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[发明专利]气体质量流量控制器及其流量标定方法-CN202010455457.7有效
发明人： 杜井庆;王瑞;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01F1/76 文献下载
摘要：本发明提供一种气体质量流量控制器及其流量标定方法，该气体质量流量控制器中的流量标定装置包括标定腔、第一流量调节阀和第一状态检测单元，标定腔的输入端和输出端分别与第一气体管路的输出端和第二气体管路的输入端连接；第一状态检测单元用于检测标定腔中的气体状态；第一流量调节阀设置在第一气体管路上；控制单元用于根据标定腔中的气体状态以及流量控制装置检测到的第二气体管路中的气体状态进行计算，以获得流量控制装置的流量标定值和流量检测值，并基于流量标定值和流量检测值进行流量标定。本发明的技术方案，不仅可以对MFC进行流量标定，且算法简单、实时性与准确性较好，而且还可以用作MFC的减压器。
气体质量流量控制器及其标定方法

[发明专利]电磁阀及质量流量控制器-CN202010719137.8有效
发明人：苏乾益;杜井庆;杨宗林 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明提供一种电磁阀及质量流量控制器，电磁阀包括电磁件、阀体组件、阀芯组件、堵头组件、阀口部件，其中，阀芯组件、堵头组件、阀口部件依次叠置在阀体组件的容置腔中，阀芯组件可移动地设置在容置腔中，堵头组件包括磁座、堵头，磁座固定设置在容置腔中，堵头可移动地设置在磁座的安装孔中，阀芯组件与堵头点接触，阀口部件朝向堵头组件的端面上设置有阀口，堵头与阀口相对设置；电磁件用于磁化阀芯组件及磁座，使磁座吸引阀芯组件移动，进而带动堵头移动，调节堵头与阀口之间的距离。本发明提供的电磁阀及质量流量控制器能够提高工作可靠性，并降低装配难度，从而提高一次装配合格率，降低零部件加工难度，降低加工成本，减小自身体积。
电磁阀质量流量控制器

[发明专利]气体质量流量控制器-CN202111388721.0在审
发明人：肖漩;杜井庆;宋志辉 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明提供一种气体质量流量控制器，其中，检测校准模块用于接收输入的待控气体，并将其输送至流量调节模块，且能够检测流经的待控气体的流量实际值；流量调节模块用于输出待控气体，且能够检测和调节待控气体的流量输出值；控制模块用于在检测校准模式下，控制检测校准模块和流量调节模块分别检测流量实际值和流量输出值，并根据二者控制流量调节模块调节其输出的待控气体的流量，以使该流量与流量实际值一致；在实时检测模式下，控制流量调节模块实时检测流量输出值，并根据二者控制流量调节模块调节输出的待控气体的流量，以使该流量与流量设定值一致。本发明提供的气体质量流量控制器，具备自校准功能，从而可以适用于多种不同的气体环境。
气体质量流量控制器

[发明专利]气体质量流量控制方法及装置-CN202111010673.1在审
发明人： 杜井庆;王瑞;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种气体质量流量控制方法及装置，包括：设定目标流量值；控制进气流量控制单元接通进气管路，同时控制出气流量控制单元断开出气管路，以使进气管路能够向流量控制腔室内输送气体，直至流量控制腔室的内部气体压力达到第一预设压力值；控制进气流量控制单元断开进气管路，同时控制出气流量控制单元接通出气管路；实时检测流量控制腔室的内部气体压力，并根据流量控制腔室的内部气体压力变化，实时计算流量控制腔室的当前出气流量值；控制出气流量控制单元调节流量控制腔室的当前内部气体压力，以使当前出气流量值等于目标流量值。本发明提出的气体质量流量控制方法及装置具有对信号响应快和调节速度快等优点。
气体质量流量控制方法装置

[发明专利]一种流量控制器-CN202110995465.5在审
发明人：李春玉;苏乾益;杜井庆;张海洋 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： F16K17/28 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制器，包括基座块和控流阀，基座块中开设有流体通道，流体通道包括进气段和出气段，控流阀包括阀芯、阀口、簧片和阀芯驱动组件，阀口中形成有出气道和多个进气孔，出气道与出气段连通，多个进气孔环绕出气道均匀分布且与进气段连通；簧片用于驱动阀芯沿靠近阀口方向运动，以使阀芯封闭出气道；阀芯驱动组件用于驱动阀芯沿远离阀口方向运动，以连通进气孔和出气道并控制进气孔和出气道之间的流通截面积。在本发明中，出气道周边的进气孔与流体通道的进气段连接，减小了簧片承受流体压力的力臂，从而有效减小了簧片所需承受的力矩，提高了簧片的稳定性，进而提高了流量控制器的控制精度和重复性。
一种流量控制器

