/44 文献下载
摘要：本申请公开了一种识别开尔文探针中心的方法、装置、存储介质以及电子设备。其中，该方法包括：确定开尔文探针图像中的第一探针与第二探针，确定图像中第一探针对应的第一轮廓点集合，以及图像中第二探针对应的第二轮廓点集合；筛选出第一轮廓点集合中与第二探针的端部距离为第一距离的第一轮廓点，以及第二轮廓点集合中与第一探针的端部距离为第二距离的第二轮廓点；根据第一轮廓点构建第一直线，根据第二轮廓点构建第二直线，基于第一直线与第二直线确定开尔文探针的中心点。本申请解决了由于开尔文针在长时间使用的情况下，针尖容易磨损、氧化或者会积累脏污，导致发亮的针尖变小或者消失，造成了难以通过识别针尖定位其双针中心的技术问题。
识别开尔文探针中心方法装置存储介质以及电子设备

[发明专利]位置误差补偿方法、装置、电子设备及非易失性存储介质-CN202310119923.8在审
发明人：梁思文;陈思乡;杨奉利;戴啟辉;欧阳清华 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种位置误差补偿方法、装置、电子设备及非易失性存储介质。其中，该方法包括：获取与目标晶圆对应的空白正交补偿表，其中，空白正交补偿表中各单元对应目标晶圆上各晶粒所在的位置；填充空白正交补偿表中各单元对应的第一补偿值，得到目标正交补偿表；依据目标正交补偿表，计算目标位置对应的第二补偿值，其中，目标位置为上位机期望运动部件移动到的任一位置；依据第二补偿值，对运动部件的实际移动位置进行补偿，其中，补偿后的实际移动位置为目标位置。本申请解决了由于相关技术中移动探针台的运动部件在移动至上位机指示的目标位置时，存在位置偏差，造成运动部件移动精度差的的技术问题。
位置误差补偿方法装置电子设备非易失性存储介质

1
2
下一页»
尾页
共 26 条