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- [发明专利]锭生长装置-CN202011404329.6在审
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金漌镐;李京锡;朴镇成;李英俊
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韩华思路信
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2020-12-03
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2022-03-29
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C30B29/06
- 本发明公开锭生长装置。本发明实施例的锭生长装置可包括:生长炉,在内部配置为了使锭生长而收容熔融硅并通过沿着顺时针方向或逆时针方向进行旋转来使上述熔融硅沿着顺时针方向或逆时针方向旋转的主坩埚;基座,以包围上述主坩埚的外侧面的方式形成,沿着与上述主坩埚相同的方向进行旋转;以及预备熔融部,通过接收固态硅材料来熔融成熔融硅,向上述主坩埚供给上述熔融硅,可在上述预备熔融部设置用于收容上述熔融硅的预备坩埚,上述预备坩埚可沿着盛装在上述主坩埚的熔融硅进行旋转的方向来向上述主坩埚供给盛装在上述预备坩埚的熔融硅。
- 生长装置
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