[发明专利]一种质量流量控制器-CN202011157591.5在审
发明人：王瑞;牟昌华;杜井庆 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种质量流量控制器，包括流体通道、控制装置、控制阀、第一流量检测装置、第二流量检测装置，控制阀设置在流体通道上，第一流量检测装置用于检测流体通道输出端和控制阀之间的流体参数生成第一流量检测信息，第二流量检测装置用于检测流体通道输入端和控制阀之间的流体参数生成第二流量检测信息；控制装置用于根据第一流量检测信息得到第一流量检测值，根据第一流量检测值与目标流量值的差值和二流量检测信息控制控制阀开度；根据第二流量检测信息和控制阀开度得到第二流量检测值，并在第一流量检测值与第二流量检测值之间的差值超过预设差值阈值时判定质量流量控制器异常。该控制装置能够实时诊断流量检测装置精度，提高设备安全性。
一种质量流量控制器

[发明专利]气体流量标定方法、装置以及控制系统和存储介质-CN201811088838.5有效
发明人：何漫丽;牟昌华;杜井庆 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-09-18 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G01F15/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种气体流量标定方法、装置以及控制系统、存储介质，其中的方法包括：获得标定气体与多个设定点相对应的的实际流量和理论流量，计算流量系数并采用多项式拟合方法获得流量系数与设定点之间关系的曲线方程，根据曲线方程与流量理论方程获得气体流量方程，并根据气体流量方程和气体流量转换系数确定过程气体实际流量。本发明的气体流量标定方法、装置以及控制系统、存储介质，在全量程范围内能够满足流量检测的精度要求，可以实现不同气体间的流量转换，提高了对流量的控制精度，提高了工作效率。
气体流量标定方法装置以及控制系统存储介质

[发明专利]分流装置及质量流量控制器-CN201910670620.9有效
发明人：宋志辉;苏乾益;杜井庆 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：本发明提供一种分流装置及质量流量控制器，分流装置包括流体通道及设于所述流体通道内的分流器，所述分流器包括分流基座，所述分流基座内设有多个分流通路，所述分流通路的进气口和出气口分别位于所述分流基座沿所述流体通道的轴向的两个端面上。应用本发明，气体流量到达分流装置后，可直接进行分流，增强了分流气流的稳定性，也使得整体结构更加稳定；且分流通路与分流基座之间不需采用胶接或者机械连接的方式也能结合在一起，可以增强分流装置的整体耐酸性腐蚀，避免了分流管与分流基座因胶水被腐蚀而导致的分流管松脱、流量控制器失效等现象；同时也避免了胶水凝固后，吸附微小颗粒而造成的工艺气体污染、达不到半导体设备洁净度要求等。
分流装置质量流量控制器

[实用新型]气体流量显示仪-CN201922311370.8有效
发明人：余啸峰;赵迪;杜井庆 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G01F1/76 文献下载
摘要：本实用新型公开一种气体流量显示仪，包括：壳体，壳体内设有电路板、电池组、充电模块，壳体表面设有显示屏和设备接口，电路板分别与电池组、充电模块、显示屏、设备接口电连接，电池组与充电模块电连接；设备接口用于连接气体质量流量控制器或气体质量流量计；该气体流量显示仪的可由电池组供电，无需外部供电；气体质量流量控制器或气体质量流量计通过设备接口与气体流量显示仪的电路板连接，通过显示屏实时显示气体流量，设备体积小，便于户外无交流电源或者移动检测的情况。
气体流量显示

[发明专利]气体流量调节装置及质量流量控制器-CN201811589355.3在审
发明人： 杜井庆;何漫丽;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： F16K7/14 文献下载
摘要：本发明提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器，该气体流量调节装置包括：阀口部件，在阀口部件中设置有第一进气通道；弹性件，包括通道密封面；驱动组件，用于驱动弹性件发生弹性变形或者恢复初始状态，以使通道密封面与第一进气通道的出气端接触密封或者分离。本发明提供的气体流量调节装置及质量流量控制器，其不仅可以简化结构、减少与气体接触的零件数量，而且可以避免因簧片失效而带来的故障。
气体流量调节装置质量控制器

[发明专利]气体流量调节装置及质量流量控制器-CN201810792867.3在审
发明人： 杜井庆;何漫丽;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器，其包括：阀口部件，在该阀口部件中设置有第一进气通道；推杆部件，在推杆部件中设置有第一通孔，且在第一通孔中设置有推杆，推杆的第一端面与第一进气通道的出气端相对；并且，推杆通过弹性隔膜与推杆部件弹性连接；驱动组件用于驱动推杆沿靠近或远离第一进气通道的方向移动，以使推杆的第一端面与第一进气通道的出气端接触密封或者分离。本发明提供的气体流量调节装置，其不仅可以简化结构、减少与气体接触的零件数量，而且可以避免因簧片失效而带来的故障。
推杆进气通道推杆部件气体流量调节装置阀口部件出气端通孔质量流量控制器弹性隔膜弹性连接方向移动接触密封气体接触驱动推杆驱动组件簧片

[发明专利]一种流体输送测量装置-CN201611127685.1有效
发明人：苏乾益;宋志辉;杜井庆;陈正堂 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01F1/76 文献下载
摘要：本发明公开了一种流体输送测量装置，包括：导热架，安装在底座表面，其设有一对竖直支架，支架具有侧向开口的卡槽；U形传感管，其水平中部的两端分嵌于两个支架的卡槽内并固定，其弯曲部的两端分别由底座表面向下密封穿过底座，传感管的水平中部绕有传感丝组；压板，安装在底座表面，用于将扁平电缆线的端部压紧并固定在底座表面上，扁平电缆线通过其端部露出的接线端子连接传感丝组的接线头；外罩，安装于底座表面，用于将传感管、导热架、压板罩住，外罩内部具有与传感管、导热架、压板外形对应的保温式避让槽。本发明可减小零漂，提高抗干扰能力，降低对安装位置的敏感度，实现高精度、快响应地进行流体输送测量。
底座表面传感管流体输送导热架扁平电缆线测量装置传感丝外罩支架接线端子连接抗干扰能力侧向开口竖直支架压板外形保温式避让槽接线头快响应敏感度弯曲部压板罩减小零漂压板压紧底座密封测量穿过

[发明专利]用于质量流量控制器的填充件及质量流量控制器-CN201910584898.4在审
发明人： 杜井庆;苏乾益;何漫丽 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种用于质量流量控制器的填充件，所述质量流量控制器包括流体通道、流量调节装置和流量检测装置，所述填充件设置在所述流体通道位于所述流量调节装置和所述流量检测装置之间的通道段中，用于减小所述通道段的流通体积。应用本发明提供的的用于质量流量控制器的填充件，设置在流体通道位于流量调节装置和流量检测装置之间的通道段内，可以影响质量流量控制器的响应时间，可以通过减小通道段中的气体流通体积，减少通道段中气体流通时间，从而达到提高小流量质量流量控制器响应速度的目的，满足采用压电阀的质量流量控制器快速响应的要求，尤其适用于几sccm到几百sccm流量的快速响应控制。
质量流量控制器通道段填充件流量调节装置流量检测装置流体通道快速响应气体流通减小小流量压电阀响应流通应用

[实用新型]压电阀驱动器以及压电阀-CN201821543378.6有效
发明人： 杜井庆;何曼丽;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压电阀驱动器以及压电阀，压电阀驱动器包括：连接套筒、压电陶瓷部件、顶部封装部件、支撑块、固定座和弹性部件；连接套筒设置有分别贯穿侧壁并相对设置的第一通孔和第二通孔，支撑块穿过第一通孔和第二通孔，分别与第一通孔和第二通孔滑动配合，支撑块与固定座固定连接；压电陶瓷部件安装在上腔体内，底端与支撑块相接触，顶端与顶部封装部件相配合；弹性部件安装在下腔体内，弹性部件的两端分别压在下腔体的底部密封底面和支撑块上。本实用新型的设备以及外延反应器，可以简化MFC阀部件的结构，降低阀部件的加工难度，同时避免使用簧片结构，提高压电阀的可靠性和降低制造成本和制造难度，提高MFC产品的竞争力。
压电阀通孔驱动器弹性部件支撑压电陶瓷部件本实用新型封装部件连接套筒阀部件固定座体内外延反应器底部密封滑动配合簧片结构相对设置制造成本侧壁底端底面腔体上腔穿过贯穿加工配合制造

[实用新型]气体流量调节装置及质量流量控制器-CN201821139049.5有效
发明人： 杜井庆;何漫丽;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器，其包括：阀口部件，在该阀口部件中设置有第一进气通道；推杆部件，在推杆部件中设置有第一通孔，且在第一通孔中设置有推杆，推杆的第一端面与第一进气通道的出气端相对；并且，推杆通过弹性隔膜与推杆部件弹性连接；驱动组件用于驱动推杆沿靠近或远离第一进气通道的方向移动，以使推杆的第一端面与第一进气通道的出气端接触密封或者分离。本实用新型提供的气体流量调节装置，其不仅可以简化结构、减少与气体接触的零件数量，而且可以避免因簧片失效而带来的故障。
推杆进气通道气体流量调节装置推杆部件质量流量控制器本实用新型阀口部件出气端通孔弹性隔膜弹性连接方向移动接触密封气体接触驱动推杆驱动组件簧片

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